一种精抛液回收装置制造方法及图纸

本发明专利技术创造提供了一种精抛液回收装置，包括分液盒，用于向分液盒内排精抛液的分液管，以及控制分液管旋转的旋转组件；分液盒安装在机台安装板其中一侧壁上，分液管通过旋转组件转动安装在机台安装板另一侧壁上，分液管贯穿机台架后延伸至分液盒上方。本发明专利技术创造所述的一种精抛液回收装置通过分液盒对精抛液进行回收，回收后供中抛机的中抛工艺二次利用，节省材料，节省成本。节省成本。节省成本。

【技术实现步骤摘要】
一种精抛液回收装置


[0001]本专利技术创造属于硅片抛光
，尤其是涉及一种精抛液回收装置。

技术介绍

[0002]现有的用于对硅片抛光的设备，在对硅片抛光后的抛光液使用一次后直接排放掉了，造成资源的浪费，其中较精细的抛光液在使用后可用于较粗的抛光液，可将精细的抛光液回收后利用在较粗的抛光上，会节省很大的成本，因此设计一款精抛液回收装置极为重要。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本专利技术创造旨在提出一种精抛液回收装置，以解决精抛液回收的问题。
[0004]为达到上述目的，本专利技术创造的技术方案是这样实现的：
[0005]一种精抛液回收装置，包括分液盒，用于向分液盒内排精抛液的分液管，以及控制分液管旋转的旋转组件；
[0006]分液盒安装在机台安装板其中一侧壁上，分液管通过旋转组件转动安装在机台安装板另一侧壁上，分液管贯穿机台架后延伸至分液盒上方。
[0007]进一步的，旋转组件包括气缸、转动组件，气缸通过气缸固定板安装在机台安装板上，气缸杠杆端通过鱼眼轴承与转动组件连接，转动组件套接本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种精抛液回收装置，其特征在于：包括分液盒(1)，用于向分液盒(1)内排精抛液的分液管(2)，以及控制分液管(2)旋转的旋转组件；分液盒(1)安装在机台安装板(3)其中一侧壁上，分液管(2)通过旋转组件转动安装在机台安装板(3)另一侧壁上，分液管(2)贯穿机台架后延伸至分液盒(1)上方。2.根据权利要求1所述的一种精抛液回收装置，其特征在于：旋转组件包括气缸(5)、转动组件(4)，气缸(5)通过气缸固定板安装在机台安装板(3)上，气缸(5)杠杆端通过鱼眼轴承(51)与转动组件(4)连接，转动组件(4)套接在分液管(2)上。3.根据权利要求2所述的一种精抛液回收装置，其特征在于：转动组件(4)包括管套箍(41)、管套(42)、分液管固定架(43)，管套箍(41)、管套(42)、分液管固定架(43)分别套接在分液管(2)上，分液管固定架(43)一端固定在机台安装板(3)上，分液管固定架(43)上设有通孔，管套(42)安装在通孔内，管套(42)一端设有环形凸边，管套(42)另一端贯穿通孔后与管套箍(41)套接，管套箍(41)上设有顶丝孔，顶丝孔内暗黄有顶丝，环形凸边贴合于分液管固定架...

【专利技术属性】
技术研发人员：安爱博，李文磊，严政先，许普增，赵欣，张晋英，张碧波，边卓利，刘子申，孙晨光，王彦君，
申请(专利权)人：中环领先半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：