一种用于离子注入机中离子源零部件的密封性测试机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于离子注入机中离子源零部件的密封性测试机，属于密封测试设备领域，包括抽气室，所述抽气室的顶部设有第一连接管和第二连接管，所述第一连接管的顶部安装有压力表，所述第二连接管的顶部设有盖帽，所述第一连接管和压力表中间设置有第二密封圈，所述第二连接管的顶端设有第一密封圈，所述盖帽的底部设有第三密封圈，所述抽气室的一侧设有通孔，本实用新型专利技术结构简单、操作简便，节省人工，工作效率明显提高；保护了产品，不被严重氧化。严重氧化。严重氧化。

【技术实现步骤摘要】
一种用于离子注入机中离子源零部件的密封性测试机


[0001]本技术涉及密封测试设备领域，具体是涉及一种用于离子注入机中离子源零部件的密封性测试机。

技术介绍

[0002]零件是机器组成的基本要素。机器一般包括一个或几个用来接受外界能源的传动部分（如电动机、内燃机、蒸汽机）；实现机器生产职能的执行部分（如机床中的刀具），把原动机的运动和动力传递给执行部分的传动部分（如机床中的齿轮与螺旋传动机构），保障机器中各部分协调工作的检测与控制系统（如机床中的数控系统）构成（即机器由原动部分，传动部分，执行部分，测控部分构成）。将机器进行进一步分解，可以得到各类零件。
[0003]零件的固定需要焊接，在零件焊接的产品，而且产品焊接位置的壁很薄。在焊接的时候有一定的概率会焊穿产品，导致产品漏气，因此需要测试产品在焊接后的密封性是否良好，现有零件密封测试方法为：1、使用橡胶堵头把右侧的孔堵住；2、左侧套上橡胶管，往产品内通气；3、通气的同时，把产品放入水中；4、通过观察产品的焊接位置是否有汽包冒出，判断产品的密封性是否完好，上述检测方法的缺点在于：1、操作繁琐，效率低下；2、产品是金属件，在遇水后加速了产品的氧化。
[0004]因此，需要提供一种用于离子注入机中离子源零部件的密封性测试机，旨在解决上述问题。

