一种半自动式纳米压印设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半自动式纳米压印设备，包括纳米压印机、操作腔和放置盘，所述纳米压印机内部开设有操作腔，所述操作腔内部通过轴承安装有小型丝杆，所述小型丝杆外侧套设有内螺纹立柱，所述内螺纹立柱顶部通过螺栓固定有放置盘，所述内螺纹立柱一侧通过安装架安装有伺服电机。本实用新型专利技术可以对压印后的晶圆进行散热，同时可以调节放置盘的高度，方便人员操作放置盘内晶圆。员操作放置盘内晶圆。员操作放置盘内晶圆。

【技术实现步骤摘要】
一种半自动式纳米压印设备


[0001]本技术涉及压印设备
，特别涉及一种半自动式纳米压印设备。

技术介绍

[0002]纳米压印技术是通过光刻胶辅助，将模板上的微纳结构转移到待加工材料上的技术，纳米压印根据固化方式、压印面积、模板等，可分成热压印、紫外压印、微接触压印、步进压印等，基于此，各种滴胶压印和旋涂设备层出不穷，纳米压印设备内均设置有放置盘用于盛放、固定晶圆。
[0003]专利号CN201922458069.X的公布了一种纳米压印设备，包括壳体、工作台、基盘、承压板、紫外曝光装置、加热装置、真空装置、压印装置以及空气净化装置，所述壳体内部为容纳槽，所述工作台位于容纳槽内部，所述基盘位于工作台上方，所述基盘上表面吸附有基片，所述加热装置位于工作台和基盘之间，所述壳体上设置门体和显示触摸屏；该纳米压印设备结构合理，设计新颖，压印装置平行于基盘，红外红外测距装置实时测试承压板和基盘的距离，压力分布，压印膜层的一致性和均匀性好，可操作性高，操作简单，同时设置紫外曝光装置和加热装置，压印胶体可紫外固化也可加热固化。
[0004本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半自动式纳米压印设备，包括纳米压印机(1)、操作腔(2)和放置盘(3)，其特征在于：所述纳米压印机(1)内部开设有操作腔(2)，所述操作腔(2)内部通过轴承安装有小型丝杆(5)，所述小型丝杆(5)外侧套设有内螺纹立柱(4)，所述内螺纹立柱(4)顶部通过螺栓固定有放置盘(3)，所述内螺纹立柱(4)一侧通过安装架安装有伺服电机(6)。2.根据权利要求1所述的一种半自动式纳米压印设备，其特征在于：所述放置盘(3)顶部开设有放置槽(7)，所述放置槽(7)内部胶合有防护垫(11)，所述纳米压印机(1)内部贯穿开设有通孔(13)，所述通孔(13)的数量为多个，所述放置盘(3)内部通过安装架安装有抽风扇(9)。3.根据权利要求1所述的一种半...

【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ七四专利代理机构，
申请(专利权)人：常熟埃眸科技有限公司，
类型：新型
国别省市：