带隔板的密闭腔体制造技术

本申请公开了一种带隔板的密闭腔体。密闭腔体包括：装置主体，装置主体内设置有腔体，腔体用于填充氮气，以进行激光退火；装置主体包括相对设置的两个侧板，其中一个侧板上设置有进气口，另一个侧板上设置有排气口；隔板，设于腔体中，隔板将腔体分成上下两个腔体，进气口用于向上腔体中注入氮气，排气口用于将上腔体中的氮气排出。本申请能快速的向进行激光退火的腔体中注满氮气，且能降低氮气的使用量、确保氮气均匀平稳的向腔体内输送。保氮气均匀平稳的向腔体内输送。保氮气均匀平稳的向腔体内输送。

【技术实现步骤摘要】
带隔板的密闭腔体


[0001]本技术涉及激光退火设备
，尤其涉及一种带隔板的密闭腔体。

技术介绍

[0002]激光退火是一种利用激光对材料进行退火处理的加工方法。激光退火一般是在激光退火装置内进行，激光退火装置的装置主体内设置有密闭的腔体，激光退火则在该密闭的腔体内进行。为了保护工件不被氧化，需要在腔体内充入氮气，通过氮气对工件进行保护。而现有技术中，用于激光退火的腔体较大，氮气使用量较大，且要满足腔体内氧气浓度达到小于1PPM的指标的所需的时间较长，也就是充氮气的时间较长。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种带隔板的密闭腔体，以解决现有技术中进行激光退火时氮气使用量较大，且充氮气的时间较长的问题。
[0004]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0005]一种带隔板的密闭腔体，其中，包括：
[0006]装置主体，所述装置主体内设置有腔体，所述腔体用于填充氮气，以进行激光退火；所述装置主体包括相对设置的两个侧板，其中一个所述侧板上设置有进气口，另一个所述侧板上设置有排气口；
[0007]隔板，设于所述腔体中，所述隔板将所述腔体分成上下两个腔体，所述进气口用于向上腔体中注入氮气，所述排气口用于将所述上腔体中的氮气排出。
[0008]作为上述带隔板的密闭腔体的一种可选方案，所述密闭腔体还包括：
[0009]匀流腔，设于所述进气口与所述上腔体之间，以及设于所述上腔体与所述排气口之间；所述匀流腔为多个，多个所述匀流腔沿着氮气流的流动方向依次设置。
[0010]作为上述带隔板的密闭腔体的一种可选方案，相邻的所述匀流腔之间通过隔离板隔开，所述隔离板上设置有气孔，且每一所述隔离板上的所述气孔(1123)的数量不一致，由外到内的方向上，所述隔离板上的所述气孔(1123)的数量逐渐增加。
[0011]作为上述带隔板的密闭腔体的一种可选方案，所述匀流腔为三个，分别为由外到内依次设置的第一匀流腔、第二匀流腔及第三匀流腔。
[0012]作为上述带隔板的密闭腔体的一种可选方案，所述第一匀流腔与所述第二匀流腔之间设置第一隔离板，所述第二匀流腔与所述第三匀流腔之间设置第二隔离板，所述第三匀流腔与所述上腔体之间设置第三隔离板；
[0013]所述第一隔离板上的所述气孔数量为15
‑
25个，所述第二隔离板上的所述气孔数量为35
‑
45个，所述第三隔离板上的所述气孔数量为300
‑
380个。
[0014]作为上述带隔板的密闭腔体的一种可选方案，所述第一隔离板上的所述气孔数量为20个，所述第二隔离板上的所述气孔数量为40个，所述第三隔离板上的所述气孔数量为340个。
[0015]作为上述带隔板的密闭腔体的一种可选方案，所述隔离板与所述侧板一体成型,以使所述第一匀流腔、所述第二匀流腔及所述第三匀流腔形成在所述侧板内。
[0016]作为上述带隔板的密闭腔体的一种可选方案，所述第一匀流腔位于所述第二匀流腔和所述第三匀流腔的下方。
[0017]作为上述带隔板的密闭腔体的一种可选方案，所述第二匀流腔与所述第三匀流腔沿所述侧板的厚度方向叠设。
[0018]作为上述带隔板的密闭腔体的一种可选方案，所述进气口和所述排气口均为两个，两个进气口和两个排气口均沿所述侧板的长度方向间隔分布。
[0019]本技术的有益之处在于：在装置主体的腔体中设置了隔板，将腔体分成上下两个腔体，激光退火操作在上腔体中进行，下腔体则用于进行其它操作，设置了隔板使得进行激光退火操作的空间缩小，减少了氮气的使用量，同时使上腔体内达到氧气浓度小于1PPM的指标的时间较短，缩短了充氮气所需的时间。
附图说明
[0020]图1是本技术中密闭腔体实施例的结构示意图；
[0021]图2是本技术中密闭腔体实施例的侧视结构示意图；
[0022]图3是本技术中侧板的截面结构示意图。
[0023]图中：
