一种XXY对位平台制造技术

本申请涉及一种XXY对位平台，包括基板；X用双向滑台，设置在基板上；Y用双向滑台，设置在基板上；承载板，与X用双向滑台以及Y用双向滑台的上侧相连接；Y用单向滑台，设置在基板上，Y用单向滑台沿X方向运动；Y向引导台，与Y用单向滑台相连接，Y向引导台相对于Y用单向滑台以X方向与Y方向的正交方向运动；传递板，分别与Y向引导台相连接以及Y用双向滑台沿Y方向运动的部分相连接；X用驱动件，与X用双向滑台沿X方向运动的部分相连接；Y用驱动件，与Y用单向滑台相连接；一个对位平台在所在矩形范围内的剩余区域至多有一个。本申请具有既能用更短的长度布置更多的XXY对位平台，也能减少布置多个XXY对位平台所产生的无用区域的效果。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及对位平台的领域，尤其是涉及一种xxy对位平台。

技术介绍

1、随着社会的不断进步和科技的快速发展，对许多产品的加工精度等要求也越来越高，因此对相应的加工设备的要求也越来越高。目前，在半导体、液晶显示器制造、高精密贴合或检测等设备中都需要用到对位装置，对位装置能够精确调整待加工产品的位置，对位装置的对准精度对于产品的加工质量具有直接的影响，其中对位装置会使用xxy对位平台，xxy对位平台又称为uvw对位平台。

2、相关技术中，如公开号cn115061509a，一种uvw对位平台包括基座100、移动机构300、旋转支撑组件400、工作台500和驱动机构，工作台500和基座100相对设置，四个移动机构300呈矩形排布在基座100上，每个移动机构300的输出端均能沿x方向或者沿y方向移动，每个移动机构300的输出端均与一个旋转支撑组件400的输入端连接，每个旋转支撑组件400的输出端均与工作台500连接。驱动机构包括第一驱动机构600、第二驱动机构700和第三驱动机构800，第一驱动机构600、第二驱动机构700和第三驱动机构800的输出端依本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种XXY对位平台，其特征在于：包括：

2.根据权利要求1所述的XXY对位平台，其特征在于：所述X用双向滑台(2)以及所述Y用双向滑台(3)的上侧设置有旋转台(53)，所述旋转台(53)与所述承载板(4)相连接，所述旋转台(53)的回转轴线沿Z方向。

3.根据权利要求2所述的XXY对位平台，其特征在于：两个所述X用双向滑台(2)、一个所述Y用双向滑台(3)以及一个所述Y用单向滑台(5)呈四边形分布设置。

4.根据权利要求2所述的XXY对位平台，其特征在于：两个所述X用双向滑台(2)、一个所述Y用双向滑台(3)以及一个所述Y用单向滑台(5)呈直线分布...

【技术特征摘要】

1.一种xxy对位平台，其特征在于：包括：

2.根据权利要求1所述的xxy对位平台，其特征在于：所述x用双向滑台(2)以及所述y用双向滑台(3)的上侧设置有旋转台(53)，所述旋转台(53)与所述承载板(4)相连接，所述旋转台(53)的回转轴线沿z方向。

3.根据权利要求2所述的xxy对位平台，其特征在于：两个所述x用双向滑台(2)、一个所述y用双向滑台(3)以及一个所述y用单向滑台(5)呈四边形分布设置。

4.根据权利要求2所述的xxy对位平台，其特征在于：两个所述x用双向滑台(2)、一个所述y用双向滑台(3)以及一个所述y用单向滑台(5)呈直线分布设置，所述x用驱动件(6)以及所述y用驱动件(7)位于所述承载板(4)的同一侧上。

5.根据权利要求3所述的xxy对位平台，其特征在于：所述x用驱动件(6)以及所述y用驱动件(7)位于所述承载板(4)的同一侧上。

6.根据权利要求3所述的xxy对位平台，其特征在于：所述x用驱动件(6)与所述y用驱动件(7)分别位于所述承载板(4)相对的两侧上。

7.根据权利要求3所述的xxy对位平台，其特征在于：两个所述x用双向滑台(2)、一个所述y用双向滑台(3)以及一个所述y用单向滑台(5)呈正方形...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘文锋，杨登丰，
申请(专利权)人：誊展精密科技深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：