坩埚回转机构制造技术

一种坩埚回转机构，能用以驱动长晶炉的坩埚回转，包括一马达、一中空轴减速机及一中空转轴。中空轴减速机连接于马达，中空转轴穿设连接于中空轴减速机，且坩埚支撑座连接于中空转轴的一端。马达能驱动中空轴减速机，用以带动中空转轴及坩埚支撑座回转。由此，能使温度感应均匀，且不会有皮带或链条张力的问题。且不会有皮带或链条张力的问题。且不会有皮带或链条张力的问题。

【技术实现步骤摘要】
坩埚回转机构


[0001]本技术涉及一种坩埚回转机构，尤指一种应用于长晶炉，能用以驱动坩埚回转的机构。

技术介绍

[0002]近年来第三代半导体SiC及GaN，一直受到业界及大众媒体的瞩目，其最大的应用在于功率半导体组件，近年来由于节能减碳的要求，各项新兴节能产业如电动车、太阳能发电、直流电网、充电桩等，都需要高转换效率的功率半导体。物理气相传输法(physical vapor transport，PVT)又称为升华法(sublimation)为普遍使用的长晶技术，可将碳化硅多晶料放置于石墨坩埚的底部，而碳化硅籽晶黏着于石墨内壁的上端，石墨坩埚放置于由石英管所构成的真空室中，生长室可控制适当的真空度及温度，对生长温度和压力进行精确控制，保障碳化硅单晶生长的稳定性和重复性。上述的坩埚设置有回转机构，使坩埚可以适当的回转，以便均匀的感应加热。现有的坩埚回转机构是以齿型皮带或链条构成，齿型皮带或链条会有张力的问题，组装时、使用后皆需调整皮带或链条张力，且传动轴容易受齿型皮带或链条的侧拉力影响，运转较不稳定、不安全。
技术内容
[000本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种坩埚回转机构，其特征在于，应用于长晶炉的坩埚的驱动回转，所述坩埚能置于一坩埚支撑座上，所述坩埚回转机构包括：一马达；一中空轴减速机，所述中空轴减速机具有一机体，所述机体上设置一轴孔，所述轴孔贯穿所述机体的两端，所述中空轴减速机连接于所述马达，所述马达输出的动力能通过所述中空轴减速机减速；以及一中空转轴，所述中空转轴为一中空轴体，所述中空转轴的内部具有一穿孔，所述穿孔贯穿所述中空转轴的两端，所述中空转轴靠近一端处穿设于所述中空轴减速机的轴孔，使所述中空转轴连接于所述中空轴减速机，所述中空转轴直立设置，所述坩埚支撑座连接于所述中空转轴的另一端，所述马达能通过所述中空轴减速机带动所述中空转轴及所述坩埚支撑座回转。2.根据权利要求1所述的坩埚回转机构，其特征在于，所述中空轴减速机为一免键式中空轴直结减速机。3.根据权利要求1所述的坩埚回转机构，其特征在于，所述马达设置于所述中空轴减速机的机体的底侧，所述马达直立设置。4.根据权利要求1所述的坩埚回转机构，其特征在于，所述中空轴减速机具有一主动连接板，所述中空转轴的一端设置一从动连接板，所述从动连接板以多个第...

【专利技术属性】
技术研发人员：张世镇，
申请(专利权)人：广运机械工程股份有限公司，
类型：新型
国别省市：