一种高精度直线运动模组、及其包含该模组的光刻机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高精度直线运动模组、及其包含该模组的光刻机，属于直线运动模组的技术领域。包括基座、运动组件和校正组件；其中，基座采用大理石材料制成；运动组件包括设置在所述基座上的两侧的两个直线导轨，套装在所述直线模组上的两个直线滑块，安装在所述直线滑块上的安装台，安装在所述安装台上的定位装置；校正组件包括安装在所述安装台下的光栅尺传感器，和设置在所述安装台两侧的激光干涉仪。本实用新型专利技术通过光栅尺传感器对直线运动模组的位移进行测量，然后反馈至系统，根据测量数据重新规划位移数据，进而提高直线运动模组的运动精度。组的运动精度。组的运动精度。

【技术实现步骤摘要】
一种高精度直线运动模组、及其包含该模组的光刻机


[0001]本技术属于直线运动模组，尤其是一种高精度直线运动模组、及其包含该模组的光刻机。

技术介绍

[0002]微米级无掩膜光刻机是半导体及PCB生产领域中一个重要设备，有别于传统半自动曝光设备，是利用数字光源取代传统光刻机的掩模板，从而可以直接将计算机的图形数据曝光到晶圆或PCB板上，再经过定型、显影等工艺，最终在晶片上复制出图形和图案。对于大体积的晶圆或PCB板，需要采用分区域的曝光进行光刻。因此，对光刻机的运动平台的运动精度提出了更高的标准了。
[0003]直线运动模组通常包括滚珠丝杆和KK模组等，其运行过程中，滚珠丝杆和KK模组之间存在一定的跳动误差，进而导致整个直线运动模组的行走平行度精度不高。因此现有的改进思路是通过对材料进行改进和提高加工的精度，进而提高直线模组的运动精度。但是上述思路的成本相对较高，难以得到大规模的普及。

