图形修正装置及其涂布单元制造方法及图纸

一种图形修正装置（１），其涂布单元（２０）具有：底部开设有第１孔（２１ａ）、注入修正液（２２）的容器（２１）；具有与第１孔（２１ａ）大致相同直径的涂布针（２４）；使容器（２１）及涂布针（２４）上下移动并使容器（２１）及涂布针（２４）相对上下移动从而使涂布针前端部（２４ａ）从第１孔（２１ａ）中突出将修正液（２２）附着在前端部（２４ａ）上的气缸（３４）。因此，本发明专利技术的图形修正装置与必须在容器和缺陷部之间使涂布针往复移动的以往技术相比，可用简单的结构迅速修正缺陷部。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及图形修正装置及其涂布单元，尤其涉及对形成在基板上的微小图形的缺陷部进行修正的图形修正装置及其涂布单元。更特定地说，本专利技术涉及对平板显示器的制造工序中发生的电极的开口缺陷、等离子显示器的凸肋(隔壁)缺损、液晶滤色器的白缺陷、掩模的缺陷等进行修正的图形修正装置和用于它的涂布单元。
技术介绍
近年来，随着等离子显示器、液晶显示器、EL显示器等平板显示器的大型化、高精细化，在显示器的制造工序中，在基板上的电极和凸肋等上会发生缺陷、或者液晶滤色器的着色层发生缺陷的概率变大。因此，为提高产品合格率，提出了一种对各种缺陷进行修正的图形修正装置。例如，作为对液晶滤色器的着色层的一部分脱墨的白缺陷进行修正的装置，有将附着的涂布针前端部上的修正用墨水涂布在白缺陷处进行修正的装置(例如参照日本特开平9-61296号公报)。另外，作为对缺少形成于等离子显示器背面玻璃基板上的一部分凸肋的凸肋欠缺缺陷进行修正的装置，有将附着在涂布针前端部上的修正用涂膏涂布在凸肋欠缺缺陷处进行修正的装置(例如参照日本特开2000-299059号公报)。在这些图形修正装置中，在注入于容器的修正液(修正用墨水、修正用涂膏)的液面上使涂布针上下移动而将修正液附着在涂布针的前端部上后，使该涂布针在缺陷部(白缺陷、凸肋欠缺缺陷)上上下移动而将涂布针前端部的修正液涂布在缺陷部上。但是，在以往的图形修正装置中，在缺陷部较大的场合，必须将修正液多次涂布在缺陷部上，每次涂布时都要将涂布针从缺陷部返回到容器重新将修正液附着在涂布针上。因此，存在着缺陷部修正时间变长的问题。
技术实现思路
为此，本专利技术的主要目的在于提供一种可用简单的结构迅速修正缺陷部的图形修正装置及其涂布单元。本专利技术的涂布单元，是对形成在基板上的微小图形的缺陷部进行修正的图形修正装置的涂布单元，具有在底部开设有第1孔、注入修正液的容器；具有与第1孔大致相同的直径、将修正液涂布在缺陷部上用的涂布针；将容器及涂布针支承成可上下移动的第1直线移动导向构件；将容器及涂布针支承成可相对上下移动的第2直线移动导向构件；使容器及涂布针上下移动并使容器及涂布针相对上下移动、使涂布针前端部从第1孔突出而将修正液附着在前端部上的驱动部。驱动部的驱动轴最好只有1根。且最好是，驱动部在使容器及涂布针下降后仅使涂布针下降，并使涂布针的前端部从第1孔突出。最好还具有固定在容器上、开设有与涂布针大致相同直径的第2孔的盖；支承台；和将容器安装在支承台上用的磁铁，容器利用磁铁和插入第2孔内的涂布针而被支承在规定的位置。最好是，磁铁固定在支承台上，涂布单元还具有固定在容器上、由磁性体材料形成的销，销的端面被吸附在磁铁的端面上，从而容器被支承在支承台上。最好是，配置有磁铁和销，当销的端面吸附在磁铁的端面上时，使连接第1孔的中心与第2孔的中心的基准线与涂布针的中心线大致一致。最好是，第1孔与贯通它的涂布针的间隙大于第2孔与贯通它的涂布针的间隙。