自动开盖炉及具有其的碳化硅晶体生长设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种自动开盖炉及具有其的碳化硅晶体生长设备，自动开盖炉包括：炉本体，炉本体包括炉身以及设置于炉身上的炉盖组件，炉盖组件与炉身可拆卸连接；以及开盖机构，开盖机构包括驱动源、与驱动源驱动连接的传动组件以及与传动组件传动连接的开盖臂组件，开盖臂组件与炉盖组件连接，驱动源用于驱动传动组件运动，以使开盖臂组件带动炉盖组件靠近或远离炉身；其中，传动组件包括能够受驱动源控制而自转的丝杠、与丝杠螺纹配合的螺母、以及套设于丝杠外并与丝杠相间隔的升降轴，升降轴的一端与螺母固定连接，另一端与开盖臂组件固定连接。上述的自动开盖炉无需人工手动开盖，可以避免因炉内高温而烫伤。可以避免因炉内高温而烫伤。可以避免因炉内高温而烫伤。

【技术实现步骤摘要】
自动开盖炉及具有其的碳化硅晶体生长设备


[0001]本技术涉及碳化硅晶体生长
，尤其是涉及一种自动开盖炉及具有其的碳化硅晶体生长设备。

技术介绍

[0002]在进行碳化硅晶体生长实验时，需要将碳化硅原料放在晶体生长炉内，并通过加热装置对碳化硅原料进行加热。而为了得到相应的晶体，加热装置所需提供的温度在2000℃以上，因此，晶体生长炉的温度也会受加热装置的影响而处于非常高的水平。当实验结束后，若是实验人员未等到晶体生长炉的温度冷却至室温而急忙用手打开晶体生长炉，存在着烫手的风险。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种自动开盖炉，能够解决在实验结束后，若是实验人员未等到晶体生长炉的温度冷却至室温而急忙用手打开晶体生长炉，存在着烫手的风险的问题。
[0004]本技术还提出一种具有上述自动开盖炉的碳化硅晶体生长设备。
[0005]根据本技术第一方面实施例的一种自动开盖炉，所述自动开盖炉包括：炉本体，所述炉本体包括炉身以及设置于所述炉身上的炉盖组件，所述炉盖组件与所述炉身可拆卸连接；以及开盖机构，所述开盖机构包括驱动源、与所述驱动源驱动连接的传动组件以及与所述传动组件传动连接的开盖臂组件，所述开盖臂组件与所述炉盖组件连接，所述驱动源用于驱动所述传动组件运动，以使所述开盖臂组件带动所述炉盖组件靠近或远离所述炉身；其中，所述传动组件包括能够受所述驱动源控制而自转的丝杠、与所述丝杠螺纹配合的螺母、以及套设于所述丝杠外并与所述丝杠相间隔的升降轴，所述升降轴的一端与所述螺母固定连接，另一端与所述开盖臂组件固定连接。
[0006]根据本技术实施例的自动开盖炉，至少具有如下技术效果：
[0007]在上述的自动开盖炉中，驱动源能够驱动丝杠自转，从而带动螺母沿丝杠的轴线转动，继而带动升降轴沿丝杠的轴线移动，以带动开盖臂组件沿丝杠的轴线运动，如此，可以带动炉盖组件靠近或远离炉身。当需要开盖时，只需要控制驱动源启动，并通过丝杠、螺母、升降轴以及开盖臂组件带动炉盖组件朝远离炉身的方向移动即可实现开盖，操作简单，且上述的自动开盖炉无需人工手动开盖，可以避免因炉内高温而烫伤。
[0008]根据本技术的一些实施例，所述炉盖组件与所述炉身沿竖直方向排布，且所述炉盖组件位于所述炉身的上方，所述丝杠与所述升降轴同轴设置，且所述丝杠以及所述升降轴均沿竖直方向设置。
[0009]根据本技术的一些实施例，所述的自动开盖炉还包括支架，所述炉本体设置于支架上，所述开盖机构还包括设置于所述支架上的限位筒，所述限位筒套设于所述升降轴外，且所述限位筒与所述升降轴相间隔，所述限位筒设有沿所述限位筒的轴向延伸的限
位孔，所述升降轴的外壁上设置有限位轴，所述限位轴穿设于所述限位孔。
[0010]根据本技术的一些实施例，所述开盖臂组件包括套设于所述升降轴外的卡套单元、与所述卡套单元连接的连接板、以及与所述连接板连接的连接件，所述连接件与所述炉盖组件连接。
[0011]根据本技术的一些实施例，所述卡套单元包括第一卡套、以及与所述第一卡套连接的第二卡套，所述第一卡套与所述第二卡套配合形成安装孔，所述升降轴穿设于所述安装孔内。
[0012]根据本技术的一些实施例，所述第一卡套与所述第二卡套可拆卸连接。
