本实用新型专利技术公开了一种自清洁抛光液输送装置，包括固定板、外壳和水箱，所述外壳内固定安装有第二连接管，且第二连接管的底端面嵌入固定有第一连接管，所述第一连接管的底端面嵌入固定有出液管，且出液管通过第一连接管与第二连接管液体连通，所述外壳的底端面焊接有支撑架，且支撑架的内壁焊接有隔板，所述隔板的后端面固定安装有液压杆，且液压杆上安装有固定板，所述固定板的顶端面安装有雾化喷头，所述外壳的顶端面安装有水箱，且水箱内固定安装有水泵，所述水泵上安装有伸缩管，且伸缩管背离水泵的一端嵌入固定有固定管，所述固定管与伸缩管液体连通。本实用新型专利技术具备操作便捷，后期维护方便快捷和实用性更佳的优点。期维护方便快捷和实用性更佳的优点。期维护方便快捷和实用性更佳的优点。
【技术实现步骤摘要】
一种自清洁抛光液输送装置
[0001]本技术涉及抛光液输送
，具体为一种自清洁抛光液输送装置。
技术介绍
[0002]自清洁抛光液输送装置是指：大规模集成电路生产过程中,晶圆需要经过多道工序最终形成产品,化学机械抛光是其中的一道关键工序。在化学机械抛光工艺中,抛光液输送装置悬在抛光盘上方,将抛光液从供应源输送到抛光盘合适的落点,抛光液输送装置的洁净程度会影响到晶圆抛光缺陷的数量和抛光质量的稳定性。
[0003]但现有的抛光液输送装置抛光液会飞溅到抛光液输送装置的表面,如果抛光液输送装置表面的抛光液得不到及时清理,抛光液会结晶,抛光液输送装置的悬臂表面的固体颗粒会越聚越多。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种自清洁抛光液输送装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种自清洁抛光液输送装置，包括固定板、外壳和水箱，所述外壳内固定安装有第二连接管，且第二连接管的底端面嵌入固定有第一连接管，所述外壳的底端面焊接有支撑架，且支撑架的内壁焊接有隔板，所述隔板的后端面固定安装有液压杆，且液压杆上安装有固定板，所述固定板的顶端面安装有雾化喷头，所述外壳的顶端面安装有水箱，且水箱内固定安装有水泵，所述水泵上安装有伸缩管，且伸缩管背离水泵的一端嵌入固定有固定管。
[0006]优选的，所述第一连接管的底端面嵌入固定有出液管，且出液管通过第一连接管与第二连接管液体连通。
[0007]优选的，所述固定板的后端面贴合安装有第一固定杆，第一固定杆上滑动套接有第二固定杆，且第二固定杆背离第一固定杆的一端焊接在隔板上。
[0008]优选的，所述固定管与伸缩管液体连通，且固定管与雾化喷头液体连通。
[0009]优选的，所述水箱的顶端面嵌入固定有进液管，且进液管与水箱液体连通。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0011]1、本技术通过设置外壳，人员通过第二连接管对抛光液进行输送后，为保证外壳和出液管外表面的清洁，人员可打开液压杆，液压杆启动时推动固定板使雾化喷头到达外壳和出液管的底端面，到达后人员通过在水箱内加注清洁液体后外接电源打开水泵，水泵启动抽取清洁液体通过伸缩管进入固定管内，清洁液体进入固定管内后通过雾化喷头对外壳和出液管外表面进行喷淋和清洁，使清洁效率更高，保证外壳和出液管外表面的清洁度，并且人员清洁后打开液压杆拉动固定板离开外壳和出液管的底端面，保证出液管的抛光液正常出液，使操作便捷，清洁方便，后期维护方便快捷，实用性更高。
附图说明
[0012]图1为本技术的主视结构示意图；
[0013]图2为本技术的侧视结构示意图；
[0014]图3为本技术的固定板俯视结构示意图。
