下载一种校正压印光刻机的技术资料

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本实用新型提供一种校正压印光刻机,属于光刻机领域,包括安装架、工作台、曝光室、模板、置片台和校正装置,安装架设置在工作台上,曝光室可升降设置在安装架上,在曝光室的下端设置有压印头,模板设置在压印头上,校正装置可升降设置在曝光室的一端,校正装...
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