最好是，还具有支承台、第1臂、第2臂及移动范围限定机构，所述第1臂的前端部设置有涂布针，基端部通过第1直线移动导向构件而与支承台结合，且该第1臂设成相对于支承台可上下移动；所述第2臂的前端部设置有容器，基端部通过第2直线移动导向构件而与第1臂结合，且该第2臂设成相对于第1臂可相对上下移动；所述移动范围限定机构将第2臂的相对于第1臂的上下方向的相对移动量限定在比第1臂的上下移动量小的范围内，驱动部仅使第1臂的基端部上下移动，在使容器及涂布针上下移动的同时，使容器及涂布针相对地上下移动。最好是，第1及第2臂配置在支承台的一侧，驱动部配置在支承台的另一侧，容器设在比驱动部低的位置。最好是，具有固定在容器上并开设有与涂布针大致相同直径的第2孔的盖、将容器安装在第2臂上用的磁铁，容器利用磁铁和插入第2孔内的涂布针而被支承在规定的位置。另外，本专利技术的图形修正装置是具有上述涂布单元的装置。最好是，还具有当涂布单元处于待机状态时配置在容器底部下方的承接从第1孔中漏出的修正液的遮蔽板。最好是，还具有在涂布动作时使涂布单元向水平方向移动而使容器离开遮蔽板的移动构件，驱动部使离开遮蔽板后的容器底部下降到比遮蔽板低的位置。最好是，具有将互相不同种类的修正液注入的多个涂布单元，将从多个涂布单元中根据缺陷部的种类所选择的涂布单元的修正液涂布在缺陷部上。另外，本专利技术的另一图形修正装置，是对形成在基板上的微小图形的缺陷部进行修正的图形修正装置，具有在底部开设有孔、注入修正液的容器；具有与孔大致相同的直径、并将修正液涂布在缺陷部上用的涂布针；将涂布针支承成可上下移动的直线移动导向构件；使涂布针下降、使涂布针的前端部从孔中突出而将修正液附着在前端部上的驱动部；设在容器底部下方、承接从孔中漏出的修正液的遮蔽板。在本专利技术的涂布单元及图形修正装置中，设有在底部开设有第1孔、将修正液注入的容器；具有与第1孔大致相同的直径、并将修正液涂布在缺陷部上用的涂布针；将容器及涂布针支承成可上下移动的第1直线移动导向构件；将容器及涂布针支承成可相对上下移动的第2直线移动导向构件；使容器及涂布针上下移动并使容器及涂布针相对上下移动、使涂布针的前端部从第1孔中突出而将修正液附着在前端部上的驱动部。因此，只要使涂布针的前端部从容器底部的第1孔中突出而将修正液附着在前端部上，在该状态下使涂布针前端部与缺陷部接触就可将修正液涂布在缺陷部上。于是，与必须在容器和缺陷部之间使涂布针移动的以往技术相比，可用简单的结构迅速地修正缺陷部。另外，在本专利技术的另一图形修正装置中，设置承接从容器底部的孔漏出的修正液的遮蔽板。因此，可防止从孔中漏出的修正液将基板污染的情况。附图说明图1是表示本专利技术实施形态1的图形修正装置的整体结构的视图。图2是表示图1所示的涂布机构部所具有的涂布单元构成的剖视图。图3是表示图2所示的涂布单元的待机状态的剖视图。图4是表示图2所示的涂布单元的涂布动作的剖视图。图5是表示实施形态1的变更例的视图。图6是表示本专利技术实施形态2的图形修正装置的涂布机构部所具有的涂布单元构成的剖视图。图7是表示图6所示的容器及涂布针构成的剖视图。图8是表示图6所示的容器的安装方法的剖视图。图9是表示涂布单元的变更例的剖视图。图10是表示图6所示的涂布单元的涂布动作的剖视图。图11是表示本专利技术实施形态3的图形修正装置的涂布单元构成及动作的剖视图。图12是表示图11所示的涂布针固定板的安装方法的俯视图。图13是表示图11所示的容器及涂布针构成的剖视图。图14是表示本专利技术实施形态4的图形修正装置的涂布单元的构成及动作的剖视图。图15是表示图14所示的涂布单元的涂布动作的剖视图。