本实用新型专利技术公开了一种光刻设备的前烘装置，本实用新型专利技术涉及光刻设备前烘装置技术领域，箱体左侧固定连接有一对合页，两个合页左侧之间固定连接有箱门，且箱门通过两个合页与箱体转动连接，箱门内侧外沿固定连接有一圈密封圈，箱门中心处固定连接有观察窗，箱体上表面左侧固定连接有气泵，气泵下端固定连接有集气管，集气管穿过箱体上表面，且集气管底端固定连接有集气口，箱体上端右侧固定连接有电加热箱，气泵右侧固定连接有连接管，气泵通过连接管与电加热箱固定连接；烘干块设有若干块；本实用新型专利技术的有益效果在于：同时对多个硅片进行前烘作业，同时对烘干完成的硅片进行自动出料。料。料。
【技术实现步骤摘要】
一种光刻设备的前烘装置
[0001]本技术涉及光刻设备前烘装置
，尤其是涉及一种光刻设备的前烘装置。
技术介绍
[0002]光刻技术是集成电路制造中利用光学
‑
化学反应原理和化学、物理刻蚀方法，将电路图形传递到单晶表面或介质层上，形成有效图形窗口或功能图形的工艺技术在进行光刻工艺时，光刻胶被涂到硅片表面后必须要经过软烘，也可以称为前烘，前烘的目的是去除光刻胶中的溶剂。前烘提高了粘附性，提升了硅片上光刻胶的均匀性，在刻蚀中得到了更好的线宽控制。典型的前烘条件是在热板上以90℃到100℃的温度将硅片烘烤30秒左右，然后将硅片置于冷板之上进行降温，以得到光刻胶一直特性的硅片温度控制。然而现在的光刻前烘都是单个进行前烘，缺少一种可以批量前烘的装置。因此需要研发一种光刻设备的前烘装置。
技术实现思路
[0003]本技术的目的是针对上述存在的问题和不足，提供一种光刻设备的前烘装置。
[0004]为达到上述目的，所采取的技术方案是：
[0005]一种光刻设备的前烘装置，包括箱体和烘干块，所述箱体左侧固定连接有一对合页，两个所述合页左侧之间固定连接有箱门，且所述箱门通过两个所述合页与箱体转动连接，所述箱门内侧外沿固定连接有一圈密封圈，所述箱门中心处固定连接有观察窗，所述箱体上表面左侧固定连接有气泵，所述气泵下端固定连接有集气管，所述集气管穿过箱体上表面，且所述集气管底端固定连接有集气口，所述箱体上端右侧固定连接有电加热箱，所述气泵右侧固定连接有连接管，所述气泵通过连接管与电加热箱固定连接；所述烘干块设有若干块，且每两块为一组均匀排布于所述箱体内部中间上下侧，所述烘干块靠内的一面开有烘干槽，每两个相邻的所述烘干槽内底部之间设置有硅片，每个所述烘干槽内壁顶部均固定连接有测温装置，每个所述烘干槽内壁侧面均开有出气孔，每个所述硅片下端设有给料块，每个所述给料块上端等距离竖直向上固定连接有若干给料齿，每个所述给料块下端竖直向下固定连接有两根支撑杆，所述箱体内部上端和下端均设有一对前后平行的摆叶轴，四个所述摆叶轴两端均转动连接有摆叶，所述支撑杆末端分别与相邻的所述摆叶轴固定连接，所述摆叶外侧均固定连接有转轴；所述箱体背面开设有两排出料口，每排所述出料口下端均设有置料板。
[0006]进一步的，所述箱体为前端开口结构，所述集气口与箱体内连通，所述集气口与集气管相互连通，所述电加热箱右端固定连接有主供气管，所述主供气管末端固定连接有两根支供气管，所述支供气管内侧面固定连接有若干根注气管。
[0007]进一步的，所述烘干块为中空结构，所述烘干块通过出气孔与箱体内相互连通，所
述主供气管、支供气管和注气管三者互通，所述注气管穿过箱体后侧外壁并与烘干块后端固定连接。
[0008]进一步的，相邻的两个所述给料齿间距大于硅片直径，所述转轴外侧均穿过箱体并外接电机。
[0009]进一步的，左右相对的两个所述转轴位于同一直线上，所述转轴与箱体底面平行，四个所述摆叶轴均相互平行，四个所述摆叶轴均与箱体底面平行。
[0010]进一步的，所述给料块和给料齿组成运输装置，所述支撑杆、转轴、摆叶和摆叶轴组成出料结构。
[0011]采用上述技术方案，所取得的有益效果是：
[0012]多个烘干组批量对硅片进行前烘，烘干块一侧开设有烘干槽，一对烘干块镜像对称组成烘干组，两个烘干块烘干槽一侧相对，箱体内上端和下端均横向排列有五个烘干组，硅片放置于烘干组内，硅片底面与一对烘干块上相对开设的烘干槽内底面活动连接，能够起到放置有多个硅片的效果，将箱门通过合页关闭，箱门上安装的密封圈能够避免大量外界空气进入箱体影响烘干效果，起到保证烘干效果的效果，箱门上固定连接的观察窗能够通过观察窗观察硅片烘干情况；
[0013]气泵和电加热箱循环加热箱体内空气，出气孔使硅片充分烘干，测温装置掌握硅片表面温度，气泵通过集气口和集气管吸收箱体内空气，电加热箱将空气加热，高温空气经过主供气管、支供气管和注气管进入烘干块，烘干块为中空结构，硅片放置于烘干组内，硅片底面与一对烘干槽内底面活动连接，烘干槽内顶面等距离固定连接有测温装置，烘干槽内侧壁等距离开设有出气孔，热风通过出气孔吹至硅片表面，进行烘干作业，气泵和电加热箱起到循环加热箱体内空气的效果，主供气管、支供气管和注气管起到将热空气传输至每一个烘干块的效果，等距离开设的出气孔起到充分烘干硅片的效果，测温装置起到时刻掌握硅片表面温度的效果；
