一种用于离子注入机中离子源零部件的密封性测试机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于离子注入机中离子源零部件的密封性测试机，属于密封测试设备领域，包括抽气室，所述抽气室的顶部设有第一连接管和第二连接管，所述第一连接管的顶部安装有压力表，所述第二连接管的顶部设有盖帽，所述第一连接管和压力表中间设置有第二密封圈，所述第二连接管的顶端设有第一密封圈，所述盖帽的底部设有第三密封圈，所述抽气室的一侧设有通孔，本实用新型专利技术结构简单、操作简便，节省人工，工作效率明显提高；保护了产品，不被严重氧化。严重氧化。严重氧化。

【技术实现步骤摘要】
一种用于离子注入机中离子源零部件的密封性测试机


[0001]本技术涉及密封测试设备领域，具体是涉及一种用于离子注入机中离子源零部件的密封性测试机。

技术介绍

[0002]零件是机器组成的基本要素。机器一般包括一个或几个用来接受外界能源的传动部分（如电动机、内燃机、蒸汽机）；实现机器生产职能的执行部分（如机床中的刀具），把原动机的运动和动力传递给执行部分的传动部分（如机床中的齿轮与螺旋传动机构），保障机器中各部分协调工作的检测与控制系统（如机床中的数控系统）构成（即机器由原动部分，传动部分，执行部分，测控部分构成）。将机器进行进一步分解，可以得到各类零件。
[0003]零件的固定需要焊接，在零件焊接的产品，而且产品焊接位置的壁很薄。在焊接的时候有一定的概率会焊穿产品，导致产品漏气，因此需要测试产品在焊接后的密封性是否良好，现有零件密封测试方法为：1、使用橡胶堵头把右侧的孔堵住；2、左侧套上橡胶管，往产品内通气；3、通气的同时，把产品放入水中；4、通过观察产品的焊接位置是否有汽包冒出，判断产品的密封性是否完好，上述检测方法的缺点在于：1、操本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于离子注入机中离子源零部件的密封性测试机，包括抽气室(1)、第一连接管(2)、第二连接管(3)、压力表(6)和测试零件(7)，其特征在于，所述抽气室(1)的顶部设有第一连接管(2)和第二连接管(3)，所述第一连接管(2)的顶部安装有压力表(6)，所述第二连接管(3)的顶部设有盖帽(9)，所述第一连接管(2)和压力表(6)中间设置有第二密封圈(5)，所述第二连接管(3)的顶端设有第一密封圈(4)，所述盖帽(9)的底部设有第三密封圈(8)，所述抽气室(1)的一侧设有通孔(12)，所述第一连接管(2)和压力表(6)之间为密封连接。2.根据权利要求1所述的一种用于离子注入机中离子源零部件的密封性测试机，其特征在于，所述第一连接管(2)和第二连接管(3)均垂直固定安装在抽气室(1)的顶部中心，所述抽气室(1)的形状为圆柱形，所述第一连接管(2)和第二连接管(3)与抽气室(1)内部相联通，所述通孔(12)设置在抽气室(1)侧壁中心处。3.根据权利要求2所述的一种用于离子注入机中离子源零部件的密封性测试机，其特征在于，所述第一连接管(2)内部顶端设置有...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶志强，叶寒，
申请(专利权)人：上海西普瀚芯电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：