制造电子发射器件、电子源和成像装置的方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种具有均匀的电子发射特性的耐用的电子发射器件的制造方法，一种电子源，以及能够长时间具有均匀的显示特性的一种图像形成装置。按照本发明专利技术的制造电子发射器件的方法包括以下步骤：在衬底表面上布置一个阴极电极；面对着阴极电极提供一个电极；在阴极电极上布置多件以碳为主要成分的纤维；以及在减压状态下对面对着阴极电极的电极施加一个电位，该电位高于施加在阴极电极上的电位。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及到电子发射器件，使用这种器件的一种电子源，一种图像形成装置以及制造电子发射器件的一种方法。利用施加到金属上的106V/cm以上的强电场从金属面上发射电子的场发射型(FE-型)电子发射器件作为一种有效的冷电子源已经引起了业界的关注。如果将FE-型冷电子源付诸实用，就能获得一种薄型放射性图像显示器件，从而对一种节能和轻便的系统作出贡献。附图说明图12表示一种垂直FE-型构连在图12中，标号121代表一个衬底，标号123代表发射极电极，标号124代表一个绝缘层，标号125代表发射极，标号126代表一个阳极，而标号127代表发射给阳极的一个电子束的形状。在绝缘层124和布置在阴极电极123上的一个栅极电极122的各层中形成一个窗口。圆锥形发射极125被设在窗口中(以下将这种构造称为Spindt型构造)。例如，在C.A.Spindt，“Physical Properties of thin-film field emission cathodes withmolybdenum cones”，J.Appl.Phys.，47，5248(1976)等等中就描述了这种构造。另外，如本文档来自技高网...

【技术保护点】
电子发射器件的一种制造方法包括以下步骤：（Ａ）在一个传导表面上布置一个阴极电极；（Ｂ）面对着阴极电极提供一个电极；（Ｃ）在阴极电极上布置多件主要用碳构成的纤维；以及（Ｄ）在减压状态下对面对着阴极电极的电极施加一个电位，该电位 高于施加在阴极电极上的电位。

【技术特征摘要】
JP 2000-9-1 265822/2000;JP 2001-8-24 254636/20011.电子发射器件的一种制造方法包括以下步骤(A)在一个传导表面上布置一个阴极电极；(B)面对着阴极电极提供一个电极；(C)在阴极电极上布置多件主要用碳构成的纤维；以及(D)在减压状态下对面对着阴极电极的电极施加一个电位，该电位高于施加在阴极电极上的电位。2.按照权利要求1的电子发射器件的制造方法，其特征是面对着阴极电极的上述电极是一个脱离衬底的阳极电极。3.按照权利要求1的电子发射器件的制造方法，其特征是面对着阴极电极的上述电极是一个脱离衬底表面上的阴极电极的一个引线电极。4.按照权利要求1的电子发射器件的制造方法，其特征是对面对着阴极电极的电极施加一个电位的上述步骤是一个增加发射点数量的步骤。5.按照权利要求1的电子发射器件的制造方法，其特征是施加到面对着阴极电极的那一电极上的上述电位是从纤维上发射电子的电位。6.按照权利要求1的电子发射器件的制造方法，其特征是对面对着阴极电极的那一电极施加电位的上述步骤是在与纤维有化学或物理反应的一种气体环境中执行的。7.按照权利要求6的电子发射器件的制造方法，其特征是与纤维有化学反应的上述气体是O2，H2，CO2和H2O之一。8.按照权利要求6的电子发射器件的制造方法，其特征是用来引入气体的压力等于或大于1×10-4Pa。9.按照权利要求6的电子发射器件的制造方法，其特征是对面对着阴极电极的那一电极施加电位的上述步骤是在阴极电极和面对着阴极电极的那一电极之间施加一个脉冲电压的步骤。10.按照权利要求1的电子发射器件的制造方法，其特征是上述纤维是通过分解一种碳氢化合物气体而形成的。11.按照权利要求10的电子发射器件的制造方法，其特征是上述纤维是通过用预先设在阴极电极上的一种催化剂来分解碳氢化合物气体而形成的。12.按照权利要求11的电子发射器件的制造方法，其特征是上述催化剂是Fe，Co，Pd和Ni之一，或者是从Fe，Co，Pd和Ni当中选择的材料的一种合金。13.按照权利要求1的电子发射器件的制造方法，其特征是上述纤维是用一种石墨纳米纤维，碳纳米管或者是非晶体碳纤维构成的。14.按照权利要求1的电子发射器件的制造方法，其特征是上述纤维包括一个图形(graphen)。15.按照权利要求1的电子发射器件的制造方法，其特征是上述纤维包括多个图形。16.按照权利要求15的电子发射器件的制造方法，其特征是上述多个图形被层叠在纤维的轴向上。17.制造一种电子源的方法，其特征在于它是用按照权利要求1到16之一的方法制成的许多电子发射器件布置而成的。18.具有一个电子源和一个图像形成部件的一种图像形成装置的制造方法，其特征是上述电子源是按照权利要求17的方法制成的。19.用来制造具有许多电子发射器件的一种电子源的一种方法，其特征是包括以下步骤(A)在衬底上提供多个电子发射器件，每个器件有多个主要由碳构成的纤维以及用电路连接到多个电子发射器件中的至少一个的多件导线；(B)对多个电子发射器件当中的至少一部分施加一个电压，并且测量被施加电压的电子发射器件当中的上述至少一部分的电气特性；以及(C)根据测量结果降低多个电子发射器件之间在电气特性上的差别，这其中降低上述多个电子发射器件在电气特性上的差别的上述步骤中包括在减压状态下从多个电子发射器件当中的至少一个发射电子的步骤。20.按照权利要求19的制造电子源的方法，其特征是上述多件导线包括多件行方向导线和与行方向导线交叉的多件列方向导线，每个电子发射器件被连接到一个行方向导线和一个列方向导线。21.按照权利要求20...

【专利技术属性】
技术研发人员：北村伸，塚本健夫，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]