技术实现思路

[0005]针对现有技术存在的不足，本技术实施例的目的在于提供一种用于离子注入机中离子源零部件的密封性测试机，以解决上述
技术介绍
中的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0007]一种用于离子注入机中离子源零部件的密封性测试机，包括抽气室、第一连接管、第二连接管和压力表，所述抽气室的顶部设有第一连接管和第二连接管，所述第一连接管的顶部安装有压力表，所述第二连接管的顶部设有盖帽，所述第一连接管和压力表中间设置有第二密封圈，所述第二连接管的顶端设有第一密封圈，所述盖帽的底部设有第三密封圈，所述抽气室的一侧设有通孔，所述第一连接管和压力表之间为密封连接，通过抽气室、第一连接管、第二连接管和压力表的相互配合对焊接产品的密封性进行测试。
[0008]作为本技术进一步的方案，所述第一连接管和第二连接管均垂直固定安装在抽气室的顶部中心，所述抽气室的形状为圆柱形，所述第一连接管和第二连接管与抽气室内部相联通，所述通孔设置在抽气室侧壁中心处。
[0009]作为本技术进一步的方案，所述第一连接管内部顶端设置有内螺纹，所述压力表的底部中心设有螺纹杆，所述螺纹杆与内螺纹相适配，所述第一连接管与压力表之间螺纹连接，所述第二密封圈设置在第一连接管与螺纹杆的接触面上。
[0010]作为本技术进一步的方案，所述第二连接管的顶部设有凹槽，所述凹槽内安
装有第一密封圈，所述第一密封圈固定安装在凹槽内底部，所述测试零件设置在第二连接管和盖帽中间，所述第三密封圈固定安装在盖帽内底部。
[0011]作为本技术进一步的方案，所述测试零件包括零件一和零件二，所述零件二焊接在零件一上，所述零件一为焊接管，零件二为焊接件，所述零件一的顶部设有橡胶堵头，所述零件一的顶部设有外螺纹，所述盖帽通过螺纹与零件一相连接，所述零件一的底端与第二连接管顶端的凹槽相适配，通过第一密封圈、第三密封圈和橡胶堵头的相互配合，使测试零件的顶端密封，测试零件的底端与第二连接管之间密封连接。
[0012]综上所述，本技术实施例与现有技术相比具有以下有益效果：
[0013]1、本技术结构简单、操作简便，节省人工，工作效率明显提高；保护了产品，不被严重氧化。
[0014]2、旧的测试方案需要2个人才能实施，新的方案只要1人就能实施。
[0015]为更清楚地阐述本技术的结构特征和功效，下面结合附图与具体实施例来对本技术进行详细说明。
附图说明
[0016]图1为本技术实施例的整体结构示意图。
[0017]图2为本技术实施例中的测试零件示意图。
[0018]附图标记：1
‑
抽气室、2
‑
第一连接管、3
‑
第二连接管、4
‑
第一密封圈、5
‑
第二密封圈、6
‑
压力表、7
‑
测试零件、701
‑
零件一、702
‑
零件二、8
‑
第三密封圈、9
‑
盖帽、10
‑
橡胶堵头、11
‑
螺纹杆、12
‑
通孔。
具体实施方式
[0019]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0020]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“中部”、“一侧”、“顶部”、“顶端”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0021]此外，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量，由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征；术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是拆卸连接或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接连接，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0022]以下结合具体实施例对本技术的具体实现进行详细描述。
[0023]实施例1
[0024]参见图1～图2，一种用于离子注入机中离子源零部件的密封性测试机，包括抽气室1、第一连接管2、第二连接管3、压力表6、测试零件7、盖帽9、橡胶堵头10和通孔12。
[0025]所述抽气室1的顶部设有第一连接管2和第二连接管3，所述第一连接管2的顶部安装有压力表6，所述第二连接管3的顶部设有盖帽9，所述第一连接管2和压力表6中间设置有第二密封圈5，所述第二连接管3的顶端设有第一密封圈4，所述盖帽9的底部设有第三密封圈8，所述抽气室1的一侧设有通孔12，所述第一连接管2和压力表6之间为密封连接，通过抽气室1、第一连接管2、第二连接管3和压力表6的相互配合对焊接产品的密封性进行测试。
[0026]所述第一连接管2和第二连接管3均垂直固定安装在抽气室1的顶部中心，所述抽气室1的形状为圆本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于离子注入机中离子源零部件的密封性测试机，包括抽气室(1)、第一连接管(2)、第二连接管(3)、压力表(6)和测试零件(7)，其特征在于，所述抽气室(1)的顶部设有第一连接管(2)和第二连接管(3)，所述第一连接管(2)的顶部安装有压力表(6)，所述第二连接管(3)的顶部设有盖帽(9)，所述第一连接管(2)和压力表(6)中间设置有第二密封圈(5)，所述第二连接管(3)的顶端设有第一密封圈(4)，所述盖帽(9)的底部设有第三密封圈(8)，所述抽气室(1)的一侧设有通孔(12)，所述第一连接管(2)和压力表(6)之间为密封连接。2.根据权利要求1所述的一种用于离子注入机中离子源零部件的密封性测试机，其特征在于，所述第一连接管(2)和第二连接管(3)均垂直固定安装在抽气室(1)的顶部中心，所述抽气室(1)的形状为圆柱形，所述第一连接管(2)和第二连接管(3)与抽气室(1)内部相联通，所述通孔(12)设置在抽气室(1)侧壁中心处。3.根据权利要求2所述的一种用于离子注入机中离子源零部件的密封性测试机，其特征在于，所述第一连接管(2)内部顶端设置有...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶志强，叶寒，
申请(专利权)人：上海西普瀚芯电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：