一种用于脉冲激光刻蚀的三轴联动机构制造技术

本实用新型专利技术涉及激光刻蚀领域，公开了一种用于脉冲激光刻蚀的三轴联动机构，包括第一固定板和第二固定板，所述第一固定板固定连接在第二固定板上，所述第一固定板上安装有第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出轴上固定连接有第一丝杆，所述第一丝杆上螺纹连接有第一移动板，所述第一移动板上安装有第二伺服电机，所述第一移动板上滑动连接有第一限位杆，所述第二伺服电机的输出轴上固定连接有第二丝杆，所述第二丝杆上螺纹连接有第二移动板，所述第二移动板上滑动连接有第二限位杆。本实用新型专利技术结构简单，能够快速完成空间X、Y和Z轴三个方向的运动，同时本装置中伺服电机的散热效果好，能够防止灰尘进入到伺服电机内。能够防止灰尘进入到伺服电机内。能够防止灰尘进入到伺服电机内。

【技术实现步骤摘要】
一种用于脉冲激光刻蚀的三轴联动机构


[0001]本技术涉及激光刻蚀领域，特别涉及一种用于脉冲激光刻蚀的三轴联动机构。

技术介绍

[0002]刻蚀是半导体制造工艺，微电子IC制造工艺以及微纳制造工艺中的一种相当重要的步骤。所谓刻蚀，实际上狭义理解就是光刻腐蚀，先通过光刻将光刻胶进行光刻曝光处理，然后通过其它方式实现腐蚀处理掉所需除去的部分。刻蚀是用化学或物理方法有选择地从硅片表面去除不需要的材料的过程，其基本目标是在涂胶的硅片上正确地复制掩模图形。
[0003]激光刻蚀采用高能脉冲激光束在零件表面刻蚀出宽度为10
‑
505um、深度为5
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1001um的微细小槽，以改善材料表面润滑特性的技术，激光刻蚀为了使各个方向均能够进行刻蚀，需要使用三轴联动机构，现有的三轴联动机构结构复杂，完成空间X、Y和Z轴三个方向的运动较为繁琐，此外，三轴联动装置中的电机散热效果较差，容易进入灰尘，为此，我们提出一种用于脉冲激光刻蚀的三轴联动机构。

