一种校正压印光刻机制造技术

本实用新型专利技术提供一种校正压印光刻机，属于光刻机领域，包括安装架、工作台、曝光室、模板、置片台和校正装置，安装架设置在工作台上，曝光室可升降设置在安装架上，在曝光室的下端设置有压印头，模板设置在压印头上，校正装置可升降设置在曝光室的一端，校正装置包括校正架和校正杆，校正杆可滑动设置在校正架内，置片台可滑动设置在工作台上，置片台与校正杆和模板相配合，在置片台的上台体设有校正槽，校正杆和校正槽相配合。本实用新型专利技术的有益效果是能够使晶圆正对模板，避免产生偏移，且置片台可根据不同晶圆的直径进行调节固定。根据不同晶圆的直径进行调节固定。根据不同晶圆的直径进行调节固定。

【技术实现步骤摘要】
一种校正压印光刻机


[0001]本技术属于光刻机领域，尤其是涉及一种校正压印光刻机。

技术介绍

[0002]传统光刻通过深紫外激光依次穿过模板和光刻镜头，最终直射到置片台的晶圆上，但传统光刻对光源和光刻镜头有所要求，使其造价昂贵，与传统光刻相比，纳米压印光刻是一种全新微纳米图形化的方法，避免采用昂贵的深紫外激光和光刻镜头，只采用普通紫外灯即可达到更优的效果，具有高分辨率、成本低的特点。
[0003]但将晶圆放置在置片台上时，晶圆可能产生偏移，无法正对模板，使其最终效果不佳，造成晶圆的浪费，且置片台无法根据不同晶圆的直径进行调节，适用范围小。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种校正压印光刻机，能够使晶圆正对模板，避免产生偏移，且置片台可根据不同晶圆的直径进行调节固定。
[0005]为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是：一种校正压印光刻机，包括安装架、工作台、曝光室、模板、置片台和校正装置，所述安装架设置在所述工作台上，所述曝光室通过移动板可升降设置在所述安装架上，在所述安装架的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种校正压印光刻机，其特征在于，包括安装架(2)、工作台(7)、曝光室(9)、模板(6)、置片台(8)和校正装置，所述安装架(2)设置在所述工作台(7)上，所述曝光室(9)可升降设置在所述安装架(2)上，在所述曝光室(9)的下端设置有压印头(5)，所述模板(6)设置在所述压印头(5)上，在所述曝光室(9)内设置有紫外灯(91)和反射镜(92)，所述紫外灯(91)用于发出紫外光线，所述反射镜(92)用于将所述紫外光线垂直反射至所述模板(6)上，所述校正装置可升降设置在所述曝光室(9)的一侧，所述校正装置包括校正架(12)和校正杆(16)，所述校正杆(16)可滑动设置在所述校正架(12)上，所述置片台(8)可滑动设置在所述工作台(7)内，所述置片台(8)与所述校正杆(16)和所述模板(6)相配合。2.根据权利要求1所述的一种校正压印光刻机，其特征在于：在所述校正架(12)内设置有推动杆(14)和固定座(15)，所述固定座(15)设置在所述校正架(12)的底端，所述推动杆(14)可转动设置在所述固定座(15)上，在所述固定座(15)上贯穿设有弧形槽(151)，所述弧形槽(151)斜向设置，所述校正杆(16)滑动设置在所述弧形槽(151)内，所述推动杆(14)与所...

【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ七四专利代理机构，
申请(专利权)人：常熟埃眸科技有限公司，
类型：新型
国别省市：