基于相空间重构的电子元器件的故障判断方法、装置、电子设备及存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种基于相空间重构的电子元器件的故障判断方法、装置、电子设备及存储介质，方法包括：获取按电子元器件编号排列的多项参数测试数据的矩阵；将测试数据按照某一自变量参数进行排序，对其他所有参数列按照时间延迟嵌入法绘制二维或三位相空间轨迹图形；计算各因变量参数数据序列的相空间重构轨迹；对于确定的每个元件种子参数，计算测试数据恢复在相轨迹图上与原相轨迹整体的距离dist，如果该距离大于某一阈值，则判断为故障元件；反之，若小于该阈值，则判断为正常元件。可以一次性处理所有电子元器件测试数据，并从系统层面对电子元器件状态的展示和可能故障，实现对工艺过程的诊断和早期故障预防。过程的诊断和早期故障预防。过程的诊断和早期故障预防。

【技术实现步骤摘要】
基于相空间重构的电子元器件的故障判断方法、装置、电子设备及存储介质


[0001]本技术涉及电子元器件的故障诊断、故障溯源与预测分析，特别是具有海量电子系统性能测量数据时，对电子元器件的性能进行的质量分析和整体质量的判断。

技术介绍

[0002]现代芯片研发中，生产的芯片通过各类测试仪器和测试平台的检测，生成了各类的性能测试数据，测试参数个数最多时达2000个，参与测试的芯片样片个数达数百个，形成了海量数据。这些数据是芯片生产工艺过程的反映，体现了生产过程的内在演化规律和变化过程。由于生产工艺的复杂性，测试数据呈现非线性、非平衡性、非典型性和海量性的特征，呈现多特征并存的特点。因此，如何实现对工艺过程的诊断和早期故障预防，是一个重要而尚未解决的问题。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的是提供一种基于相空间重构的电子元器件的故障判断方法，可以一次性处理所有电子元器件测试数据，并从系统层面对电子元器件状态的展示和可能故障。
[0004]为达到上述目的，本专利技术采用的技术方案是：一种基于相空间重构的电子元器件的故障判断本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于相空间重构的电子元器件的故障判断方法，其特征在于，其包括以下步骤：a.将电子元器件按顺序编号，获取按电子元器件编号排列的多项参数的测试数据矩阵，该测试数据矩阵X为m
×
n维，如下：测试数据矩阵的每一行代表某一个元器件对所有可用参数的测试数据样本，每一列表示某可用参数对所有元器件的测试数据；m是样本的数量，n是参数的个数；b.从测试的所有参数中选择一个参数作为自变量参数，并将该列按照从小到大进行排序，同时X中的其他所有参数列也按照此顺序排列，得到矩阵Y:假设将第一个参数作为自变量参数，那么将矩阵X的第一列x1＝[x
11 x
21
ꢀ…ꢀ
x
m1
]
T
进行从小到大的排序得到Y的第一列y1＝[y
11 y
21
ꢀ…ꢀ
y
m1
]
T
，矩阵X除了第一列以外的其他所有列的顺序需按照此顺序重新排列，得到矩阵Y的除了第一列以外的所有列，所有其他列为因变量参数数据序列；c.计算各因变量参数数据序列的相空间重构轨迹；d.获取新的参数测试数据，若新的参数测试数据不在所述相空间重构轨迹上，则认定该元件是有故障的；反之则无故障。2.根据权利要求1所述的基于相空间重构的电子元器件的故障判断方法，其特征在于，步骤c：根据Takens嵌入定理，将单个时间序列{x(t)，t＝1，2，
…
，L}嵌入到m维空间，形成的相空间向量可以表示为：X(t)＝[x(t)，x(t+τ)，
…
，x(t+(m
‑
1)τ)]m是嵌入维数，τ是延迟时间，m维向量构成的空间称为m维重构的相空间；由于测试数据矩阵Y中并没有时间向量，我们将Y中选定的自变量的列向量作为伪时间向量使用，除了Y中自变量列向量，其他列都作为因变量序列来进行观察，需要做出各因变量参数序列的相空间重构轨迹。3.根据权利要求2所述的基于相空间重构的电子元器件的故障判断方法，其特征在于：当m＝2和m＝3时，即二维或三维的情况，设τ＝100，将Y中的第二列的因变量参数数据序列y2＝[y
12 y
22
ꢀ…ꢀ
y
m2
]
T
，转换为3维相空间轨迹，其三个维度的坐标可按伪时...

【专利技术属性】
技术研发人员：武锦，兰小东，李尧，
申请(专利权)人：中科苏州微电子产业技术研究院，
类型：发明
国别省市：