[0014]给料块能够在烘干组上运输硅片，出料口和置料板将硅片进行出料，开启转轴外接电机，转轴转动带动摆叶旋转，每对摆叶带动其间转动连接的摆叶轴做圆周运动，摆叶轴带动其上竖直向上固定连接的支撑杆做圆周运动，一对支撑杆带动其上固定连接的给料块左圆周运动，给料块做圆周运动，在给料块圆周最高点时与硅片接触，给料块上等距离安装的给料齿将硅片向箱体后侧推动，硅片依次通过箱体后侧开设的出料口落到置料板上，给料块圆周运动能够起到运输硅片进行出料作业的效果，出料口能够使硅片进行出料，置料板能够起到收集硅片的效果。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下文中将对本技术实施例的附图进行简单介绍。其中，附图仅仅用于展示本技术的一些实施例，而非将本技术的全部实施例限制于此。
[0016]图1为本技术主视结构示意图；
[0017]图2为本技术后视结构示意图；
[0018]图3为本技术右视结构示意图；
[0019]图4为本技术烘干块剖面结构示意图
[0020]图5为本技术烘干块和给料块状态一结构示意图；
[0021]图6为本技术烘干块和给料块状态二结构示意图；
[0022]图7为本技术运输装置和出料结构位置关系示意图。
[0023]图中标记：箱体1、出料口101、置料板102、集气管2、气泵3、连接管31、电加热箱4、主供气管5、支供气管51、注气管52、集气口6、烘干块7、烘干槽71、测温装置72、出气孔73、硅片74、给料块8、给料齿81、支撑杆9、转轴91、摆叶92、摆叶轴93、转轴10、合页11、密封圈12、观察窗13、箱门14。
具体实施方式
[0024]为了使得本技术的技术方案的目的、技术特征和技术效果更加清楚，下文中将结合本技术具体实施例的附图，对本技术实施例的示例方案进行清楚、完整地描述。
[0025]参见图1至图7，本申请是一种光刻设备的前烘装置，包括箱体1和烘干块7，箱体1左侧固定连接有一对合页11，两个合页11左侧之间固定连接有箱门14，且箱门14通过两个合页11与箱体1转动连接，箱门14内侧外沿固定连接有一圈密封圈12，箱门14中心处固定连接有观察窗13，箱体1上表面左侧固定连接有气泵3，气泵3下端固定连接有集气管2，集气管2穿过箱体1上表面，且集气管2底端固定连接有集气口6，箱体1上端右侧固定连接有电加热箱4，气泵3右侧固定连本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光刻设备的前烘装置，包括箱体(1)和烘干块(7)，其特征在于：所述箱体(1)左侧固定连接有一对合页(11)，两个所述合页(11)左侧之间固定连接有箱门(14)，且所述箱门(14)通过两个所述合页(11)与箱体(1)转动连接，所述箱门(14)内侧外沿固定连接有一圈密封圈(12)，所述箱门(14)中心处固定连接有观察窗(13)，所述箱体(1)上表面左侧固定连接有气泵(3)，所述气泵(3)下端固定连接有集气管(2)，所述集气管(2)穿过箱体(1)上表面，且所述集气管(2)底端固定连接有集气口(6)，所述箱体(1)上端右侧固定连接有电加热箱(4)，所述气泵(3)右侧固定连接有连接管(31)，所述气泵(3)通过连接管(31)与电加热箱(4)固定连接；所述烘干块(7)设有若干块，且每两块为一组均匀排布于所述箱体(1)内部中间上下侧，所述烘干块(7)靠内的一面开有烘干槽(71)，每两个相邻的所述烘干槽(71)内底部之间设置有硅片(74)，每个所述烘干槽(71)内壁顶部均固定连接有测温装置(72)，每个所述烘干槽(71)内壁侧面均开有出气孔(73)，每个所述硅片(74)下端设有给料块(8)，每个所述给料块(8)上端等距离竖直向上固定连接有若干给料齿(81)，每个所述给料块(8)下端竖直向下固定连接有两根支撑杆(9)，所述箱体(1)内部上端和下端均设有一对前后平行的摆叶轴(93)，四个所述摆叶轴(93)两端均转动连接有摆叶(92)，所述支撑杆(9)末端分别与相邻的所述摆叶轴(93)固定连接，所述摆叶(92...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘健，
申请(专利权)人：上海欧勋机电工程有限公司，
类型：新型
国别省市：
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