具体实施例方式(实施形态1)图1是表示本专利技术实施形态1的图形修正装置的整体结构的视图。图1中，图形修正装置1具有观察基板表面的观察光学系统2；显示所观察到的图像的监视器3；通过观察光学系统2而将激光照射在基板上将不需要部分切割的切割用激光部4；使修正液附着在涂布针前端部上并涂布在基板的缺陷部上的涂布机构部5；对涂布在缺陷部上的修正液进行加热的基板加热部6；识别缺陷部的图像处理部7；控制装置整体的主计算机8；控制装置机构部动作的控制用计算机9。此外，设有使具有缺陷部的基板向XY方向(水平方向本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种涂布单元，是对形成在基板上的微小图形的缺陷部进行修正的图形修正装置的涂布单元，其特征在于，具有：在底部开设有第１孔、注入修正液的容器；具有与所述第１孔大致相同的直径、将所述修正液涂布在所述缺陷部上用的涂布针；将所述容器及所述涂布针支承成可上下移动的第１直线移动导向构件；将所述容器及所述涂布针支承成可相对上下移动的第２直线移动导向构件；驱动部，该驱动部使所述容器及所述涂布针上下移动并使所述容器及所述涂布针相对上下移动，使所述涂布针前端部从所述第１孔突出而将所述修正液附着在所述前端部上。

【技术特征摘要】
JP 2006-3-30 2006-094527;JP 2006-3-30 2006-0945281.一种涂布单元，是对形成在基板上的微小图形的缺陷部进行修正的图形修正装置的涂布单元，其特征在于，具有在底部开设有第1孔、注入修正液的容器；具有与所述第1孔大致相同的直径、将所述修正液涂布在所述缺陷部上用的涂布针；将所述容器及所述涂布针支承成可上下移动的第1直线移动导向构件；将所述容器及所述涂布针支承成可相对上下移动的第2直线移动导向构件；驱动部，该驱动部使所述容器及所述涂布针上下移动并使所述容器及所述涂布针相对上下移动，使所述涂布针前端部从所述第1孔突出而将所述修正液附着在所述前端部上。2.如权利要求1所述的涂布单元，其特征在于，所述驱动部的驱动轴只有1根。3.如权利要求1所述的涂布单元，其特征在于，所述驱动部在使所述容器及所述涂布针下降后仅使所述涂布针下降，并使所述涂布针的前端部从所述第1孔中突出。4.如权利要求1所述的涂布单元，其特征在于，具有盖、支承台和磁铁，所述盖固定在所述容器上并开设有与所述涂布针大致相同直径的第2孔，所述磁铁用于将所述容器安装在所述支承台上，所述容器利用所述磁铁和插入于所述第2孔中的所述涂布针而被支承在规定位置。5.如权利要求4所述的涂布单元，其特征在于，所述磁铁固定在所述支承台上，所述涂布单元还具有固定在所述容器上并由磁性体材料形成的销，通过所述销的端面吸附在所述磁铁的端面上，所述容器被支承在所述支承台上。6.如权利要求5所述的涂布单元，其特征在于，所述磁铁和所述销被配置成，当所述销的端面吸附在所述磁铁的端面上时，使连接所述第1孔的中心和所述第2孔的中心的基准线大致与所述涂布针的中心线一致。7.如权利要求4所述的涂布单元，其特征在于，所述第1孔与贯通它的所述涂布针的间隙，大于所述第2孔与贯通它的所述涂布针的间隙。8.如权利要求1所述的涂布单元，其特征在于，还具有支承台、第1臂、第2臂和移动范围限定机构，所述第1臂的前端部设置有所述涂布针，基端部通过所述第1直线移动导向构件而与所述支承台结合，且该第1臂...

【专利技术属性】
技术研发人员：松岛昌良，山中昭浩，小池孝誌，
申请(专利权)人：NTN株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]