本申请实施方式提供一种检测设备，包括光源装置、第一探测组件、及第二探测组件。光源装置用于提供多路光线，不同光路的光线以不同的入射角到达工件，光线经工件反射或/和散射形成信号光。第一探测组件用于接收沿第一出射光路出射的信号光而获取第一光信息，以检测工件的缺陷，第一出射光路与工件的法线具有第一出射角。第二探测组件用于接收沿第二出射光路出射的信号光而获取第二光信息，以检测工件的缺陷，第二出射光路与工件的法线具有第二出射角，第一出射角与第二出射角不同。第一出射角与第二出射角不同。第一出射角与第二出射角不同。
【技术实现步骤摘要】
检测设备
[0001]本申请涉及检测
，特别涉及一种检测设备。
技术介绍
[0002]在检测领域，一般采用暗场光学检测的方式对工件表面的缺陷进行检测。当检测光线沿一定的入射角照射到工件表面时，若工件表面上有缺陷，则缺陷处将引发光线的散射，因此可以在工件上方布置探测器用于收集缺陷引发的散射光，以实现缺陷检测。若探测器收集到的缺陷引发的散射光强度较低，则探测器将实际有缺陷的位置误判为没有缺陷，即导致了缺陷检测灵敏度降低。如何减少探测器对缺陷的误判以提高缺陷检测的灵敏度是本领域技术人员亟需解决的问题。
技术实现思路
[0003]本申请实施方式提供一种检测设备。
[0004]本申请实施方式的检测设备包括光源装置、第一探测组件、及第二探测组件。所述光源装置用于提供多路光线，不同光路的光线以不同的入射角到达所述工件，所述光线经所述工件反射或/和散射形成信号光。所述第一探测组件用于接收沿第一出射光路出射的信号光而获取第一光信息，以检测所述工件的缺陷，所述第一出射光路与所述工件的法线具有第一出射角。所述第二探测组件用于接收沿第二出射光路出射的信号光而获取第二光信息，以检测所述工件的缺陷，所述第二出射光路与所述工件的法线具有第二出射角，所述第一出射角与所述第二出射角不同。
[0005]在某些实施方式中，所述第一出射角的取值范围为[10
°
，30
°
]。
[0006]在某些实施方式中，所述第二出射角的取值范围为[50
°
，70
°
]。
[0007]在某些实施方式中，所述光源装置包括光源、分光件、及光路转折组件。所述光源用于投射光线。所述分光件用于反射和/或透射所述光源投射的所述光线，以使所述光线沿第一方向和/或第二方向传输。所述光路折转组件用于选择性地导引所述第一方向的光线或所述第二方向的光线至所述工件。
[0008]在某些实施方式中，所述光源装置还包括偏振元件。所述偏振元件用于接收所述光源发出的非偏振态的光线，及使经过所述偏振元件后出射的光线具有预设的偏振态或保持所述非偏振态。
[0009]在某些实施方式中，所述偏振元件包括主体、设置于所述主体的多个偏振部、及设置于所述主体的透光部。所述偏振部用于使经过所述偏振部后出射的光线具有预设的偏振态，经过不同的所述偏振部出射后的光线具有不同的偏振态。所述透光部用于使经过所述透光部后出射的光线保持所述非偏振态，所述主体能够转动以带动所述透光部和多个所述偏振部运动，以使所述透光部和多个所述偏振部中的任意一个接收所述光源发出的所述光线。
[0010]在某些实施方式中所述光源装置还包括位于所述光源与所述分光件之间的波片，
所述波片用于调整经所述分光件透射光线和经所述分光件反射光线的比例。
[0011]在某些实施方式中，所述光源装置还包括光整形组件，所述光整形组件用于调节所述光源发出的光线在所述工件形成的光斑的形状。
[0012]在某些实施方式中，所述光源装置用于提供两路光线并能够选择性地导引其中任意一路光线至所述工件，两路光线分别以第一入射角及第二入射角到达所述工件。所述第一入射光路与所述工件的法线呈第一入射角，所述第一入射角的取值范围为[0
°
，10
°
]。及所述第二入射光路与所述工件的法线呈第二入射角，所述第二入射角的取值范围为 [60
°
，80
°
]。
[0013]在某些实施方式中，所述检测设备还包括光吸收元件，所述光吸收元件用于吸收经所述工件散射或反射的光。
[0014]在某些实施方式中，所述检测设备还包括光吸收元件，所述光吸收元件用于吸收以所述第二入射角到达所述工件的光线经所述工件反射形成的信号光。
[0015]在某些实施方式中，所述第一探测组件的数量为一个或多个，在所述第一探测组件的数量为多个时，多个所述第一探测组件环绕所述工件的法线设置。
[0016]在某些实施方式中，所述第二探测组件的数量为一个或多个，在所述第二探测组件的数量为多个时，多个所述第二探测组件环绕所述工件的法线设置。
[0017]在某些实施方式中，所述第一光信息包括第一光强，所述第二光信息包括第二光强；所述第一光强大于预设的第一阈值时和/或所述第二光强大于预设的第二阈值时，则表征所述工件具有缺陷。