技术实现思路

[0004]为了克服上述技术缺陷，本技术提供一种高精度直线运动模组、及其包含该模组的光刻机，以解决
技术介绍
所涉及的问题。
[0005]本技术提供一种高精度直线运动模组、及其包含该模组的光刻机，包括：基座、运动组件和校正组件。
[0006]基座，采用大理石材料制成；
[0007]运动组件，包括设置在所述基座上的两侧的两个直线导轨，套装在所述直线模组上的两个直线滑块，安装在所述直线滑块上的安装台，安装在所述安装台上、用于固定晶圆或PCB板的定位装置；
[0008]校正组件，包括安装在所述安装台下的光栅尺传感器，和设置在所述安装台两侧的激光干涉仪。
[0009]优选地或可选地，所述直线运动模组的外部均安装有防尘装置。
[0010]优选地或可选地，所述防尘装置包括设置在所述直线运动模组两端的盖板，以及设置在所述盖板与安装台之间的钢琴罩。
[0011]优选地或可选地，所述钢琴罩为由多个向外周凸出的环状峰部和多个向外周凹陷的环状谷部而形成的波纹形外罩；可沿着所述直线运动模组的轴向伸长或压缩预定距离。
[0012]优选地或可选地，所述光栅尺传感器包括：安装在所述安装台底部的主尺，以及设置在所述基座或横梁上的读数头。
[0013]优选地或可选地，所述激光干涉仪设置基座或横梁两端，且与所述安装台相对齐。
[0014]优选地或可选地，所述安装台的外部设置有拖链；所述拖链上至少包括有与直线滑块相连接的控制线路和供电线路。
[0015]优选地或可选地，所述直线导轨的型号为QHH20CA2R1000ZAPII；所述直线滑块的型号为QHH20CA04.15。
[0016]本技术还提供一种光刻机，包含上述的高精度直线运动模组。
[0017]有益效果：本技术涉及一种高精度直线运动模组、及其包含该模组的光刻机，通过光栅尺传感器对直线运动模组的位移进行测量，然后反馈至系统，根据测量数据重新规划位移数据，进而提高直线运动模组的运动精度。通过设置激光干涉仪对直线运动模组运动精度进行校准，对直线运动模组的运动进行监测，并提高直线运动模组的精度。
附图说明
[0018]图1是本技术的结构示意图。
[0019]图2是本技术中运动组件的结构示意图。
[0020]图3是本技术中钢琴罩的结构示意图。
[0021]图4是本技术中光刻机的结构示意图。
[0022]附图标记为：基座110、直线导轨120、直线滑块130、安装台140、定位装置150、光栅尺传感器160、激光干涉仪170、防尘装置180、盖板181、钢琴罩182、峰部182a、谷部182c、主尺161、读数头162、拖链190、光刻机200。
具体实施方式
[0023]在下文的描述中，给出了大量具体的细节以便提供对本技术更为彻底的理解。然而，对于本领域技术人员而言显而易见的是，本技术可以无需一个或多个这些细节而得以实施。在其他的例子中，为了避免与本技术发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行描述。
[0024]参阅附图1，一种高精度直线运动模组，包括：基座110、直线导轨120、直线滑块130、安装台140、定位装置150、光栅尺传感器160、激光干涉仪170、防尘装置180、盖板181、钢琴罩182、峰部182a、谷部182c、主尺161、读数头162、拖链190、光刻机200。
[0025]其中，基座110采用大理石材料制成，由于大理石材料受温度的影响相对较小，减小了温度对基座的平整度和连接契合度的影响，进而提高直线运动模组的运动精度；运动组件包括设置在所述基座110上的两侧的两个直线导轨120，套装在所述直线模组上的两个直线滑块130，安装在所述直线滑块130上的安装台140，安装在所述安装台140上的定位装置150，所述定位装置150用于固定晶圆或PCB板，本领域技术人员可以根据需求设计，在此不做进一步限制；校正组件包括安装在所述安装台140下的光栅尺传感器160，和设置在所述安装台140两侧的激光干涉仪170。其中，所述光栅尺传感器160包括安装在所述安装台140底部的主尺161，以及设置在所述基座110或横梁上的读数头162。所述激光干涉仪170设置基座110或横梁两端，且与所述安装台140相对齐，通过监控安装台140的位置，获取直线运动模组的位移信息。通过设置光栅尺传感器160对运动模具的位移进行测量，然后反馈至系统，根据测量数据重新规划位移数据，进而提高直线运动模组的运动精度。通过设置激光干涉仪170对线运动模组的运动精度进行校准，对直线运动模组的运动进行监测，并提高直线运动模组的精度。
[0026]在进一步实施例中，在进一步实施例中，所述直线运动模组上安装有原点标识物
80。方便每次曝光完成后或准备使用设备前，对运动平台进行归零，运动避免误差的累积，提高运动平台的下一次曝光精度。
[0027]需要说明的是，对于本领技术人员而言，所述运动组件还包括动力源，用于提供直线运动模组的动力，由于与本实施例的技术问题无直接关系，故未做具体描述。在具体实施例过程中，可以为直线电机带动的丝杆等机构，在此不做进一步叙述。
[0028]在进一步实施例中，所述直线运动模组的外部均安装有防尘装置180。所述防尘装置180包括设置在所述直线运动模组两端的盖板181，以及设置在所述盖板181与安装台140之间的钢琴罩182。所述钢琴罩182为由多个向外周凸出的环状峰部182a和多个向外周凹陷的环状谷部182c而形成的波纹形外罩；所述钢琴罩182可沿着所述直线运动模组的轴向伸长或压缩预定距离。一方面，避免灰尘堆积，影响直线运动模组的运动精度；另一方面不会占据额外的空间，减小了直线运动模组的体积。
[0029]在进一步实施例中，所述安装台140的外部设置有拖链190；所述拖链190上至少包括有与直线滑块130相连接的控制线路和供电线路。避免线路磨损，提高线路的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高精度直线运动模组，其特征在于，包括：基座，采用大理石材料制成；运动组件，包括设置在所述基座上的两侧的两个直线导轨，套装在所述直线运动模组上的两个直线滑块，安装在所述直线滑块上的安装台，安装在所述安装台上、用于固定晶圆或PCB板的定位装置；校正组件，包括安装在所述安装台下的光栅尺传感器，和设置在所述安装台两侧的激光干涉仪。2.根据权利要求1所述的高精度直线运动模组，其特征在于，所述直线运动模组的外部均安装有防尘装置。3.根据权利要求2所述的高精度直线运动模组，其特征在于，所述防尘装置包括设置在所述直线运动模组两端的盖板，以及设置在所述盖板与安装台之间的钢琴罩。4.根据权利要求3所述的高精度直线运动模组，其特征在于，所述钢琴罩为由多个向外周凸出的环状峰部和多个向外周凹陷的环状谷部而形成的波...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄良斌，刘冉，孙润光，孙润文，
申请(专利权)人：领先光学技术常熟有限公司，
类型：新型
国别省市：