炉盖组件及具有其的碳化硅晶体生长炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种炉盖组件及具有其的碳化硅晶体生长炉。炉盖组件包括：盖板，盖板形成有液槽，液槽的底壁上设置有支撑件；护套，护套支撑于支撑件上并盖住液槽，以使护套与盖板之间形成液体流道，支撑件将液体流道分成第一流道以及第二流道，且支撑件设有连通第一流道与第二流道的通口，护套设有与第二流道连通的进液口、以及与第一流道连通的避让孔；以及排液筒，排液筒设置于液槽的底壁上并穿设于避让孔，且排液筒的外壁与避让孔的孔壁密封配合，排液筒设有与第一流道连通的第一排液口以及与第一排液口连通的第二排液口，第二排液口位于液体流道的外部。上述的炉盖组件可以避免因受持续的高温而损坏或缩短使用寿命。因受持续的高温而损坏或缩短使用寿命。因受持续的高温而损坏或缩短使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
炉盖组件及具有其的碳化硅晶体生长炉


[0001]本技术涉及碳化硅晶体生长
，尤其是涉及一种炉盖组件及具有其的碳化硅晶体生长炉。

技术介绍

[0002]在进行碳化硅晶体生长实验时，需要将碳化硅原料放在晶体生长炉内，并通过加热装置对碳化硅原料进行加热。而为了得到相应的晶体，加热装置所需提供的温度在2000℃以上，因此，晶体生长炉的炉盖组件的温度也会持续受到加热装置的影响，容易损坏或者缩短使用寿命。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种炉盖组件，用以解决传统的晶体生长炉的炉盖组件容易损坏或使用寿命短的问题。
[0004]本技术还提出一种具有上述炉盖组件的碳化硅晶体生长炉。
[0005]根据本技术第一方面实施例的一种炉盖组件，所述炉盖组件包括：盖板，所述盖板形成有液槽，所述液槽的底壁上设置有支撑件；护套，所述护套支撑于所述支撑件上并盖住所述液槽，以使所述护套与所述盖板之间形成液体流道，所述支撑件将所述液体流道分成第一流道以及第二流道，且所述支撑件设有连通所述第一流道与所述第二流道的通口，所述护套设有与所述第二流道连通的进液口、以及与所述第一流道连通的避让孔；以及排液筒，所述排液筒设置于所述液槽的底壁上并穿设于所述避让孔，且所述排液筒的外壁与所述避让孔的孔壁密封配合，所述排液筒设有与所述第一流道连通的第一排液口以及与所述第一排液口连通的第二排液口，所述第二排液口位于所述液体流道的外部。
[0006]根据本技术实施例的炉盖组件，至少具有如下技术效果：
[0007]上述的炉盖组件应用在碳化硅晶体生长炉后，在进行晶体生长实验期间，可以通过进液口往液体流道内源源不断地提供冷却液。冷却液进入液体流道后，先流经第二流道，然后通过支撑件上的通口流向第一流道，之后通过第一排液口流进排液筒内，再从第二排液口流出。如此，冷却液能够对炉盖组件进行冷却，避免炉盖组件因受持续的高温而损坏或缩短使用寿命。并且，由于可以通过进液口持续向液体流道通入冷却液，液体流道内的冷却液可以保持流通状态，并在吸收一定热量后通过排液筒排出，制冷效果好。另外，上述的支撑件能够将液体流道分成第一流道与第二流道，增长了冷却液的流动路径，冷却液可以更好地吸收炉盖组件上的热量，对炉盖组件进行冷却。
[0008]根据本技术的一些实施例，所述支撑件为环状结构。
[0009]根据本技术的一些实施例，所述第二流道包围在所述第一流道的外部，所述炉盖组件还包括分流件，所述分流件位于所述支撑件的内侧，所述分流件用于使所述第一流道形成第一环形流道。
[0010]根据本技术的一些实施例，所述通口与所述第一排液口分别位于所述第一环
形流道的轴心的两侧。
[0011]根据本技术的一些实施例，所述第二流道为第二环形流道，所述第二环形流道具有相对的第一区域以及第二区域，所述第一区域与所述通口直接连通，所述第二区域与所述进液口直接连通。
[0012]根据本技术的一些实施例，所述的炉盖组件还包括第一观察窗，所述护套设有第一装配孔，所述盖板设有与所述第一装配孔对应的第二装配孔，所述第一观察窗穿设于所述第一装配孔以及所述第二装配孔。
[0013]根据本技术的一些实施例，所述的炉盖组件还包括测温仪，所述测温仪设置于所述护套远离所述液体流道的一侧，所述测温仪具有温度探头，所述温度探头与所述第一观察窗相对设置。
[0014]根据本技术的一些实施例，所述的炉盖组件还包括第一挡板单元，所述第一挡板单元包括第一挡板，所述第一挡板位于所述盖板远离所述液体流道的一侧，所述第一挡板遮挡所述第一观察窗，且所述第一挡板与所述第一观察窗之间具有传热间隙。