[0013]根据本技术的一些实施例，所述炉盖组件包括盖板以及护套，所述盖板可拆卸地盖设于所述炉身上，所述盖板远离所述炉身的一侧设有储液槽，所述护套与所述盖板连接并盖住所述储液槽。
[0014]根据本技术的一些实施例，所述护套上设有与所述储液槽连通的进口。
[0015]根据本技术的一些实施例，所述储液槽的底壁上设置有支撑环，所述护套支撑在所述支撑环上并盖住所述储液槽；其中，所述支撑环将所述储液槽分成外部区域以及内部区域，且所述支撑环设有用于连通所述外部区域与所述内部区域的开口。
[0016]根据本技术第二方面实施例的碳化硅晶体生长设备，包括如上所述的自动开盖炉。
[0017]根据本技术实施例的碳化硅晶体生长设备，至少具有如下技术效果：
[0018]上述的碳化硅晶体生长设备具备上述的自动开盖炉，在上述的自动开盖炉中，驱动源能够驱动丝杠自转，从而带动螺母沿丝杠的轴线转动，继而带动升降轴沿丝杠的轴线移动，以带动开盖臂组件沿丝杠的轴线运动，如此，可以带动炉盖组件靠近或远离炉身。当需要开盖时，只需要控制驱动源启动，并通过丝杠、螺母、升降轴以及开盖臂组件带动炉盖组件朝远离炉身的方向移动即可实现开盖，操作简单，且上述的自动开盖炉无需人工手动开盖，可以避免因炉内高温而烫伤。
附图说明
[0019]本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0020]图1是本技术一实施例的自动开盖炉的结构示意图；
[0021]图2是图1所示图形的A处局部放大结构示意图；
[0022]图3是本技术一实施例的自动开盖炉的局部结构示意图；
[0023]图4是图3所示图形的B处局部放大结构示意图；
[0024]图5是本技术一实施例的炉本体的结构示意图；
[0025]图6是本技术一实施例的炉本体的局部结构示意图。
[0026]附图标记：
[0027]100、炉本体；110、炉身；120、炉盖组件；121、盖板；1211、支撑环；12111、开口；1212、储液槽；1212a、外部区域；1212b、内部区域；122、护套；1221、水嘴；200、开盖机构；210、驱动源；220、减速机；230、丝杠；240、升降轴；241、限位轴；250、限位筒；251、限位孔；260、开盖臂组件；261、卡套单元；2611、第一卡套；2612、第二卡套；262、连接板；263、连接
件；300、支架。
具体实施方式
[0028]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0029]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动开盖炉，其特征在于，所述自动开盖炉包括：炉本体，所述炉本体包括炉身以及设置于所述炉身上的炉盖组件，所述炉盖组件与所述炉身可拆卸连接；以及开盖机构，所述开盖机构包括驱动源、与所述驱动源驱动连接的传动组件以及与所述传动组件传动连接的开盖臂组件，所述开盖臂组件与所述炉盖组件连接，所述驱动源用于驱动所述传动组件运动，以使所述开盖臂组件带动所述炉盖组件靠近或远离所述炉身；其中，所述传动组件包括能够受所述驱动源控制而自转的丝杠、与所述丝杠螺纹配合的螺母、以及套设于所述丝杠外并与所述丝杠相间隔的升降轴，所述升降轴的一端与所述螺母固定连接，另一端与所述开盖臂组件固定连接。2.根据权利要求1所述的自动开盖炉，其特征在于，所述炉盖组件与所述炉身沿竖直方向排布，且所述炉盖组件位于所述炉身的上方，所述丝杠与所述升降轴同轴设置，且所述丝杠以及所述升降轴均沿竖直方向设置。3.根据权利要求1所述的自动开盖炉，其特征在于，还包括支架，所述炉本体设置于支架上，所述开盖机构还包括设置于所述支架上的限位筒，所述限位筒套设于所述升降轴外，且所述限位筒与所述升降轴相间隔，所述限位筒设有沿所述限位筒的轴向延伸的限位孔，所述升降轴的外壁上设置有限位轴，所述限位轴穿设于所述限位孔。...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚泰，宋波，于永澔，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：新型
国别省市：