一种UVLED光刻光源制造技术

本实用新型专利技术公开了一种UV LED光刻光源，属于LED光刻光源领域，一种UV LED光刻光源，包括UV LED模组、导光模组、复眼模组、反射镜和准直镜，UV LED模组发出光源依次经过导光模组和复眼模组投射到反射镜，反射镜将光线折射到准直镜，它便于通过折射和散射将UV LED模组发出出来的光线保持统一强度，从而防止对半导体等开孔时，由于光线强度不同而导致开孔大小不一，且该装置消耗功率低、稳定时间短。稳定时间短。稳定时间短。

【技术实现步骤摘要】
一种UV LED光刻光源


[0001]本技术涉及LED光刻光源领域，更具体地说，涉及一种UV LED光刻光源。

技术介绍

[0002]光刻是平面型晶体管和集成电路生产中的一个主要工艺。是对半导体晶片表面的掩蔽物(如二氧化硅)进行开孔，以便进行杂质的定域扩散的一种加工技术。
[0003]在半导体行业中有许多使用UV LED对半导体等表面进行开孔，而传统的UV LED产生的光线对半导体表面开孔时，传统的UV LED射出的光线不经处理，直接对半导体进行开孔，可能会由于光线的强度不均匀，导致半导体开孔大小不一，因此亟需一种便于保持光线强度统一的UV LED光刻光源。

技术实现思路

[0004]1.要解决的技术问题
[0005]针对现有技术中存在的问题，本技术的目的在于提供一种UV LED光刻光源，它便于通过折射和散射将UV LED模组发出出来的光线保持统一强度，从而防止对半导体等开孔时，由于光线强度不同而导致开孔大小不一，且该装置消耗功率低、稳定时间短。
[0006]2.技术方案
[0007]为解决上述问题，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种UV LED光刻光源，包括UV LED模组(1)、导光模组(2)、复眼模组(3)、反射镜(4)和准直镜(5)，其特征在于：所述UV LED模组(1)发出光源依次经过导光模组(2)和复眼模组(3)投射到反射镜(4)，所述反射镜(4)将光线折射到准直镜(5)。2.根据权利要求1所述的一种UV ...

【专利技术属性】
技术研发人员：游证杰，
申请(专利权)人：顺诠达重庆电子有限公司，
类型：新型
国别省市：