一种精抛液回收装置制造方法及图纸

本发明专利技术创造提供了一种精抛液回收装置，包括分液盒，用于向分液盒内排精抛液的分液管，以及控制分液管旋转的旋转组件；分液盒安装在机台安装板其中一侧壁上，分液管通过旋转组件转动安装在机台安装板另一侧壁上，分液管贯穿机台架后延伸至分液盒上方。本发明专利技术创造所述的一种精抛液回收装置通过分液盒对精抛液进行回收，回收后供中抛机的中抛工艺二次利用，节省材料，节省成本。节省成本。节省成本。

【技术实现步骤摘要】
一种精抛液回收装置


[0001]本专利技术创造属于硅片抛光
，尤其是涉及一种精抛液回收装置。

技术介绍

[0002]现有的用于对硅片抛光的设备，在对硅片抛光后的抛光液使用一次后直接排放掉了，造成资源的浪费，其中较精细的抛光液在使用后可用于较粗的抛光液，可将精细的抛光液回收后利用在较粗的抛光上，会节省很大的成本，因此设计一款精抛液回收装置极为重要。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本专利技术创造旨在提出一种精抛液回收装置，以解决精抛液回收的问题。
[0004]为达到上述目的，本专利技术创造的技术方案是这样实现的：
[0005]一种精抛液回收装置，包括分液盒，用于向分液盒内排精抛液的分液管，以及控制分液管旋转的旋转组件；
[0006]分液盒安装在机台安装板其中一侧壁上，分液管通过旋转组件转动安装在机台安装板另一侧壁上，分液管贯穿机台架后延伸至分液盒上方。
[0007]进一步的，旋转组件包括气缸、转动组件，气缸通过气缸固定板安装在机台安装板上，气缸杠杆端通过鱼眼轴承与转动组件连接，转动组件套接在分液管上。
[0008]进一步的，转动组件包括管套箍、管套、分液管固定架，管套箍、套管、分液管固定架分别套接在分液管上，分液管固定架一端固定在机台安装板上，分液管固定架上设有通孔，管套安装在通孔内，套管一端设有环形凸边，套管另一端贯穿通孔后与管套箍套接，管套箍上设有顶丝孔，顶丝孔内暗黄有顶丝，环形凸边贴合于分液管固定架一侧的侧壁，管套箍通过顶丝顶紧在管套上。
[0009]进一步的，转动组件还包括卡箍，卡箍包括两节，两节卡箍之间通过锁紧螺栓连接，连接卡箍套接在分液管外壁，通过锁紧螺栓将卡箍与分液管固定。
[0010]进一步的，卡箍上设有连接孔，连接孔内安装有转轴，转轴一端安装在气缸杠杆端部的鱼眼轴承内。
[0011]进一步的，分液盒包括精抛液回收腔、清洗液回收腔，精抛液回收腔下方连接有第一排液管，清洗液回收腔下方连接有第二排液管，第一排液管另一端与中抛液分液盒连接，第二排液管另一端与回收池连接。
[0012]进一步的，气缸底部通过气缸支架转动安装在气缸固定板上，气缸支架包括两个，气缸底部向外延伸有两个转杆，两个转杆分别安装在两个气缸支架上。
[0013]相对于现有技术，本专利技术创造所述的一种精抛液回收装置具有以下优势：
[0014](1)本专利技术所述的一种精抛液回收装置通过分液盒对精抛液进行回收，回收后供中抛机的中抛工艺二次利用，节省材料，节省成本。
[0015](2)本专利技术所述的一种精抛液回收装置通过气缸控制卡箍转动，卡箍控制分液管
发生角度旋转，从而实现精抛液回收，清洗液排放，使的精抛液回收多次利用，节省成本。
附图说明
[0016]构成本专利技术创造的一部分的附图用来提供对本专利技术创造的进一步理解，本专利技术创造的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术创造，并不构成对本专利技术创造的不当限定。在附图中：
[0017]图1为本专利技术创造实施例所述的一种精抛液回收装置结构图；
[0018]图2为本专利技术创造实施例所述的一种精抛液回收装置拆分结构图；
[0019]图3为本专利技术创造实施例所述的精抛液回收装置正面剖视图。
[0020]附图标记说明：
[0021]1、分液盒；2、分液管；3、机台安装板；4、转动组件；5、气缸；6、气缸固定板；11、精抛液回收腔；12、清洗液回收腔；111、第一排液管；112、第二排液管；41、管套箍；42、管套；43、分液管固定架；44、卡箍；51、鱼眼轴承；61、气缸支架。
具体实施方式
