X射线管和X射线分析装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了Ｘ射线管和Ｘ射线分析装置。为了能够实现进一步的小尺寸和轻重量并提高灵敏度，提供：真空室（２），其内部处于真空状态并且包括由Ｘ射线透射膜形成的窗口部分，通过该Ｘ射线透射膜可以透射Ｘ射线；安装在真空室（２）的内部的电子束源（３），用于发射电子束ｅ；靶Ｔ，用于通过用电子束ｅ照射而产生初级Ｘ射线Ｘ１，并且被安装在真空室（２）的内部以便能够通过窗口部分（１）将初级Ｘ射线Ｘ１发射到外部样品Ｓ；以及Ｘ射线探测元件（４），其被布置在真空室（２）的内部以便能够探测从样品Ｓ发射并从窗口部分（１）入射的荧光Ｘ射线和散射Ｘ射线Ｘ２，用于输出包括荧光Ｘ射线和散射Ｘ射线Ｘ２的能量信息的信号。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种X射线管和X射线分析装置，例如用于能量色散 型的荧光X射线分析装置，更优选地用于小尺寸和轻重量灵便型以及便携型的荧光x射线分析装置。
技术介绍
荧光X射线分析通过向样品照射从X射线源发射的初级X射线并 用X射线探测器探测从该样品发射的焚光X射线以便由此从荧光X射线的能量获取光谱，从而进行样品的定性分析或定量分析。由于可以无损地和迅速地分析样品，因此荧光X射线分析被广泛地用在分步/质量控制中。作为荧光X射线分析的分析方法，存在测量X射线的波长和强度的波长色散型、在不用脉沖高度分析仪来色散荧光x射线并测量x射线的能量和强度的情况下通过半导体探测元件来探测荧光X射线的能量色散型。在相关技术(例如专利参考文献1 (JP-A-8-l 15694))中，为了提高荧光X射线的灵敏度，尝试着通过向X射线管提供取出窗口来使X 射线管和X射线分析仪接近于样品，其中所述取出窗口用于取出经过其 内部并到外部的荧光X射线。此外，如在专利参考文献2(日本专利No. 3062685 )中所述，灵便 型的能量色散型荧光X射线分析装置已经以小尺寸形式的X射线管和X 射线分析仪被普遍使用了 。根据上本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种Ｘ射线管，包括：　　　　真空室，其内部处于真空状态，并且其包括由Ｘ射线透射膜形成的窗口部分，通过该Ｘ射线透射膜可以透射Ｘ射线；　　　　安装在真空室的内部的电子束源，用于发射电子束；　　　　靶，用于通过用电子束进行照射而产生初级Ｘ射线，并且被安装在真空室的内部，以便能够通过窗口部分将初级Ｘ射线发射到外部样品；以及　　　　Ｘ射线探测元件，其被布置在真空室的内部以便能够探测从样品发射并从窗口部分入射的荧光Ｘ射线和散射Ｘ射线，用于输出包括荧光Ｘ射线和散射Ｘ射线的能量信息的信号。

【技术特征摘要】
JP 2007-1-30 2007-018872;JP 2007-7-28 2007-1968181、一种X射线管，包括真空室，其内部处于真空状态，并且其包括由X射线透射膜形成的窗口部分，通过该X射线透射膜可以透射X射线；安装在真空室的内部的电子束源，用于发射电子束；靶，用于通过用电子束进行照射而产生初级X射线，并且被安装在真空室的内部，以便能够通过窗口部分将初级X射线发射到外部样品；以及X射线探测元件，其被布置在真空室的内部以便能够探测从样品发射并从窗口部分入射的荧光X射线和散射X射线，用于输出包括荧光X射线和散射X射线的能量信息的信号。2、 根据权利要求1所述的X射线管，其中靶被布置成接近窗口部 分或者与窗口部分接触；以及其中X射...

【专利技术属性】
技术研发人员：的场吉毅，
申请(专利权)人：精工电子纳米科技有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]