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本发明公开了一种提升金属与AlN陶瓷结合力的前处理方式及处理后制品，其包括以下步骤：对AlN陶瓷基板进行油污清洗和干燥处理；在氧气气氛对AlN陶瓷基板进行高频等离子清洗获得氧化铝中间层。通过氧化铝中间层来改善金属与陶瓷湿润性，提高附着力，增...
该专利属于松山湖材料实验室所有，仅供学习研究参考，未经过松山湖材料实验室授权不得商用。

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