技术实现思路

[0004]本技术的主要目的在于提供一种用于脉冲激光刻蚀的三轴联动机构，可以有效解决上述
技术介绍
中提出的现有三轴联动机构较为复杂，完成空间X、Y和Z轴三个方向的运动较为繁琐的问题，同时本装置解决了现有三轴联动机构中电机容易发热和进入灰尘的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：
[0006]一种用于脉冲激光刻蚀的三轴联动机构，包括第一固定板和第二固定板，所述第一固定板固定连接在第二固定板上，所述第一固定板上安装有第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出轴上固定连接有第一丝杆，所述第一丝杆上螺纹连接有第一移动板，所述第一移动板上安装有第二伺服电机，所述第一移动板上滑动连接有第一限位杆，所述第二伺服电机的输出轴上固定连接有第二丝杆，所述第二丝杆上螺纹连接有第二移动板，所述第二移动板上滑动连接有第二限位杆，所述第二固定板上安装有第三伺服电机，所述第三伺服电机的输出轴上固定连接有第三丝杆，所述第三丝杆上螺纹连接有第三移动板，所述第三移动板上滑动连接有第三限位杆，所述第一伺服电机、第二伺服电机和第三伺服电机的两侧均固定连接有挡板，所述第一伺服电机、第二伺服电机和第三伺服电机上远离输出轴一侧的挡板上设置有挡尘装置。
[0007]优选的，所述第一固定板上固定连接有多个第一连接板，所述第一移动板上固定连接有多个第二连接板，所述第二固定板上固定连接有多个第三连接板，所述第一丝杆远离第一伺服电机的一端通过轴承与第一连接板转动连接，所述第二丝杆远离第二伺服电机的一端通过轴承与第二连接板转动连接，所述第三丝杆远离第三伺服电机的一端通过轴承
与第三连接板转动连接。
[0008]优选的，所述第一限位杆的两端与第一连接板固定连接，所述第二限位杆的两端与第二连接板固定连接，所述第三限位杆的两端与第三连接板固定连接。
[0009]优选的，所述第一伺服电机、第二伺服电机和第三伺服电机上远离输出轴一侧的挡板内侧均固定连接有安装架，所述安装架上固定安装有风机，所述第一伺服电机、第二伺服电机和第三伺服电机靠近安装架的侧面均开设有散热孔。
[0010]优选的，所述第一伺服电机、第二伺服电机和第三伺服电机上远离输出轴一侧的挡板上均开设有空腔，所述挡尘装置设置在空腔内，所述挡尘装置包括框架，所述框架的内侧固定连接有挡尘网。
[0011]优选的，所述挡板的空腔内壁上开设有滑轨，所述滑轨的一端开设有插孔，所述框架的两侧均开设有凹槽，所述凹槽的底部固定连接有套管，所述套管内滑动连接有插杆，所述插杆的底部与套管的底部之间通过弹簧固定连接，所述插杆与插孔相互配合设置，所述插杆的外侧固定连接有拉杆，所述框架上开设有通槽，所述拉杆活动设置在通槽内，所述通槽与凹槽相互连通
[0012]与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：
[0013]1.本技术通过第一伺服电机、第二伺服电机和第三伺服电机的工作能够使第一移动板、第二移动板和第三移动板分别沿着第一丝杆、第二丝杆和第三丝杆移动，刻蚀的过程中，第三移动板带动工件在第二固定板上前后移动，第二移动板上能安装刻蚀设备，配合上第一移动板实现整个刻蚀设备在第一固定板整个平面上移动，实现三轴联动，结构简单，能够快速实现空间各个位置的运动，同时伺服电机成本较低，易于维修，通过第一限位杆、第二限位杆和第三限位杆的设置，使第一移动板、第二移动板和第三移动板的移动更加顺畅稳定。
[0014]2.本技术通过风机对第一伺服电机、第二伺服电机和第三伺服电机内进行散热，散热孔提高散热效率。
[0015]3.本技术通过挡尘网防止尘埃进入第一伺服电机、第二伺服电机和第三伺服电机内，通过拉杆带动插杆运动，如果需要将框架拆下，先通过拉杆带动插杆从插孔内拔出，即可将框架沿着滑轨拉出，方便了框架的拆卸，方便对框架内的挡尘网清理，安装的时候，将插杆对着滑轨插入，当插杆运动到插孔的位置之后，在弹簧的弹力作用下，插杆自动插入到插孔内，完成框架的固定。
附图说明
[0016]图1为本技术的整体结构示意图。
[0017]图2为本技术中第一伺服电机的结构示意图。
[0018]图3为本技术中第一伺服电机的剖视图。
[0019]图4为本技术中挡板的结构示意图。
[0020]图5为本技术中框架的结构示意图。
[0021]图6为本技术中框架的局部剖视图。
[0022]图中：1、第一固定板；2、第二固定板；3、第一限位杆；4、第一连接板；5、第一伺服电机；6、第一丝杆；7、第二连接板；8、第二丝杆；9、第二伺服电机；10、第二移动板；11、第二限
位杆；12、第三伺服电机；13、第三移动板；14、第三限位杆；15、第三丝杆；16、第三连接板；17、第一移动板；18、弹簧；19、挡板；20、挡尘网；21、框架；22、滑轨；23、插孔；24、插杆；25、通槽；26、拉杆；27、风机；28、散热孔；29、安装架；30、套管。
具体实施方式
[0023]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。
[0024]如图1
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图6所示，一种用于脉冲激光刻蚀的三轴联动机构，包括第一固定板1和第二固定板2，第一固定板1固定连接在第二固定板2上，第一固定板1上安装有第一伺服电机5，第一伺服电机5的输出轴上固定连接有第一丝杆6，第一丝杆6上螺纹连接有第一移动板17，第一移动板17上安装有第二伺服电机9，第一移动板17上固定连接有多个第二连接板7，第二伺服电机9的输出轴上固定连接有第二丝杆8，第二丝杆8上螺纹连接有第二移动板10，第二移动板10上滑动连接有第二限位杆11，第二固定板2上安装有第三伺服电机12，第三伺服电机12的输出轴上固定连接有第三丝杆15，第三丝杆15上螺纹连接有第三移动板13，第三移动板13上本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于脉冲激光刻蚀的三轴联动机构，其特征在于：包括第一固定板（1）和第二固定板（2），所述第一固定板（1）固定连接在第二固定板（2）上，所述第一固定板（1）上安装有第一伺服电机（5），所述第一伺服电机（5）的输出轴上固定连接有第一丝杆（6），所述第一丝杆（6）上螺纹连接有第一移动板（17），所述第一移动板（17）上安装有第二伺服电机（9），所述第一移动板（17）上滑动连接有第一限位杆（3），所述第二伺服电机（9）的输出轴上固定连接有第二丝杆（8），所述第二丝杆（8）上螺纹连接有第二移动板（10），所述第二移动板（10）上滑动连接有第二限位杆（11），所述第二固定板（2）上安装有第三伺服电机（12），所述第三伺服电机（12）的输出轴上固定连接有第三丝杆（15），所述第三丝杆（15）上螺纹连接有第三移动板（13），所述第三移动板（13）上滑动连接有第三限位杆（14），所述第一伺服电机（5）、第二伺服电机（9）和第三伺服电机（12）的两侧均固定连接有挡板（19），所述第一伺服电机（5）、第二伺服电机（9）和第三伺服电机（12）上远离输出轴一侧的挡板（19）上设置有挡尘装置。2.根据权利要求1所述的一种用于脉冲激光刻蚀的三轴联动机构，其特征在于：所述第一固定板（1）上固定连接有多个第一连接板（4），所述第一移动板（17）上固定连接有多个第二连接板（7），所述第二固定板（2）上固定连接有多个第三连接板（16），所述第一丝杆（6）远离第一伺服电机（5）的一端通过轴承与第一连接板（4）转动连接，所述第二丝杆（8）远离第二伺服电机（9）的一端通过轴承与第二连接板（7）转动连接，所述第三丝杆（15）远离第三伺服电机（12）的一端通过轴承与第三连接板（...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴尚，张翔，熊宝星，袁孝，
申请(专利权)人：南京科天光电工程研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：