一种电子级二氟甲烷的纯化装置及其纯化方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种电子级二氟甲烷的纯化装置，该装置包括预反应器和与所述预反应器连接的二级精馏系统，所述预反应器为鼓泡反应器，所述二级精馏系统包括依次连接的脱轻塔和脱重塔；本发明专利技术还公开一种使用上述装置纯化电子级二氟甲烷的方法为：将粗品二氟甲烷原料和甲醇

【技术实现步骤摘要】
一种电子级二氟甲烷的纯化装置及其纯化方法


[0001]本专利技术属于电子气体的
，具体涉及一种电子级二氟甲烷的纯化装置及其纯化方法。

技术介绍

[0002]二氟甲烷，分子式为CH2F2，无毒、不可燃、易溶于油、难溶于水，是一种拥有零臭氧损耗潜势的冷却剂。二氟甲烷另一主要用途是用在半导体及电子产品的制程中，在射频等离子体处理过程中可作为蚀刻CF自由基的来源，作蚀刻剂用。因此，电子级二氟甲烷的需求量越来越大，是制作高水平、高质量半导体产品的保证，产品纯度要求≥99.998％。
[0003]二氟甲烷的合成方法主要有以下四种：氢氯氟烃催化加氢法、二氯甲烷氟氯交换法、甲醛氟化法和三噁烷法，其中氟氯交换法占主导地位。反应方程式为：
[0004]CH2Cl2+HF＝CH2ClF+HCl
[0005]CH2ClF+HF＝CH2F2+HCl
[0006]2CH2ClF＝CH2F2+CH2Cl2[0007]采用二氟甲烷氟化法合成二氟甲烷的过程中，会产生大量杂质。其主要有氮气、氧气、二氧化碳、一氧化碳、水分、氟化氢等无机杂质，同本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电子级二氟甲烷的纯化装置，其特征在于，包括预反应器和与所述预反应器连接的二级精馏系统，所述预反应器为鼓泡反应器(R101)，所述二级精馏系统包括依次连接的脱轻塔(T101)和脱重塔(T102)，所述鼓泡反应器(R101)上端出口设置有冷凝器一(E101)，所述冷凝器一(E101)与脱轻塔(T101)进口管道连接，所述脱轻塔(T101)的塔顶设置有冷凝器二(E102)，塔釜设置有再沸器一(E103)，所述脱重塔(T102)的塔顶设置有冷凝器三(E104)，塔釜设置有再沸器二(E105)，所述再沸器一(E103)与所述脱重塔(T102)进口管道连接。2.根据权利要求1所述的一种电子级二氟甲烷的纯化装置，其特征在于，所述冷凝器一(E101)上设置有回流管道与所述鼓泡反应器(R101)顶部连接，冷凝器二(E102)上设置有回流管道与所述脱轻塔(T101)顶部连接，冷凝器三(E104)上设置有回流管道与脱重塔(T102)顶部连接。3.一种使用权利要求1
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2中任一权利要求所述装置纯化二氟甲烷的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：S1、鼓泡反应器的下端进口管道通入粗品二氟甲烷原料物流，上端进口管道通入甲醇
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锌粉浆料物流，进行预处理反应，反应后从鼓泡反应器底部出口排出废料物流，上端出口物流经所述冷凝器一冷凝回流部分甲醇后，气相采出混合气物流；所述鼓泡反应器的操作温度为80℃～110℃，操作压力为0.3MPa～1.0MPa；S2、S1中所述混合气物流经所述冷凝器一后通入脱轻塔进行一级精馏，脱除轻组分，所述脱轻塔的操作温...

【专利技术属性】
技术研发人员：张建伟，张琴，倪珊珊，郑旭阳，鲁毅，张帅，姜世楠，
申请(专利权)人：中船重工邯郸派瑞特种气体有限公司，
类型：发明
国别省市：