致动装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及致动装置，包括：致动器及固定部。致动器具有至少一个驱动部；固定部设置于致动器的任意位置，使驱动部形成第一驱动部及第二驱动部，当调整固定部的设置位置，进而使第一驱动部和第二驱动部，达到相同或不同的致动能力。动能力。动能力。

【技术实现步骤摘要】
致动装置


[0001]本专利技术是有关于一种致动装置，特别是指单一致动器具有多个驱动部及多向驱动控制的致动装置。

技术介绍

[0002]近几年来，半导体制程等精密制造设备中，广泛采用利用压力式流量控制装置替代质量流控制器。此种压力式流量控制装置具备高抗蚀性、灰尘量少、气体置换性优良以及开关速度快等特点。压力式流量控制装置的驱动装置通常选用推力强，反应快速与控制特性优异的压电元件驱动装置，亦称压电致动器。
[0003]压电式驱动装置通过压电致动器控制机械运动，主要在压电致动器上施加电压，利用压电致动器带动机械进行运动，使被操纵元件进行挺杆或杠杆运动。目前，压电式驱动装置应用产业极为广泛、特别是生产
，举凡电子周边商品制造、生医工程、航太、汽车电子、生物科技以及精密工具等各种产业。

技术实现思路

[0004]本专利技术涉及致动装置，通过调整固定部的设置位置，使第一驱动部和第二驱动部，达到相同或不同的致动能力。
[0005]本专利技术的致动装置，包括：致动器及固定部。致动器具有至少一个驱动部；固定部设置于致动器的任意位置，使驱动部形成第一驱动部及第二驱动部，当调整固定部的设置位置，进而使第一驱动部和第二驱动部，达到相同或不同的致动能力。
[0006]在本专利技术的一实施例中，上述的致动器是由至少一种智能材料所组成，所述智能材料包含：记忆金属、热电材料、压电材料、热致变形材料等。
[0007]在本专利技术的一实施例中，上述的驱动部具有独立驱动的至少一个电极。
[0008]在本专利技术的一实施例中，上述的第一驱动部具有至少一个第一电极，第二驱动部具有至少一个第二电极。
[0009]在本专利技术的一实施例中，上述的第一电极及第二电极互相电性隔离。
[0010]在本专利技术的一实施例中，上述的致动器具有至少一个支撑件。
[0011]在本专利技术的一实施例中，上述的致动器及固定部是设置于壳体的内部空间中。
[0012]在本专利技术的一实施例中，上述的壳体具有至少一个端口，通过致动器的驱动部能独立控制所述端口的开启或关闭。
[0013]在本专利技术的一实施例中，上述的致动装置是应用于阀类产品。
[0014]基于上述，本专利技术的致动装置，通过将固定部设置于致动器的任意位置，经此配置形成第一驱动部及第二驱动部，通过固定部位置的调整，可使第一驱动部及第二驱动部，达到相同或不同的致动能力。
[0015]为让本专利技术的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附图式作详细说明如下。
附图说明
[0016]图1是依照本专利技术的第一实施例的致动装置的剖面示意图。
[0017]图2是依照本专利技术的第一实施例的致动装置的立体示意图。
[0018]图3是依照本专利技术的第一实施例的致动装置的驱动部的电极示意图。
[0019]图4是依照本专利技术的第二实施例的致动装置的剖面示意图。
[0020]图5是依照本专利技术的第二实施例的致动装置的立体示意图。
[0021]图6是依照本专利技术的第二实施例的致动装置的驱动部的电极示意图。
[0022]图7是依照本专利技术的第三实施例将致动器与固定部设置于壳体内部空间的剖面示意图。
[0023]图8是依照本专利技术的第三实施例将致动器与固定部设置于壳体内部空间的立体示意图。
[0024]【主要元件符号说明】
[0025]100、100a、100b：致动装置
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10：致动器
[0026]101：驱动部
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101a：第一驱动部
[0027]M1：第一作动区
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A1：第一A电极
[0028]B1：第一B电极
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C1：第一C电极
[0029]101b：第二驱动部
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M2：第二作动区
[0030]A2：第二A电极
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B2：第二B电极
[0031]C2：第二C电极
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102：支撑件
[0032]20：固定部
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30：壳体
[0033]31：内部空间
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32：端口
具体实施方式
[0034]图1是依照本专利技术的第一实施例的致动装置的剖面示意图。图2是依照本专利技术的第一实施例的致动装置的立体示意图。请参阅图1及图2，本实施例的致动装置100包括：致动器10及固定部20，致动器10具有至少一个驱动部101，固定部20设置于致动器10的任意位置，使驱动部形成第一驱动部101a及第二驱动部101b。
[0035]请参阅图1及图2，在本实施例中，固定部20设置于致动器10的中间位置，形成第一驱动部101a及第二驱动部101b，通过微调固定部20的设置位置，进而使第一驱动部101a及第二驱动部101b，达到相同或不同的致动能力。
[0036]请参阅图1及图2，在本实施例中，致动器10的材质是选自至少一种智能材料，智能材料包含，记忆金属、热电材料、压电材料、热致变形等材料，但致动器10的材质不以此为限制。此外，致动器10包括至少一个支撑件102，当微调固定部20设置位置后，如果第一驱动部101a或第二驱动部101b的其中驱动部长度较长时，利用支撑件102加强第一驱动部101a或第二驱动部101b的结构强度，使整体致动器10稳固设置于阀类产品中。因此，通过支撑件102的延伸变化设计，增加致动器10结构强度，使本专利技术的致动装置100能更加广泛运用于各式阀类产品中。
[0037]图3是依照本专利技术的第一实施例的致动装置的电极形变示意图。在本实施例中，驱动部101具有独立驱动的至少一个电极，当固定部20设置于致动器10的中间位置时，其中第
一驱动部形成至少一个第一电极，第二驱动部形成至少一个第二电极，且第一电极及第二电极之间互相电性隔离，亦即第一驱动部101a及第二驱动部101b分别具有各自独立驱动的至少一个电极。当致动装置100操作时，第一驱动部101a对应的第一作动区M1通过第一A电极A1、第一B电极B1及第一C电极C1的电场控制，可使第一驱动部101a产生不同方向的形变。同理，第二驱动部101b对应的第二作动区M2通过第二A电极A2、第二B电极B2及第二C电极C2的电场控制，可使第二驱动部101b产生不同方向的形变。其中，第一A电极A1、第一B电极B1、第二A电极A2、第二B电极B2、第一C电极C1及第二C电极C2，均为独立电性隔离的电极，然而，第一C电极C本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种致动装置，包括：致动器，所述致动器具有至少一个驱动部；以及固定部，所述固定部设置于致动器的任意位置，使所述驱动部形成第一驱动部及第二驱动部，其特征在于，当调整所述固定部的设置位置，进而使第一驱动部和第二驱动部，达到相同或不同的致动能力。2.根据权利要求1所述的致动装置，其特征在于，所述致动器是由至少一种智能材料所组成，所述智能材料包含：记忆金属、或热电材料、或压电材料、或热致变形材料。3.根据权利要求1所述的致动装置，其特征在于，所述驱动部具有独立驱动的至少一个电极。4.根据权利要求1所述的致动装置，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴宗翰，
申请(专利权)人：科际精密股份有限公司，
类型：发明
国别省市：