一种双单元制冷装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种双单元制冷装置，包括超低温制冷单元和极限低温制冷单元，所述超低温制冷单元设有上设有高压供气接头和低压回气接头，所述极限低温制冷单元包括真空泵体，所述真空泵体内设有制冷组件，所述制冷组件包括第一制冷毛细管和第一管道，所述第一管道的外部套设有第二管道，所述第二管道的内壁与第一管道之间有间隙，所述第二管道的首末两端分别设有转接头，所述第一制冷毛细管的一端与第一管道的末端相连、另一端通过转接头与第二管道的末端相连通，所述第一管道的首端与第一高压供气接头相连通，所述第二管道的首端通过转接头与低压回气接头相连通。本实用新型专利技术提供的一种双单元制冷装置，具有较高的稳定性。具有较高的稳定性。具有较高的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种双单元制冷装置


[0001]本技术涉及冷却装置
，具体说涉及一种双单元制冷装置。

技术介绍

[0002]真空镀膜设备在对产品进行镀膜前，为获得洁净度最高的高真空环境，需要进行两级抽真空，在经过前级抽真空后，真空室开启绝限低温腔，对剩余的气体进行二级冷凝式抽空，最终镀膜真空度达到1.0E
‑
5或更低，这样可获得洁净度最高的高真空环境。
[0003]现有15K温区以下的制冷装置是由真空腔体外的压缩单元供应高压洁净常温的氦气，输送到真空腔体内的低温机头，低温机头利用高压氦气作为动力，对部分氦气再进行压缩，压缩后节流膨胀，膨胀吸热达到制冷效果。
[0004]由于真空镀膜设备要求较高的洁净度，低温机头在真空腔体内对氦气进行压缩时，运动部件不能使用润滑油，低温机头的运动部件容易磨损，从而降低了制冷装置使用的稳定性。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种双单元制冷装置，具有较高的稳定性。
[0006]本技术公开的双单元制冷装置所采用的技术方案是:
[0007]一种双单元制冷本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双单元制冷装置，其特征在于，包括超低温制冷单元和极限低温制冷单元，所述超低温制冷单元设有上设有高压供气接头和低压回气接头，所述极限低温制冷单元包括真空泵体，所述真空泵体上开设有预抽真空接口，所述真空泵体内设有制冷组件，所述制冷组件包括第一制冷毛细管和第一管道，所述第一管道的外部套设有第二管道，所述第二管道的内壁与第一管道之间有间隙，所述第二管道的首末两端分别设有转接头，所述第一制冷毛细管的一端与第一管道的末端相连、另一端通过转接头与第二管道的末端相连通，所述第一管道的首端与第一高压供气接头相连通，所述第二管道的首端通过转接头与低压回气接头相连通。2.如权利要求1所述的双单元制冷装置，其特征在于，所述制冷组件还包括第三管道，所述第三管道的外部套设有第四管道，所述第四管道的内壁与第三管道之间有间隙，...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭芳碧，
申请(专利权)人：苏州罗旭真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：