【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及根据权利要求1的前序部分的高压气体放电灯电极。尤其重要的是汞短弧灯，特别是半导体工业用的汞短弧灯。这类灯经常用于晶片或其它衬底暴光的光刻过程。另一个最佳应用领域是惰性气体高压气体放电灯，特别是高压气体放电氙灯。也可以用于金属卤化物灯。从公开的欧洲专利EP-A791 950已经知道一种高压气体放电灯的阳极在其尖端外侧配备有一层由细颗粒钨形成的烧结层。因而阳极的表面积增大了。这样能降低工作时的阳极温度，并且能减缓玻壳变黑。这种层的辐射系数大约为0.5。德国专利DE-A 11 82 743公开了一种能提高辐射系数的层，它由烧结钨或TaC制成。这一层的制法是用丁基醋酸盐与纤维素粘结剂的悬浮液和对应的金属粉末制成浆，涂到阳极上。烧结过程在真空中在高于1800℃的温度下进行。利用1-3mm深的冷却槽可以实现附加的冷却效果。本专利技术的一个目的是提供一种根据权利要求1的前序部分的高压气体放电灯电极，这种高压气体放电灯具有非常长的使用寿命。这目的是通过权利要求1的特征部分来实现的。在从属权利要求中有详细的有益的改进设计。电极表面上这种根据本专利技术的涂层适合于...
【技术保护点】
一种用于高压气体放电灯的电极（５），其特征在于：所述电极（５）的起码一部分表面复盖着由高熔点金属制成的树枝状层（１３）。
【技术特征摘要】
DE 1998-8-6 19835476.21.一种用于高压气体放电灯的电极(5)，其特征在于所述电极(5)的起码一部分表面复盖着由高熔点金属制成的树枝状层(13)。2.根据权利要求1的电极，其特征在于所述高熔点金属是铼、钨、钼、和钽、或这些金属的混合物或化合物、或金属铪或锆的混合物或化合物、特别是氮化物或碳化物。3.根据权利要求1的电极，其特征在于所述树枝状层的厚度在10到40μm之间。4.根据权利要求1的电极，其特征在于所述电极特别是起码部分复盖着树枝状层(16；21)的削尖的阴极(15；20)。5.根据权利要求1的电极，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：C塞策尔，
申请(专利权)人：电灯专利信托有限公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]
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