[0024]100、密闭腔体；110、装置主体；111、腔体；1111、隔板；112、侧板；1121、进气口；1123、气孔；113、匀流腔；1131、第一匀流腔；1132、第二匀流腔；1133、第三匀流腔；114、第一隔离板；115、第二隔离板；116、第三隔离板。
具体实施方式
[0025]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部结构。
[0026]请参考图1和图2，本技术提供了一种带隔板的密闭腔体，如图1及图2所示，密闭腔体100包括装置主体110，装置主体110内设置有腔体111，腔体111为密闭腔体，用于填充氮气，以进行激光退火。需要说明的是，腔体111内也可以进行除了激光退火以外的其它工艺操作。腔体111中设置有隔板1111，隔板1111将腔体111分成上下两个腔体，激光退火操作可在上腔体中进行，下腔体则用于进行其它工艺操作，这样就缩小了用于进行激光退火操作的腔体的空间，减少了氮气的使用量，同时使上腔体内达到氧气浓度小于1PPM的指标的时间较短，缩短了充氮气所需的时间，提升了激光退火的效率。
[0027]如图1所示，装置主体110包括相对设置的两个侧板112，其中一个侧板112上设置有进气口1121，另一个侧板112上设置有排气口，进气口1121用于向上腔体中注入氮气，排气口用于将上腔体中的氮气排出。将进气口1121和排气口分别设置在两个相对的侧板112上有利于整体结构的布置和气管的布置。
[0028]另外，本技术的密闭腔体100还包括匀流腔113，匀流腔113设置在进气口1121与上腔体之间，以及设置在上腔体与排气口之间。进气时，氮气从进气口1121进入，经过进
气侧的匀流腔113后进入上腔体；排气时，上腔体中的氮气经过排气侧的匀流腔113后从排气口排出。设置匀流腔113使得氮气可以较均匀平缓的流入和流出上腔体，使上腔体内的氮气浓度较均匀，也可以降低氮气的使用量，同时还可以缩短充氮气所需的时间。
[0029]于一实施例中，匀流腔113为多个，多个匀流腔113沿着氮气流的流动方向依次设置。设置多个匀流腔113使氮气依次流过各个匀流腔113可提升匀流效果。
[0030]相邻的匀流腔113之间通过隔离板隔开，隔离板上设置有气孔1123，每块隔离板上的气孔1123的数量不一致，在由外到内的方向上，隔离板上的气孔1123的数量逐渐增加。具体的，参考图3，于一实施例中，匀流腔113为三个，分别为由外到内依次设置的第一匀流腔1131、第二匀流腔1132及第三匀流腔1133。如图3所示，这里所说的由外到内是以进气侧为例，沿着氮气的流动方向由远离上腔体的方向到靠近上腔体的方向。排气侧的匀流腔113和隔离板结构与进气本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种带隔板的密闭腔体，其特征在于，包括：装置主体(110)，所述装置主体(110)内设置有腔体(111)，所述腔体(111)用于填充氮气，以进行激光退火；所述装置主体(110)包括相对设置的两个侧板(112)，其中一个所述侧板(112)上设置有进气口(1121)，另一个所述侧板(112)上设置有排气口；隔板(1111)，设于所述腔体(111)中，所述隔板(1111)将所述腔体(111)分成上下两个腔体，所述进气口(1121)用于向上腔体中注入氮气，所述排气口用于将所述上腔体中的氮气排出。2.根据权利要求1所述的带隔板的密闭腔体，其特征在于，还包括：匀流腔(113)，设于所述进气口(1121)与所述上腔体之间，以及设于所述上腔体与所述排气口之间；所述匀流腔(113)为多个，多个所述匀流腔(113)沿着氮气流的流动方向依次设置。3.根据权利要求2所述的带隔板的密闭腔体，其特征在于，相邻的所述匀流腔(113)之间通过隔离板隔开，每一所述隔离板上均设置有气孔(1123)，且每一所述隔离板上的所述气孔(1123)的数量不一致，由外到内的方向上，所述隔离板上的所述气孔(1123)的数量逐渐增加。4.根据权利要求3所述的带隔板的密闭腔体，其特征在于，所述匀流腔(113)为三个，分别为由外到内依次设置的第一匀流腔(1131)、第二匀流腔(1132)及第三匀流腔(1133)。5.根据权利要求4所述的带隔板的密闭腔体，其特征在于，所述第一匀流腔(1131)与所述第二匀流腔(1132)之间设置第一隔离板(114)，所述第二匀流腔(1132)与所述第三...

【专利技术属性】
技术研发人员：王飞，罗兵，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：