[0015]图中：1、支撑架；2、固定板；3、固定管；4、隔板；5、雾化喷头；6、出液管；7、第一连接管；8、第二连接管；9、外壳；10、水箱；11、进液管；12、水泵；13、伸缩管；14、液压杆；15、第一固定杆；16、第二固定杆。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0017]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0018]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0019]请参阅图1至图3，本技术提供的一种实施例：一种自清洁抛光液输送装置，包括固定板2、外壳9和水箱10，外壳9内固定安装有第二连接管8，且第二连接管8的底端面嵌入固定有第一连接管7，第一连接管7的底端面嵌入固定有出液管6，且出液管6通过第一连接管7与第二连接管8液体连通，外壳9的底端面焊接有支撑架1，且支撑架1的内壁焊接有隔板4，隔板4的后端面固定安装有液压杆14，且液压杆14上安装有固定板2，固定板2的后端面贴合安装有第一固定杆15，第一固定杆15上滑动套接有第二固定杆16，且第二固定杆16背离第一固定杆15的一端焊接在隔板4上，固定板2的顶端面安装有雾化喷头5，外壳9的顶端面安装有水箱10，且水箱10内固定安装有水泵12，并且正如本领域技术人员所熟知的，所述动力的提供司空见惯，其均属于常规手段或者公知常识，在此就不再赘述，本领域技术人员可以根据其需要或者便利进行任意的选配。
[0020]水泵12上安装有伸缩管13，且伸缩管13背离水泵12的一端嵌入固定有固定管3，固定管3与伸缩管13液体连通，且固定管3与雾化喷头5液体连通，水箱10的顶端面嵌入固定有进液管11，且进液管11与水箱10液体连通，通过设置外壳9，人员通过第二连接管8对抛光液进行输送后，为保证外壳9和出液管6外表面的清洁，人员可打开液压杆14，液压杆14启动时推动固定板2使雾化喷头5到达外壳9和出液管6的底端面，到达后人员通过在水箱10内加注清洁液体后外接电源打开水泵12，水泵12启动抽取清洁液体通过伸缩管13进入固定管3内，
清洁液体进入固定管3内后通过雾化喷头5对外壳9和出液管6外表面进行喷淋和清洁，使清洁效率更高，保证外壳9和出液管6外表面的清洁度，并且人员清洁后打开液压杆14拉动固定板2离开外壳9和出液管6的底端面，保证出液管6的抛光液正常出液，使操作便捷，清洁方便，后期维护方便快捷，实用性更高。
[0021]工作原理：人员通过第二连接管8对抛光液进行输送后，为保证外壳9和出液管6外表面的清洁，人员可打开液压杆14，液压杆14启动时推动固定板2使雾化喷头5到达外壳9和出液管6的底端面，到达后人员通过在水箱10内加注清洁液体后外接电源打开水泵12，水泵12启动抽取清洁液体通过伸缩管13进入固定管3内，清洁液体进入固定管3内后通过雾化喷头5对外壳9和出液管6外表面进行喷淋和清洁，使清洁效率更高，保证外壳9和出液管6外表面的清洁度，并且人员清洁后打开液压杆14拉动固定板2离开外壳9和出液管6的底端面，保证出液管6本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种自清洁抛光液输送装置，包括固定板(2)、外壳(9)和水箱(10)，其特征在于：所述外壳(9)内固定安装有第二连接管(8)，且第二连接管(8)的底端面嵌入固定有第一连接管(7)，所述外壳(9)的底端面焊接有支撑架(1)，且支撑架(1)的内壁焊接有隔板(4)，所述隔板(4)的后端面固定安装有液压杆(14)，且液压杆(14)上安装有固定板(2)，所述固定板(2)的顶端面安装有雾化喷头(5)，所述外壳(9)的顶端面安装有水箱(10)，且水箱(10)内固定安装有水泵(12)，所述水泵(12)上安装有伸缩管(13)，且伸缩管(13)背离水泵(12)的一端嵌入固定有固定管(3)。2.根据权利要求1所述的一种自清洁抛光液输送装置，其特征在于：所述第一...
【专利技术属性】
技术研发人员：叶孔萌，陈博屹，
申请(专利权)人：江苏青昀新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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