一种椭球反射镜位置调整装置及调整方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种椭球反射镜位置调整装置及调整方法，椭球反射镜位置调整装置包括：内调焦望远镜、受光屏、光源、光源标定版、灯室位置标定版、灯室基准固定板和五维调整机构；灯室基准固定板位于光学平台上，灯室位置标定版固定在灯室基准固定板上；五维调整机构位于灯室位置标定版上侧；光源标定版位于五维调整机构上侧；受光屏位于光源上侧；内调焦望远镜将光源、灯室位置标定版的标记中心和受光屏的标记中心调整至同一光轴；五维调整机构对椭球反射镜进行调节，使得光源位于椭球反射镜的实际第一焦点处，且受光屏的标记中心位于椭球反射镜的实际第二焦点处。本发明专利技术提供的技术方案，以解决椭球反射镜的位置调整精度低、调整复杂的问题。复杂的问题。复杂的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种椭球反射镜位置调整装置及调整方法


[0001]本专利技术涉及光刻
，尤其涉及一种椭球反射镜位置调整装置及调整方法。

技术介绍

[0002]椭球反射镜广泛应用于照明领域，在高新技术如采用汞灯照明的投影物镜光刻机的应用中，需要较高的照度和照明均匀性，对椭球反射镜具有较高的设计和装调精度要求。
[0003]一般情况下，对于光刻机的汞灯灯室，由汞灯发出的光经过上述椭球反射镜和平面反射镜之后投射至出光侧，形成光锥，作为照明光源使用。但是光锥相对于灯室的对外接口需要满足一定的偏心和倾斜角度，以满足灯室和其他组件的装配需求。但由于灯室中各零件的加工配合误差，导致灯室发出的光锥无法满足精度要求。所以需要调节灯室中的椭球反射镜和平面反射镜的位置来补偿零件的加工和装配误差，将灯室的光锥调节到公差范围内。
[0004]上述调节方法需要调节的机构较多，一旦灯室出现问题需要重新调节，灯室中各结构均需要重新调整，不能保证每次更换后性能保持一致，使得调整误差较大，并且调整复杂，不利于光刻工艺的进行，降低工艺效率。

