多向控制阀装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及多向控制阀装置，控制阀有壳体，壳体具有内部空间，其内部空间包括：输入源、致动单元及至少一个作动区。经由输入源提供气体或流体传导至壳体内部空间，致动单元具有至少一个固定部及至少一个驱动部，作动区具有端口及作动元件，通过驱动部控制作动元件，经此对端口进行开启或关闭的控制。经此对端口进行开启或关闭的控制。经此对端口进行开启或关闭的控制。

【技术实现步骤摘要】
多向控制阀装置


[0001]本技术是有关于一种阀装置，特别是指一种可多方向驱动的控制阀装置。

技术介绍

[0002]近几年来，半导体制程等精密制造设备中，广泛采用利用压力式流量控制装置替代质量流控制器。此种压力式流量控制装置具备高抗蚀性、灰尘量少、气体置换性优良以及开关速度快等特点。压力式流量控制装置的驱动装置通常选用推力强，反应快速与控制特性优异的压电元件驱动装置，亦称压电致动器。
[0003]压电式驱动装置通过压电致动器控制机械运动，主要在压电致动器上施加电压，利用压电致动器带动机械进行运动，使被操纵元件进行挺杆或杠杆运动。目前，压电式驱动装置应用产业极为广泛、特别是生产
，举凡电子周边商品制造、生医工程、航太、汽车电子、生物科技以及精密工具等各种产业。

技术实现思路

[0004]本技术涉及多向控制阀装置，通过壳体内部的致动单元搭配至少一个作动区，经此有效驱动输入源提供的气体或流体传导至对应端口。
[0005]本技术的多向控制阀装置，控制阀有壳体，壳体具有内部空间，其内部空间包括：输入源、致动单元及至少一个作动区。通过输入源提供气体或流体传导至壳体内部空间，致动单元具有至少一个固定部及至少一个驱动部，作动区具有端口及作动元件，通过驱动部控制作动元件，经此对端口进行开启或关闭的控制。
[0006]在本技术的一实施例中，上述的固定部设置于致动单元的任意位置，经此形成第一驱动部及第二驱动部，通过微调所述固定部设置位置，使所述第一驱动部及第二驱动部，达到相同或不同的致动能力。r/>[0007]在本技术的一实施例中，上述的第一驱动部及第二驱动部分别具有各自独立驱动的至少一个电极。
[0008]在本技术的一实施例中，上述的作动区包括至少一个活动件，活动件是选自弹性材质组成的弹片、弹簧、板簧等任何变化形式元件。
[0009]在本技术的一实施例中，上述的致动单元是由至少一个智能材料所组成，智能材料包含：记忆金属、热电材料、压电材料、热致变形材料等。
[0010]在本技术的一实施例中，上述的致动单元包括至少一个支撑部。
[0011]在本技术的一实施例中，上述的壳体的内部空间具有至少一个止挡件。
[0012]在本技术的一实施例中，上述的端口是对应连接于密闭容器，密闭容器包含：气囊、气袋、气瓶等任何变化形式元件。
[0013]在本技术的一实施例中，上述的输入源是连接止回阀，通过止回阀控制气体或流体的传导方向。
[0014]在本技术的一实施例中，上述的输入源是连接过滤元件，通过过滤元件进行
气体或流体的过滤。
[0015]在本技术的一实施例中，上述的壳体是连接压力感测器。
[0016]基于上述，本技术的多向控制阀装置，通过壳体内部空间设置致动单元搭配作动区，由于作动元件的杠杆运动原理，有效使输入源提供的气体或流体准确传导至对应端口，提高多向控制阀驱动效率。另外，将固定部设置于致动器的任意位置，经此配置形成第一驱动部及第二驱动部，通过固定部位置的调整，可使第一驱动部及第二驱动部，达到相同或不同的致动能力。
[0017]为让本技术的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附图式作详细说明如下。
附图说明
[0018]图1是依照本技术的第一实施例的多向控制阀装置的剖面示意图。
[0019]图2是图1的多向控制阀装置的立体示意图。
[0020]图3是图1的多向控制阀装置组装于封闭壳体的开启状态示意图。
[0021]图4A是图1的多向控制阀装置的致动单元的组成结构放大示意图。
[0022]图4B是图1的多向控制阀装置的致动单元另一角度的组成结构放大示意图。
[0023]图5是图1的多向控制阀装置的致动单元的电极示意图。
[0024]图6是依照本技术的第二实施例的多向控制阀装置的剖面示意图。
[0025]图7是图6的多向控制阀装置的立体示意图。
[0026]【主要元件符号说明】
[0027]100、100a：多向控制阀装置
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1：壳体
[0028]10：内部空间
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20：输入源
[0029]30：致动单元
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31：固定部
[0030]32：第一驱动部
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33：第二驱动部
[0031]34：支撑件
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35：第一电极层
[0032]36：第一压电片
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37：中间层电极
[0033]38：第二压电片
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39：第二电极层
[0034]40：作动区
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41：端口
[0035]42：作动元件
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43：活动件
[0036]50：压力感测器
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60：止挡件
[0037]70：盖板
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M1：第一作动区
[0038]A1：第一A电极
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B1：第一B电极
[0039]C1：第一C电极
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M2：第二作动区
[0040]A2：第二A电极
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B2：第二B电极
[0041]C2：第二C电极
具体实施方式
[0042]图1是依照本技术的第一实施例的多向控制阀装置的剖面示意图。图2是图1的多向控制阀装置的立体示意图。请参阅图1至图2，本实施例的多向控制阀装置100包括壳
体1，壳体1内部具有内部空间10，其内部空间10包括输入源20、致动单元30及至少一个作动区40。
[0043]请参阅图1至图2，在本实施例中，经由输入源20提供气体或流体传导至壳体1内部空间10中，致动单元30具有至少一个固定部31，固定部31设置于致动单元30的任意位置，形成第一驱动部32及第二驱动部33，通过微调固定部31的设置位置，使第一驱动部32及第二驱动部33，达到相同或不同的致动能力。
[0044]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多向控制阀装置，其特征在于，包括：壳体，所述壳体具有内部空间，所述内部空间包括；输入源，经由所述输入源提供气体或流体传导至壳体内部空间；致动单元，所述致动单元具有至少一个固定部及至少一个驱动部；以及至少一个作动区，所述作动区具有端口及作动元件，通过所述驱动部控制所述作动元件，经此对所述端口进行开启或关闭的控制。2.根据权利要求1所述的多向控制阀装置，其特征在于，所述固定部设置于致动单元的任意位置，经此形成第一驱动部及第二驱动部，通过微调所述固定部设置位置，使所述第一驱动部及第二驱动部，达到相同或不同的致动能力。3.根据权利要求2所述的多向控制阀装置，其特征在于，所述第一驱动部及第二驱动部分别具有各自独立驱动的至少一个电极。4.根据权利要求1所述的多向控制阀装置，其特征在于，所述作动区更包括至少一个活动件，所述活动件是选自弹性材质组成的弹片、或弹簧、或板簧形式元件。5....

【专利技术属性】
技术研发人员：吴宗翰，
申请(专利权)人：科际精密股份有限公司，
类型：新型
国别省市：