光刻机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种光刻机，包括：底座、龙门、对位装置、曝光装置、第一移动台、第二移动台和电控系统，龙门设置于底座上，对位装置设置于龙门上且可横向和竖向运动，曝光装置设置于龙门上且可横向和竖向运动，第一移动台可纵向运动地设置于底座，第二移动台可纵向移动地设置于底座且在竖向上低于第一移动台，第一移动台和第二移动台交替在曝光区进行对位和曝光。通过设置两个能够独立运动的第一移动台和第二移动台，当第一移动台上的基板在曝光区进行对位曝光的时候，第二移动台上的基板能够在待检区进行收放基板，第一移动台和第二移动台交替曝光，可以极大地减少光刻机各系统的工作的空闲时间,从而可以有效地提升光刻机的产能。能。能。

【技术实现步骤摘要】
光刻机


[0001]本技术涉及光刻设备
，尤其是涉及一种光刻机。

技术介绍

[0002]光刻技术是用于在衬底表面上印刷具有特征的构图。这样的衬底可包括用于制造半导体器件、多种集成电路、平面显示器(例如液晶显示器)、电路板、生物芯片、微机械电子芯片、光电子线路芯片等的基片。直写光刻技术以替代传统的掩膜版或菲林底片等曝光的影像直接转移技术，在半导体及PCB生产领域有着非常重要的作用。曝光产能是客户需求的一项重要指标，那么提高直写光刻机曝光产能则变的至关重要。
[0003]相关技术中，单台面光刻机的产能较低，生产周期长，每一片基板的曝光需要完成上板，对准，曝光，下板等工序，整个流程时间较长，即光刻机的工作效率低。

技术实现思路

[0004]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出了一种光刻机，通过设置两个能够独立运动的第一移动台和第二移动台，使得第一移动台和第二移动台可以交替曝光，提升光刻机的工作效率。
[0005]根据本技术实施例的光刻机，包括：底座、龙门、对位装置、曝光装置、第一移动台、第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻机，其特征在于，包括：底座；龙门，所述龙门设置于所述底座上；对位装置，所述对位装置设置于所述龙门上且可横向和竖向运动；曝光装置，所述曝光装置设置于所述龙门上且可横向和竖向运动，所述曝光装置的下方为曝光区；第一移动台，所述第一移动台用于放置基板，所述第一移动台可纵向运动地设置于所述底座；第二移动台，所述第二移动台用于放置基板，所述第二移动台可纵向移动地设置于所述底座且在竖向上低于所述第一移动台；电控系统，所述电控系统分别与所述第一移动台和所述第二移动台电控连接，以使所述第一移动台和所述第二移动台交替在所述曝光区进行对位和曝光。2.根据权利要求1所述的光刻机，其特征在于，所述第一移动台和所述第二移动台均包括：支撑台座，所述支撑台座设置于所述底座，所述第一移动台的所述支撑台座高于所述第二移动台的所述支撑台座；第一驱动组件，所述第一驱动组件设置于所述底座且驱动所述支撑台座沿纵向运动；吸盘，所述吸盘设置于所述支撑台座，所述吸盘用于吸附基板。3.根据权利要求2所述的光刻机，其特征在于，所述底座上设置有第一滑轨和第二滑轨，所述第一滑轨和所述第二滑轨沿纵向延伸且在横向间隔设置，所述第一移动台的所述支撑台座设置于所述第一滑轨，所述第二移动台的所述支撑台座设置于所述第二滑轨。4.根据权利要求3所述的光刻机，其特征在于，所述第一驱动组件包括：第一驱动电机，所述第一驱动电机与所述电控系统电控连接；第一丝杠，所述第一丝杠与所述第一驱动电机传动连接；第一滑块，所述第一滑块螺纹配合在所述第一丝杠上且设置于所述支撑台座。...

【专利技术属性】
技术研发人员：曲鲁杰，关远远，
申请(专利权)人：合肥芯碁微电子装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：