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本申请涉及一种XXY对位平台,包括基板;X用双向滑台,设置在基板上;Y用双向滑台,设置在基板上;承载板,与X用双向滑台以及Y用双向滑台的上侧相连接;Y用单向滑台,设置在基板上,Y用单向滑台沿X方向运动;Y向引导台,与Y用单向滑台相连接,Y向...该专利属于誊展精密科技(深圳)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过誊展精密科技(深圳)有限公司授权不得商用。
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