技术实现思路

[0005]本专利技术实施例提供了一种椭球反射镜位置调整装置及调整方法，以解决椭球反射镜的位置调整精准度低，且调整过程较为复杂的问题。
[0006]第一方面，本专利技术实施例提供了一种椭球反射镜位置调整装置，包括：内调焦望远镜、受光屏、光源、光源标定版、灯室位置标定版、灯室基准固定板和五维调整机构；
[0007]所述灯室基准固定板设置于光学平台的一侧；所述灯室位置标定版固定在所述灯室基准固定板上，用于设置标记以标定灯室位置；所述五维调整机构设置于所述灯室位置标定版远离所述光学平台的一侧，用于放置所述椭球反射镜并调整所述椭球反射镜的位置；所述光源标定版设置于所述五维调整机构远离所述光学平台的一侧，用于设置标记以标定所述光源的安装位置；所述受光屏设置于所述光源远离所述光学平台的一侧，用于设置标记标定受光屏的位置；
[0008]所述内调焦望远镜用于将所述光源、所述灯室位置标定版的标记中心和所述受光屏的标记中心调整至同一光轴，形成基准光轴；且所述光源位于所述椭球反射镜的理论第一焦点处，所述受光屏的标记中心位于所述椭球反射镜的理论第二焦点处；
[0009]所述五维调整机构还用于对所述椭球反射镜进行位置调节，使得所述光源位于所述椭球反射镜的实际第一焦点处，且所述受光屏的标记中心位于所述椭球反射镜的实际第二焦点处。
[0010]第二方面，本专利技术实施例还提供了一种椭球反射镜位置调整方法，采用本专利技术任意实施例提供的椭球反射镜位置调整装置执行，包括：
[0011]通过所述内调焦望远镜分别将所述光源、所述灯室位置标定版的标记中心和所述
受光屏的标记中心调整至同一光轴，形成基准光轴；且所述光源位于所述椭球反射镜的理论第一焦点处，所述受光屏的标记中心位于所述椭球反射镜的理论第二焦点处；
[0012]所述五维调整机构还用于对所述椭球反射镜进行位置调节，使得所述光源位于所述椭球反射镜的实际第一焦点处，且所述受光屏的标记中心位于所述椭球反射镜的实际第二焦点处。
[0013]本专利技术中，椭球反射镜位置调整装置包括内调焦望远镜、受光屏、光源标定版、光源和灯室位置标定版组成的位置标定单元，沿远离光学平台的方向，依次设置上述灯室位置标定版、光源标定版和受光屏，内调焦望远镜调整灯室位置标定版的标记中心、光源和受光屏的标记中心调整至同一基准光轴，并将光源设置于椭球反射镜的理论第一焦点处，受光屏的标记中心设置于理论第二焦点处，在此基础上，安装椭球反射镜，则受光屏、光源、五维调整机构和椭球反射镜形成检测调节单元，通过五维调整机构对椭球反射镜的位置进行调整，使得光源位于椭球反射镜的实际第一焦点，受光屏的标记中心设置于实际第二焦点，使得椭球反射镜的光轴与上述基准光轴重合，从而建立了椭球反射镜的光轴与灯室位置之间的关系，确认了实际光轴，提高了定位精度，从而提高曝光分系统集成精度，并能够在其他部件位置标定后，仅通过调整椭球反射镜的位置对光源的出射光斑进行调整，调整过程简单，提高曝光分系统的灯室集成效率。
附图说明
[0014]图1是本专利技术实施例提供的一种椭球反射镜位置调整装置的结构示意图；
[0015]图2是本专利技术实施例提供的另一种椭球反射镜位置调整装置的结构示意图；
[0016]图3是本专利技术实施例提供的一种椭球反射镜位置调整方法的流程示意图；
[0017]图4是本专利技术实施例提供的另一种椭球反射镜位置调整方法的流程示意图；
[0018]图5是本专利技术实施例提供的另一种椭球反射镜位置调整装置的结构示意图；
[0019]图6是本专利技术实施例提供的一种标记对位结构示意图；
[0020]图7是本专利技术实施例提供的另一种标记对位结构示意图；
[0021]图8是本专利技术实施例提供的另一种椭球反射镜位置调整方法的流程示意图；
[0022]图9是本专利技术实施例提供的另一种椭球反射镜位置调整装置的结构示意图；
[0023]图10是本专利技术实施例提供的一种光源成像的结构示意图；
[0024]图11是本专利技术实施例提供的一种光源成像的光路图。
具体实施方式
[0025]下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本专利技术，而非对本专利技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本专利技术相关的部分而非全部结构。