[0018]在某些实施方式中，所述第一光信息还包括第一位置，所述第二光信息还包括第二位置，当所述第一光强大于预设的第一阈值且所述第二光强大于预设的第二阈值时，若所述第一位置与所述第二位置相同，且所述第一光强大于第二光强，则表征所述工件具有第一类缺陷；若所述第一位置与所述第二位置相同，且所述第一光强小于第二光强，则表征所述工件具有第二类缺陷；若所述第一位置与所述第二位置不同，则表征所述工件在所述第一位置具有第一类缺陷及在所述第二位置具有第二类缺陷。
[0019]本申请实施方式的检测设备通过设置光源装置投射多路光线以不同的入射角到达工件，第一探测组件能够接收沿第一出射光路出射的光线而获取第一光信息，第二探测组件能够接收沿第二出射光路出射的光线而获取第二光信息，以能够在光强较强的光路检测工件的缺陷，从而避免漏判缺陷，提高缺陷检测的灵敏度。
附图说明
[0020]本申请的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0021]图1是本申请某些实施方式的检测设备及工件的示意图；
[0022]图2是本申请某些实施方式的检测设备的光源装置及工件的示意图；
[0023]图3是本申请某些实施方式的检测设备的光源装置及工件的示意图；
[0024]图4是本申请某些实施方式的检测设备的光源装置及工件的示意图；
[0025]图5是本申请某些实施方式的第一探测组件及第二探测组件检测工件的缺陷的场景示意图；
[0026]图6是本申请某些实施方式的第一探测组件及第二探测组件检测工件的缺陷的场景示意图。
具体实施方式
[0027]下面详细描述本申请的实施方式，所述实施方式的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本申请，而不能理解为对本申请的限制。
[0028]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“厚度”、“上”、“顶”、“底”、“内”、“外”、等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种检测设备，用于检测工件的缺陷，其特征在于，所述检测设备包括：光源装置，所述光源装置用于提供多路光线，不同光路的光线以不同的入射角到达所述工件，所述光线经所述工件反射或/和散射形成信号光；第一探测组件，所述第一探测组件用于接收沿第一出射光路出射的信号光而获取第一光信息，以检测所述工件的缺陷，所述第一出射光路与所述工件的法线具有第一出射角；及第二探测组件，所述第二探测组件用于接收沿第二出射光路出射的信号光而获取第二光信息，以检测所述工件的缺陷，所述第二出射光路与所述工件的法线具有第二出射角，所述第一出射角与所述第二出射角不同。2.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述第一出射角的取值范围为[10
°
，30
°
]；和/或所述第二出射角的取值范围为[50
°
，70
°
]。3.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述光源装置包括：光源，所述光源用于投射光线；分光件，所述分光件用于反射和/或透射所述光源投射的所述光线，以使所述光线沿第一方向和/或第二方向传输；及光路折转组件，所述光路折转组件用于选择性地导引所述第一方向的光线或所述第二方向的光线至所述工件。4.根据权利要求3所述的检测设备，其特征在于，所述光源装置还包括：偏振元件，所述偏振元件用于接收所述光源发出的非偏振态的光线，及使经过所述偏振元件后出射的光线具有预设的偏振态或保持所述非偏振态。5.根据权利要求4所述的检测设备，其特征在于，所述偏振元件包括：主体；设置于所述主体的多个偏振部，所述偏振部用于使经过所述偏振部后出射的光线具有预设的偏振态，经过不同的所述偏振部出射后的光线具有不同的偏振态；及设置于所述主体的透光部，所述透光部用于使经过所述透光部后出射的光线保持所述非偏振态，所述主体能够转动以带动所述透光部和多个所述偏振部运动，以使所述透光部和多个所述偏振部中的任意一个接收所述光源发出的所述光线。6.根据权利要求3所述的检测设备，其特征在于，所述光源装置还包括：位于所述光源与所述分光件之间的波片，所述波片用于调整经所述分光件透射光线和经所述分光件反射光线的比例。7.根...
【专利技术属性】
技术研发人员：张龙，黄有为，陈鲁，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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