[0022]需要说明的是，在不冲突的情况下，本专利技术创造中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0023]在本专利技术创造的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术创造和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术创造的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本专利技术创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0024]在本专利技术创造的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本专利技术创造中的具体含义。
[0025]下面将参考附图并结合实施例来详细说明本专利技术创造。
[0026]如图1至图3所示，一种精抛液回收装置，包括分液盒1，用于向分液盒1内排精抛液的分液管2，以及控制分液管2旋转的旋转组件；
[0027]分液盒1安装在机台安装板3其中一侧壁上，分液管2通过旋转组件转动安装在机台安装板3另一侧壁上，分液管2贯穿机台架后延伸至分液盒1 上方。
[0028]如图2所示，旋转组件包括气缸5、转动组件4，气缸5通过气缸5固定板安装在机台安装板3上，气缸5杠杆端通过鱼眼轴承51与转动组件4 连接，转动组件4套接在分液管2上。
[0029]转动组件4包括管套箍41、管套42、分液管固定架43，管套箍41、管套42、分液管固定架43分别套接在分液管2上，分液管固定架43一端固定在机台安装板3上，分液管固定架
43上设有通孔，管套42安装在通孔内，管套42一端设有环形凸边，管套42另一端贯穿通孔后与管套箍41套接，管套箍41上设有顶丝孔，顶丝孔内暗黄有顶丝，环形凸边贴合于分液管固定架43一侧的侧壁，管套箍41通过顶丝顶紧在管套42上；
[0030]分液管固定架43为L型，突出的一端贴合于机台安装板3端面，通过螺栓固定，分液管固定架43与机台安装板3之间留有空间，便于放置管套箍41，管套42贯穿分液管固定架43的通孔，一端由环形凸边进行限位，另一端则通过管套箍41进行限位，防止管套42脱离分液管固定架43，管套箍 41上设有顶丝孔，通过顶丝对管套42顶紧对其固定，管套42转动安装在分液管固定架43的通孔内。
[0031]如图2所示，转动组件4还包括卡箍44，卡箍44包括两节，两节卡箍 44之间通过锁紧螺栓连接，连接卡箍44套接在分液管2外壁，通过锁紧螺栓将卡箍44与分液管2固定；
[0032]卡箍44上设有连接孔，连接孔内安装有转轴，转轴一端安装在气缸5杠杆端部的鱼眼轴承51内；
[0033]气缸5底部通过气缸5支架转动安装在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种精抛液回收装置，其特征在于：包括分液盒(1)，用于向分液盒(1)内排精抛液的分液管(2)，以及控制分液管(2)旋转的旋转组件；分液盒(1)安装在机台安装板(3)其中一侧壁上，分液管(2)通过旋转组件转动安装在机台安装板(3)另一侧壁上，分液管(2)贯穿机台架后延伸至分液盒(1)上方。2.根据权利要求1所述的一种精抛液回收装置，其特征在于：旋转组件包括气缸(5)、转动组件(4)，气缸(5)通过气缸固定板安装在机台安装板(3)上，气缸(5)杠杆端通过鱼眼轴承(51)与转动组件(4)连接，转动组件(4)套接在分液管(2)上。3.根据权利要求2所述的一种精抛液回收装置，其特征在于：转动组件(4)包括管套箍(41)、管套(42)、分液管固定架(43)，管套箍(41)、管套(42)、分液管固定架(43)分别套接在分液管(2)上，分液管固定架(43)一端固定在机台安装板(3)上，分液管固定架(43)上设有通孔，管套(42)安装在通孔内，管套(42)一端设有环形凸边，管套(42)另一端贯穿通孔后与管套箍(41)套接，管套箍(41)上设有顶丝孔，顶丝孔内暗黄有顶丝，环形凸边贴合于分液管固定架...

【专利技术属性】
技术研发人员：安爱博，李文磊，严政先，许普增，赵欣，张晋英，张碧波，边卓利，刘子申，孙晨光，王彦君，
申请(专利权)人：中环领先半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：