一种双波长激光退火装置及方法制造方法及图纸

技术编号:30787555 阅读:11 留言:0更新日期:2021-11-16 07:49
本发明专利技术公开了一种双波长激光退火装置及方法,涉及退火技术领域。包括控制箱,所述控制箱的一侧设置有防护支架。通过设置电动液压杆,使其有效推动连接套座沿齿槽的延伸方向进行滑动,以便带动操作基座进行前后运动,并通过齿槽和齿辊的啮合连接,使其推动时连接套座产生顿挫感,以便为激光退火预留照射时间,同时通过液压推动杆的作用,有效推动操作基座沿驱动导轨的延伸方向进行滑动,进而调节操作基座的左右移动,进而有效便捷装置的移动调节操作,并通过对操作基座的移动作用,增大装置激光退火的覆盖范围,进而通过齿槽与齿辊的作用,保障了激光退火的照射时长,有效提升了装置使用的退火均匀性,增强其使用效果。增强其使用效果。增强其使用效果。

【技术实现步骤摘要】
一种双波长激光退火装置及方法


[0001]本专利技术涉及退火
,具体为一种双波长激光退火装置及方法。

技术介绍

[0002]退火是一种金属热处理工艺,指的是将金属缓慢加热到一定温度,保持足够时间,然后以适宜速度冷却,目的是降低硬度,改善切削加工性;降低残余应力,稳定尺寸,减少变形与裂纹倾向;细化晶粒,调整组织,消除组织缺陷,准确的说,退火是一种对材料的热处理工艺,包括金属材料、非金属材料,而且新材料的退火目的也与传统金属退火存在异同。
[0003]激光退火主要是利用高能量密度的激光束辐照退火材料表面,从而引起被照区域的温度突然升高,达到退火效果;激光束的能量密度、材料的吸收系数、热传导系数、反射系数和注入层的厚度都会影响激光退火的效果。激光退火的退火区域受热时间非常短,因而损伤区中杂质几乎不扩散,衬底材料中的少数载流子寿命及其它电学参数基本不受影响,退火效果好。
[0004]目前现有的激光退火装置使用中,多通过对激光照射位置的调节进行激光退火的覆盖,易造成激光照射的不稳定,影响其退火质量,且现有装置使用基座的调节幅度较小,且多是单向调节,导致激光退火的覆盖范围较小,易使金属的退火效果较为不均匀,影响其后续使用,同时现有装置多是将金属平面放置在基座上,导致其后续退火使用时,稳定性较差,易使金属偏离放置位置,造成其退火效果较差,且现有装置在使用中,其基座和退火操作多为裸露设置,其操作空间较大,但易使激光对使用人员造成安全损伤,防护性较差,为此,提出一种双波长激光退火装置及方法来解决上述问题。
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技术实现思路

