提升金属与AlN陶瓷结合力的前处理方式及处理后制品制造技术

本发明专利技术公开了一种提升金属与AlN陶瓷结合力的前处理方式及处理后制品，其包括以下步骤：对AlN陶瓷基板进行油污清洗和干燥处理；在氧气气氛对AlN陶瓷基板进行高频等离子清洗获得氧化铝中间层。通过氧化铝中间层来改善金属与陶瓷湿润性，提高附着力，增大了AlN陶瓷与金属的结合力，改善了AlN陶瓷上沉积金属层的质量，金属层均匀且不易脱落，有效确保了陶瓷线路板元器件的正常工作，更能发挥出AlN陶瓷高散热性能在大功率器件中的优势；而且整个处理方式流程简单、方便，只需进行油污清洗、烤干和高频等离子清洗，省去传统高温处理和减少了有机溶剂和强碱性溶剂的使用，经济环保，成本低，可适用于多种陶瓷金属线路的应用开发。可适用于多种陶瓷金属线路的应用开发。可适用于多种陶瓷金属线路的应用开发。

【技术实现步骤摘要】
提升金属与AlN陶瓷结合力的前处理方式及处理后制品


[0001]本专利技术涉及陶瓷材料
，特别涉及一种提升金属与AlN陶瓷结合力的前处理方式及采用该项处理方式处理后的金属覆着陶瓷基板制品。

技术介绍

[0002]AlN陶瓷作为新兴的导热材料，兼有热膨胀系数小、强度高、绝缘性能好及散热能力优异等优点，是功率型电子元器件理想的封装散热材料。对其应用的开发，必须对陶瓷表面进行金属化处理。但金属在陶瓷表面润湿性差，直接金属化的膜层结合力较差，因此对陶瓷表面进行前处理尤为关键。
[0003]目前对陶瓷表面进行前处理的技术方案主要有三种：(1)通过预制中间层氧化铝或者氧化铜后与金属进行共晶钎焊实现金属化，其工艺窗口窄，实施难度大，难以进行高精密线路产品的运用。(2)通过碱性溶剂或有机界面偶联剂对陶瓷表面进行改性处理后，再通过真空溅射或蒸发的方式实施金属化。但碱性溶剂处理AlN陶瓷后，表面粗糙，会增加后续研磨抛光处理成本；有机溶剂的使用，不利于环保。(3)通过高真空和加热的方式，除去水汽，再结合真空溅射和烧结形成金属化。其前处理方案只是进行除水本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种提升金属与AlN陶瓷结合力的前处理方式，其特征在于，其包括以下步骤：(1)对AlN陶瓷基板进行油污清洗后，进行干燥处理；(2)在氧气气氛下，对AlN陶瓷基板采用高频等离子清洗，部分能量较高的氧等离子体轰击AlN陶瓷基板表面的氮原子并将之替换，以在AlN陶瓷基板的表面上形成氧化铝中间层。2.根据权利要求1所述的提升金属与AlN陶瓷结合力的前处理方式，其特征在于：所述步骤(1)采用除油剂对AlN陶瓷基板进行油污清洗。3.根据权利要求1所述的提升金属与AlN陶瓷结合力的前处理方式，其特征在于：所述步骤(1)采用超声清洗工艺进行清洗。4.根据权利要求1所述的提升金属与AlN陶瓷结合力的前处理方式，其特征在于：所述步骤(1)采用鼓风烤箱对AlN陶瓷基板进行干燥处理。5.根据权利要求1所述的提升金属与AlN陶瓷结合力的前处理方式，其特征在于：所述高频等离子的频率大于或等于100MHz。6.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：王新强，王维昀，王后锦，罗巍，李永德，康俊杰，袁冶，唐波，
申请(专利权)人：松山湖材料实验室，
类型：发明
国别省市：