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本发明创造提供了一种精抛液回收装置，包括分液盒，用于向分液盒内排精抛液的分液管，以及控制分液管旋转的旋转组件；分液盒安装在机台安装板其中一侧壁上，分液管通过旋转组件转动安装在机台安装板另一侧壁上，分液管贯穿机台架后延伸至分液盒上方。本发明创...
该专利属于中环领先半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中环领先半导体材料有限公司授权不得商用。

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