[0026]现有技术中为获取均匀的用于光刻的照明光源，需要在灯室中通过椭球反射镜对光源出射的光线进行反射，形成出光均匀的光锥。为了将灯室中的光锥调节到公差范围内，需要同时调节椭球反射镜以及灯室中各结构，需要调节机构较多，调节过程越复杂，引入的调节误差越大，越不易调整，在实现本专利技术实施例的过程中，在对椭球反射镜进行调整之前，通过建立基准光轴，建立灯室位置与椭球反射镜调整装置的位置关系，从而椭球反射镜
实际光轴与基准光轴重合，提高椭球反射镜调整精度。
[0027]本专利技术实施例提供了一种椭球反射镜位置调整装置，可应用于光刻机的曝光分系统的灯室内的照明光源的调节，包括：内调焦望远镜、受光屏、光源、光源标定版、灯室位置标定版、灯室基准固定板和五维调整机构；
[0028]灯室基准固定板设置于光学平台的一侧；灯室位置标定版固定在灯室基准固定板上，用于设置标记以标定灯室位置；五维调整机构设置于灯室位置标定版远离光学平台的一侧，用于放置椭球反射镜并调整椭球反射镜的位置；光源标定版设置于五维调整机构远离光学平台的一侧，用于设置标记以标定光源的安装位置；受光屏设置于光源远离光学平台的一侧，用于设置标记标定受光屏的位置；
[0029]内调焦望远镜用于将光源、灯室位置标定版的标记中心和受光屏的标记中心调整至同一光轴，形成基准光轴；且光源位于椭球反射镜的理论第一焦点处，受光屏的标记中心位于椭球反射镜的理论第二焦点处；
[0030]五维调整机构还用于对本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种椭球反射镜位置调整装置，其特征在于，包括：内调焦望远镜、受光屏、光源、光源标定版、灯室位置标定版、灯室基准固定板和五维调整机构；所述灯室基准固定板设置于光学平台的一侧；所述灯室位置标定版固定在所述灯室基准固定板上，用于设置标记以标定灯室位置；所述五维调整机构设置于所述灯室位置标定版远离所述光学平台的一侧，用于放置所述椭球反射镜并调整所述椭球反射镜的位置；所述光源标定版设置于所述五维调整机构远离所述光学平台的一侧，用于设置标记以标定所述光源的安装位置；所述受光屏设置于所述光源远离所述光学平台的一侧，用于设置标记标定受光屏的位置；所述内调焦望远镜用于将所述光源、所述灯室位置标定版的标记中心和所述受光屏的标记中心调整至同一光轴，形成基准光轴；且所述光源位于所述椭球反射镜的理论第一焦点处，所述受光屏的标记中心位于所述椭球反射镜的理论第二焦点处；所述五维调整机构还用于对所述椭球反射镜进行位置调节，使得所述光源位于所述椭球反射镜的实际第一焦点处，且所述受光屏的标记中心位于所述椭球反射镜的实际第二焦点处。2.根据权利要求1所述的椭球反射镜位置调整装置，其特征在于，还包括：平面反射镜；所述平面反射镜设置于所述光源远离所述光学平台的一侧，用于将所述光源的出射光线以及所述椭球反射镜的反射光线反射至所述受光屏。3.根据权利要求1所述的椭球反射镜位置调整装置，其特征在于：所述光源标定版的标记、所述灯室位置标定版的标记和所述受光屏的标记均为十字型。4.一种椭球反射镜位置调整方法，其特征在于，适用于上述权利要求1-3任一项所述的椭球反射镜位置调整装置，所述椭球反射镜位置调整方法包括：通过所述内调焦望远镜分别将所述光源、所述灯室位置标定版的标记中心和所述受光屏的标记中心调整至同一光轴，形成基准光轴；且所述光源位于所述椭球反射镜的理论第一焦点处，所述受光屏的标记中心位于所述椭球反射镜的理论第二焦点处；所述五维调整机构还用于对所述椭球反射镜进行位置调节，使得所述光源位于所述椭球反射镜的实际第一焦点处，且所述受光屏的标记中心位于所述椭球反射镜的实际第二焦点处。5.根据权利要求4所述的椭球反射镜位置调整方法，其特征在于，通过所述内调焦望远镜分别将所述光源、所述灯室位置标定版的标记中心和所述受光屏的标记中心调整至同一光轴，形成基准光轴；且所述光源位于所述椭球反射镜的理论第一焦点处，所述受光屏的标记中心位于所述第二焦点处,包括：将所述内调焦望远镜调焦至无穷远，并提供标定光束；依次调整所述灯室位置标定版、所述光源标定版和所述受光屏的位置；其中，所述光源位于所述椭球反射镜的理论第一焦点处，所述受光屏的标记中心位于所述第二焦点处；调整各所述标记与所述内调焦望远镜的十字划分板之间满足Rx小于第一角度阈值，Ry小于第二角度阈值，Dx小于第一距离阈值，以及Dy小于第二距离阈值；其中，所述十字划分板形成以十字中心为原点，以一条划线为横坐标轴，以另一划线为纵坐标轴的第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘风秀，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：