【技术实现步骤摘要】
一种调平模块及包含该模块的七轴对位平台
[0001]本申请涉及对位平台的
,尤其是涉及一种调平模块及包含该模块的七轴对位平台。
技术介绍
[0002]调平模块是一种通过调节平板下方支撑点的高度以使得平板的水平倾仰角度进行相应变化的模块。在PCB制造业的曝光机、网印机、贴合机、压合机以及PCB板裁切等方面具有非常广泛的应用。而在一些高精度制造产业,例如晶圆切割以及封装检测等行业,高精度调平模块也具有不可替代的作用。
[0003]相关技术手段中,四轴调平结构主要包括基座,基座的四角分别对应设置有一组滚珠丝杠螺母模组,丝杠的顶端设置有工作台,工作台用于安装待测试的工件,工作台的底端面与丝杆固定连接。在基座内设置有四组驱动组件,四组驱动组件与四组滚珠丝杠螺母模组一一对应,驱动组件能够驱动滚珠丝杠螺母模组的螺母进行转动,从而实现四个丝杠单独控制工作台四个边角的高低,从而实现调平功能。
[0004]在调平过程中,由于工作台会发生倾斜,而丝杆的顶端与工作台固定连接,因此工作台会将丝杆弯折,从而使得丝杆发生轻微形变,从 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种调平模块,其特征在于,包括:工作安装板(210),用于安装待测试的工件;多组高度调节机构(220),用于调节工作安装板(210)的倾仰角度,所述高度调节机构(220)安装于所述工作安装板(210)的底部;所述高度调节机构(220)包括高度固定座(221),所述高度固定座(221)设置有高度滑移组件(222)以及驱动所述高度滑移组件(222)运行的高度驱动组件(223),所述高度滑移组件(222)的顶端设置有万向调节组件(224),所述万向调节组件(224)将所述工作安装板(210)与所述高度滑移组件(222)连接;安装基座(230),用于承载所述高度调节机构(220),所述安装基座(230)与所述高度固定座(221)可拆卸连接。2.根据权利要求1所述的一种调平模块,其特征在于,所述高度滑移组件(222)包括:高度安装板(2221),安装于所述高度固定座(221)侧边;高度螺母座(2222),滑移设置于所述高度固定座(221)侧边,所述高度螺母座(2222)上设置有高度调节丝杆(2223),所述高度调节丝杆(2223)与所述高度螺母座(2222)螺纹配合,所述高度调节丝杆(2223)的底端同轴固定有高度从动轮(2224),所述高度从动轮(2224)受所述高度驱动组件(223)驱使转动;同轴限位件(2225),用于限制所述高度调节丝杆(2223)的位置并保证所述高度调节丝杆(2223)的转动中心轴线稳定在同一条直线上,所述同轴限位件(2225)与所述高度固定座(221)固定连接。3.根据权利要求2所述的一种调平模块,其特征在于,所述高度驱动组件(223)包括高度驱动电机(2231),所述高度驱动电机(2231)的输出轴同轴设置有高度驱动轮(2232),所述高度驱动电机(2231)安装于所述高度安装板(2221),所述高度驱动轮(2232)驱使所述高度从动轮(2224)转动。4.根据权利要求2所述的一种调平模块,其特征在于,所述万向调节组件(224)包括万向安装底座(2241)、万向转动座(2242)和支撑块(2243),所述万向安装底座(2241)设置有万向安装...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘文锋,赵丽,
申请(专利权)人:誊展精密科技深圳有限公司,
类型:发明
国别省市:
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