多位置微机电开关制造技术

一种微机电开关，含有在基底上形成的导向柱。在基底上形成信号传输线，信号传输线存在间隙，并形成开路。该开关还包括含有在其中形成的通孔的开关体，该开关体沿着由所述导向柱限定的长度方向可移动地布置。该导向柱由该通孔部分地环绕着。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及微机电(MEM)开关，尤其涉及多位置MEM开关。
技术介绍
近年来，集成电路技术方面的进步导致了微机电系统(MEMS)的发展，其标志在于，可以利用机械的、静电的、电磁的、射流的、和热的方法致动和控制的微米级器件。MEMS制造技术是更加完善的半导体微制造技术与微型机械制造方面的更新发展的有机结合。MEM器件的一个实例是把一端固定在诸如硅之类的基底材料上的悬臂梁式开关。梁的自由端用作偏转电极，当将电压源施加到上面时，由于梁和静电场极板上的静电力的作用，偏转电极发生偏转，从而与固定电极相接触。当撤消电压源时，由于梁本身恢复力的作用，梁回到它原来的“刚性”状态，并且，开关的触点分开。尽管近年来MEM技术已经取得了长足进步，但是，这种技术不是没有缺点的。例如，MEMS器件制造者面临的隐患最严重的问题之一是静摩擦，它发生在微型机械制造的部分(譬如，悬臂梁)的表面与结构的相邻表面熔合或粘接在一起的时候。静摩擦常常由制造过程中，诸如表面粗糙不平、潮湿、施加的电压和表面张力之类的因素引起。发生在器件中的静摩擦问题越多，对器件生产的总体影响就越大。另外，部件本身的物理形状也可能影响它对本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微机电开关，包括： 在基底上形成的导向柱； 在基底上形成的信号传输线，所述信号传输线存在间隙，并形成开路； 含有在其中形成的通孔的开关体，所述开关体沿着由所述导向柱限定的长度方向可移动地布置，所述导向柱由所述通孔部分地环绕着；和 在所述基底上形成的静电场极板，所述静电场极板与所述开关体分开、可静电相吸地排列。

【技术特征摘要】
US 2000-11-30 09/727,1651.一种微机电开关，包括在基底上形成的导向柱；在基底上形成的信号传输线，所述信号传输线存在间隙，并形成开路；含有在其中形成的通孔的开关体，所述开关体沿着由所述导向柱限定的长度方向可移动地布置，所述导向柱由所述通孔部分地环绕着；和在所述基底上形成的静电场极板，所述静电场极板与所述开关体分开、可静电相吸地排列。2.根据权利要求1所述的微机电开关，其特征在于，所述静电场极板与所述开关体之间的静电吸引力使所述开关体闭合所述信号传输线中的所述间隙。3.根据权利要求1所述的微机电开关，其特征在于，所述基底包括SiO2基底。4.根据权利要求1所述的微机电开关，其特征在于，还包括在所述基底上形成的数个导向柱，和所述开关体含有在其中形成的数个相应通孔，所述开关体沿着所述导向柱可移动地布置。5.根据权利要求1所述的微机电开关，其特征在于，所述开关体包括电镀铜。6.根据权利要求5所述的微机电开关，其特征在于，所述开关体还包括磷化钴钨(CoWP)绝缘罩件。7.一种多位置微机电开关，包括在基底上形成的数个导向柱；在所述基底的下层上形成的第一信号传输线，所述第一信号传输线存在第一间隙，形成与之相关联的开路；在所述基底的上层上形成的第二信号传输线，所述第二信号传输线存在第二间隙，形成与之相关联的开路；和含有在其中形成的数个通孔的开关体，所述开关体沿着通过所述通孔的所述导向柱可移动地布置。8.根据权利要求7所述的微机电...

【专利技术属性】
技术研发人员：凯文皮特拉卡，罗伯特A格罗夫斯，布赖恩赫布斯特，克里斯托弗扬尼斯，理查德沃兰特，
申请(专利权)人：国际商业机器公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]