一种多层银复合板还原炉制造技术

本实用新型专利技术提供了一种多层银复合板还原炉，所述多层银复合板还原炉包括底盘和设于底盘上的炉体和设在炉体上的夹套，所述炉体由外到内包括炉体夹套和炉体内筒，所述炉体内筒由多层银复合板制成，所述多层银复合板由内到外包括依次复合的防污染层、基层和导热层，所述防污染层朝向炉体内腔，所述导热层与炉体夹套构成炉体冷却水腔。通过本实用新型专利技术提供的一种多层银复合板还原炉能够达到既能降低金属温度，又能防止产品受到污染的效果。又能防止产品受到污染的效果。又能防止产品受到污染的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种多层银复合板还原炉


[0001]本技术涉及一种还原炉，尤其涉及一种多层银复合板还原炉。

技术介绍

[0002]在高纯多晶硅还原炉(特别是半导体级多晶硅)的生产过程中，因为物料侧表面金属温度依旧很高，在高温下金属表面容易析出杂质导致污染产品，而高纯多晶硅对基体金属杂质含量及碳含量敏感，杂质含量过多会导致产品指标下降。
[0003]由于银具有纯度高、表面反射率高等特性，所以高纯度的多晶硅会采用99.99％纯度以上的银复合板作为内壁材质，以减少生产过程中杂质的析出。
[0004]一般的还原炉使用316L不锈钢作为内筒材质，所以用于还原炉的银复合板基层为不锈钢，但不锈钢相对碳钢有强度低、热导率低的缺点，以2000mm内径的还原炉炉体举例：相同计算条件下，不锈钢316L的壁厚需要28mm，而碳钢Q345R的壁厚只需要19mm，降低32％。同时，300度的金属温度下碳钢的热导率为41.9W/m.℃，不锈钢为18.5W/m.℃，此时碳钢热导率为不锈钢的2.2倍。
[0005]所以，从降低金属温度的角度出发，使用碳钢作为基层会有更好本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多层银复合板还原炉，其特征在于：所述多层银复合板还原炉包括底盘和设于底盘上的炉体和设在炉体上的夹套，所述炉体由外到内包括炉体夹套和炉体内筒，所述炉体内筒由多层银复合板制成，所述多层银复合板由内到外包括依次复合的防污染层、基层和导热层，所述防污染层朝向炉体内腔，所述导热层与炉体夹套构成炉体冷却水腔。2.根据权利要求1所述一种多层银复合板还原炉，其特征在于：所述底盘包括下底板、上底板和设于下底板内的底盘冷却水腔，所述底盘冷却水腔与炉体冷却水...

【专利技术属性】
技术研发人员：张华芹，程佳彪，吴海龙，
申请(专利权)人：上海韵申新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：