[0005]本专利技术提供了一种双波长激光退火装置及方法,具备均匀性好、稳定性强、防护性好及便捷调节的优点,以解决一般激光退火装置不具备均匀性好、稳定性强、防护性好及便捷调节的问题。
[0006]为实现具备均匀性好、稳定性强、防护性好及便捷调节的目的,本专利技术提供如下技术方案:一种双波长激光退火装置,包括控制箱,所述控制箱的一侧设置有防护支架,所述防护支架的内底部设置有安装底座,所述安装底座的顶部设置有连接机构,所述连接机构的内底部设置有操作基座,所述连接机构的顶部设置有支撑架体,所述支撑架体的顶部设置有激光照射机构,所述连接机构的一侧设置有连接固定座;所述激光照射机构的内部两侧分别设置有红外激光器和绿光激光器,所述红外激光器的输出口设置有半反射镜,所述绿光激光器的输出口设置有反光折射机构,所述反光折射机构的输出口设置有调节镜;所述连接机构的底部设置有连接机座,所述连接机座的两侧均开设有齿槽,所述齿槽的内壁设置有齿辊,所述齿辊的内部设置有连接杆,所述连接杆一端外壁设置有连接轴承,所述连接轴承的外壁设置有连接套座,所述连接套座的正面设置有电动液压杆,所述
连接机座的顶部内壁开设有卡槽;所述操作基座的外壁设置有驱动架,所述驱动架的内侧设置有液压推动杆,所述驱动架顶部内侧活动设置有驱动导轨,所述操作基座的顶部设置有操作台,所述操作台的顶部设置有限位夹块。
[0007]作为本专利技术的一种优选技术方案,所述控制箱的正面顶部设置有显示屏,所述控制箱的底部设置有放置柜,所述放置柜的顶部设置有操控按键,所述操控按键与显示屏电性连接。
[0008]作为本专利技术的一种优选技术方案,所述防护支架的内底部设置有支撑底板,所述支撑底板的顶部设置有连接卡条,所述防护支架通过连接卡条与安装底座活动卡接。
[0009]作为本专利技术的一种优选技术方案,所述安装底座的顶部设置有支撑钢件,所述支撑钢件选材为工字型钢件,所述支撑钢件的顶部贯穿设置有固定螺栓,且支撑钢件通过固定螺栓与连接机构活动连接。
[0010]作为本专利技术的一种优选技术方案,所述支撑钢件的底部外侧设置有固定压件,所述固定压件的一侧设置有弹簧压头,所述固定压件通过弹簧压头与支撑钢件的底部外壁活动贴合连接。
[0011]作为本专利技术的一种优选技术方案,所述支撑架体的顶部设置有准直透镜,所述支撑架体的底部设置有卡块,所述支撑架体通过卡块与连接机构活动卡接。
[0012]作为本专利技术的一种优选技术方案,所述齿辊的形状大小与齿槽的形状大小相互匹配,所述齿辊和齿槽啮合连接。
[0013]作为本专利技术的一种优选技术方案,所述连接杆的一端分别贯穿连接轴承的内部和齿辊的内部,并延伸至连接固定座的一侧,所述连接固定座的一侧开设有与连接杆形状大小相互匹配的连接槽,且连接槽的延伸长度与齿槽的延伸长度相一致,所述连接杆的一端活动插设在连接固定座的连接槽内部。
[0014]上述双波长激光退火装置的方法,包括以下步骤:S1、将装置接通电源,并将所需激光退火的金属放置在操作台上;S2、通过限位夹块有效对放置在操作台上的金属进行限位固定;S3、启动激光照射机构,使其红外激光器和绿光激光器进行运转;S4、调节半反射镜和反光折射机构的折射角度,并调节调节镜的使用角度,使其激光照射点投射在准直透镜上;S5、通过电动液压杆,使其有效推动连接套座沿齿槽的延伸方向进行前后滑动;S6、通过液压推动杆的作用,有效推动操作基座沿驱动导轨的延伸方向进行滑动,以调节操作基座的左右移动;S7、激光退火照射完成后,调节调节调节镜角度,折射激光照射路径;S8、通过外部夹持机构将金属取出。
[0015]与现有技术相比,本专利技术提供了一种双波长激光退火装置及方法,具备以下有益效果:1、该双波长激光退火装置及方法,通过设置电动液压杆,使其有效推动连接套座沿齿槽的延伸方向进行滑动,以便带动操作基座进行前后运动,并通过齿槽和齿辊的啮合连接,使其推动时连接套座产生顿挫感,以便为激光退火预留照射时间,同时通过液压推动
杆的作用,有效推动操作基座沿驱动导轨的延伸方向进行滑动,进而调节操作基座的左右移动,进而有效便捷装置的移动调节操作,并通过对操作基座的移动作用,增大装置激光退火的覆盖范围,进而通过齿槽与齿辊的作用,保障了激光退火的照射时长,有效提升了装置使用的退火均匀性,增强其使用效果。
[0016]2、该双波长激光退火装置及方法,通过设置支撑架体,使其有效对激光照射机构进行支撑固定,并通过准直透镜的设置,保障激光照射机构激光照射的固定性,同时通过限位夹块对放置在操作基座上的金属进行限位固定,避免其操作基座进行移动时出现激光照射偏差,增强其金属放置的稳定性,并通过固定压件上弹簧压头的作用,对装置使用时产生的晃动感进行减缓压覆,进而保障装置使用的稳定性,提升装置的使用效果,增强装置的实用性。
[0017]3、该双波长激光退火装置及方法,通过设置防护支架,使其有效对操作台和激光照射机构的照射路径进行限位防护,限定其操作空间,避免装置使用时人员的进入,造成安全事故的发生,同时连接机座内连接套座的嵌入式设置,有效限定其使用空间,避免电动液压杆的动力过大,造成其移位损伤,并通过连接固定座的作用,有效对操作基座的移动进行限位阻隔,防止移动功率过大,移出装置内部的问题发生,进而有效提高该装置的防护性和使用安全性。
[0018]4、该双波长激光退火装置及方法,通过设置电动液压杆,使其本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双波长激光退火装置及方法,包括控制箱(1),其特征在于:所述控制箱(1)的一侧设置有防护支架(2),所述防护支架(2)的内底部设置有安装底座(4),所述安装底座(4)的顶部设置有连接机构(5),所述连接机构(5)的内底部设置有操作基座(7),所述连接机构(5)的顶部设置有支撑架体(6),所述支撑架体(6)的顶部设置有激光照射机构(3),所述连接机构(5)的一侧设置有连接固定座(8);所述激光照射机构(3)的内部两侧分别设置有红外激光器(301)和绿光激光器(303),所述红外激光器(301)的输出口设置有半反射镜(302),所述绿光激光器(303)的输出口设置有反光折射机构(304),所述反光折射机构(304)的输出口设置有调节镜(305);所述连接机构(5)的底部设置有连接机座(501),所述连接机座(501)的两侧均开设有齿槽(502),所述齿槽(502)的内壁设置有齿辊(508),所述齿辊(508)的内部设置有连接杆(507),所述连接杆(507)一端外壁设置有连接轴承(506),所述连接轴承(506)的外壁设置有连接套座(505),所述连接套座(505)的正面设置有电动液压杆(503),所述连接机座(501)的顶部内壁开设有卡槽(504);所述操作基座(7)的外壁设置有驱动架(701),所述驱动架(701)的内侧设置有液压推动杆(702),所述驱动架(701)顶部内侧活动设置有驱动导轨(703),所述操作基座(7)的顶部设置有操作台(704),所述操作台(704)的顶部设置有限位夹块(705)。2.根据权利要求1所述的一种双波长激光退火装置,其特征在于:所述控制箱(1)的正面顶部设置有显示屏(101),所述控制箱(1)的底部设置有放置柜(102),所述放置柜(102)的顶部设置有操控按键(103),所述操控按键(103)与显示屏(101)电性连接。3.根据权利要求1所述的一种双波长激光退火装置,其特征在于:所述防护支架(2)的内底部设置有支撑底板(201),所述支撑底板(201)的顶部设置有连接卡条(202),所述防护支架(2)通过连接卡条(202)与安装底座(4)活动卡接。4.根据权利要求1所述的一种双波长激光退火装置,其特征在于:所述安装底座(4)的顶部设置有支撑钢件(401),所述支撑钢件(401)选材为工字型钢件,所述支撑钢件(4...

【专利技术属性】
技术研发人员:吴尚张翔熊宝星袁孝
申请(专利权)人:南京科天光电工程研究院有限公司
类型:发明
国别省市:

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