[0015]根据本技术的一些实施例，所述的炉盖组件还包括第二观察窗，所述护套设有第三装配孔，所述盖板设有与所述第三装配孔对应的第四装配孔，所述第二观察窗穿设于所述第三装配孔以及所述第四装配孔；所述炉盖组件还包括第二挡板单元，所述第二挡板单元包括第二挡板，所述第二挡板可活动地设置于所述盖板远离所述液体流道的一侧，所述第二挡板可操作地遮挡或避开所述第二观察窗。
[0016]根据本技术第二方面实施例的碳化硅晶体生长炉，包括如上所述的炉盖组件。
[0017]根据本技术实施例的碳化硅晶体生长炉，至少具有如下技术效果：
[0018]上述的碳化硅晶体生长炉在应用了上述的炉盖组件后，在进行晶体生长实验期间，可以通过进液口往液体流道内源源不断地提供冷却液。冷却液进入液体流道后，先流经第二流道，然后通过支撑件上的通口流向第一流道，之后通过第一排液口流进排液筒内，再从第二排液口流出。如此，冷却液能够对炉盖组件进行冷却，避免炉盖组件因受持续的高温而损坏或缩短使用寿命。并且，由于可以通过进液口持续向液体流道通入冷却液，液体流道内的冷却液可以保持流通状态，并在吸收一定热量后通过排液筒排出，制冷效果好。另外，上述的支撑件能够将液体流道分成第一流道与第二流道，增长了冷却液的流动路径，冷却液可以更好地吸收炉盖组件上的热量，对炉盖组件进行冷却。
附图说明
[0019]本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0020]图1是本技术一实施例的碳化硅晶体生长炉的结构示意图；
[0021]图2是本技术一实施例的炉盖组件的结构示意图一；
[0022]图3是本技术一实施例的炉盖组件的结构示意图二；
[0023]图4是本技术一实施例的炉盖组件的局部结构示意图；
[0024]图5是本技术一实施例的护套的结构示意图；
[0025]图6是本技术一实施例的测温仪、第一挡板单元以及第一观察窗的位置关系
的结构示意图；
[0026]图7是本技术一实施例的测温仪、第一挡板单元的局部结构以及第一观察窗的位置关系的结构示意图；
[0027]图8是本技术一实施例的第二挡板单元以及第二观察窗的位置关系的结构示意图。
[0028]附图标记：
[0029]100、炉盖组件；110、盖板；111、液槽；112、第一流道；113、第二流道；114、支撑件；1141、通口；120、护套；121、进液口；122、第一避让孔；123、第二避让孔；124、第一装配孔；125、第一安装孔；126、第三装配孔；127、第三安装孔；130、排液筒；131、第一排液口；132、第二排液口；140、水嘴；150、测温仪；151、温度探头；161、第一观察窗；1611、观察窗座；1612、螺帽；162、第二观察窗；171、第一挡板单元；1711、第一挡板；1712、第一转轴；1713、第一轴承座；172、第二挡板单元；1721、第二挡板；1722、第二转轴；1723、第二轴承座；1724、手柄；180、分流件；200、炉身。
具体实施方式
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种炉盖组件，其特征在于，所述炉盖组件包括：盖板，所述盖板形成有液槽，所述液槽的底壁上设置有支撑件；护套，所述护套支撑于所述支撑件上并盖住所述液槽，以使所述护套与所述盖板之间形成液体流道，所述支撑件将所述液体流道分成第一流道以及第二流道，且所述支撑件设有连通所述第一流道与所述第二流道的通口，所述护套设有与所述第二流道连通的进液口、以及与所述第一流道连通的避让孔；以及排液筒，所述排液筒设置于所述液槽的底壁上并穿设于所述避让孔，且所述排液筒的外壁与所述避让孔的孔壁密封配合，所述排液筒设有与所述第一流道连通的第一排液口以及与所述第一排液口连通的第二排液口，所述第二排液口位于所述液体流道的外部。2.根据权利要求1所述的炉盖组件，其特征在于，所述支撑件为环状结构。3.根据权利要求2所述的炉盖组件，其特征在于，所述第二流道包围在所述第一流道的外部，所述炉盖组件还包括分流件，所述分流件位于所述支撑件的内侧，所述分流件用于使所述第一流道形成第一环形流道。4.根据权利要求3所述的炉盖组件，其特征在于，所述通口与所述第一排液口分别位于所述第一环形流道的轴心的两侧。5.根据权利要求1至4任一项所述的炉盖组件，其特征在于，所述第二流道为第二环形流道，所述第二环形流道具有相对的第一区域以及第二区域，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚泰，宋波，于永澔，张宇民，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：新型
国别省市：