一种立式光刻设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种立式光刻设备，特别是涉及光刻设备技术领域，包括主架；主架内壁底部固定有空心台面，且空心台面内壁卡接固定有长条，长条外部均匀套接有若干个滑动套，每两个滑动套之间均固定连接有位于长条前方的连接杆，滑动套顶部均固定有滑杆，本实用新型专利技术的有益效果在于：通过活动套可带动最左侧的滑动套向右移动，由此余下的滑动套即可一并向右移动，滑动套在移动时可通过连接杆带动活动夹板向右移动，当所有活动夹板一并向右移动并且与工件左侧接触后，工件即可被活动夹板和固定夹板所夹紧，方便使用者同时对多个工件进行夹固，光刻效率较高，以解决现有的立式光刻设备，光刻效率较低的问题。光刻效率较低的问题。光刻效率较低的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种立式光刻设备


[0001]本技术涉及光刻设备
，特别是涉及一种立式光刻设备。

技术介绍

[0002]光刻设备又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到工件上。
[0003]目前的立式光刻设备在对工件进行光刻时，通常需要对工件逐个进行夹固后再光刻，光刻效率较低。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种立式光刻设备，以解决现有的立式光刻设备，光刻效率较低的问题。
[0005]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种立式光刻设备，包括主架；
[0006]所述主架内壁底部固定有空心台面，且所述空心台面内壁卡接固定有长条，所述长条外部均匀套接有若干个滑动套，每两个所述滑动套之间均固定连接有位于长条前方的连接杆，所述滑动套顶部均固定有滑杆，且所述滑杆末端均固定有活动夹板，所述空心台面顶部贯通有滑槽，其所述滑槽上方设置有若干块均匀分布且与空心台面固定的固定夹板，所述长条左端固定有空心条，且所述空心条内部左右两侧均设置有齿轮，所述齿轮中心均贯穿有与空心条内壁固定的齿轮轴，且两个齿轮之间传动连接有链条，所述链条上方固定有抵条，所述空心条顶部贯通有活动槽，且所述空心条后方左侧安装有正反马达，所述空心条外部套接有活动套，且所述活动套右端以及最左侧的所述滑动套左端均固定有磁套。
[0007]进一步的，所述主架内壁上部卡接固定有直线滑台，且所述直线滑台底部设置有与其滑动端固定连接的光刻头。
[0008]进一步的，所述滑杆均贯穿过滑槽，所述活动夹板对应设置于所述固定夹板左侧。
[0009]进一步的，左侧所述齿轮中心的齿轮轴后端贯穿出空心条后与所述正反马达的动力端固定连接。
[0010]进一步的，所述空心条以及活动套左部均贯穿出主架左侧。
[0011]进一步的，所述抵条贯穿出活动槽，且所述抵条靠近活动套左侧。
[0012]与现有技术相比，本技术实现的有益效果：
[0013]通过活动套可带动最左侧的滑动套向右移动，由此余下的滑动套即可一并向右移动，滑动套在移动时可通过连接杆带动活动夹板向右移动，当所有活动夹板一并向右移动并且与工件左侧接触后，工件即可被活动夹板和固定夹板所夹紧，方便使用者同时对多个工件进行夹固，光刻效率较高，以解决现有的立式光刻设备，光刻效率较低的问题。
附图说明
[0014]图1为本技术整体正视剖面示意图；
[0015]图2为本技术空心条的正视剖面示意图；
[0016]图3为本技术空心条的立体结构示意图。
[0017]图中：1
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主架、2
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空心台面、3
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长条、4
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滑动套、5
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连接杆、6
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滑杆、7
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活动夹板、8
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固定夹板、9
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滑槽、10
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空心条、11
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齿轮、12
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齿轮轴、13
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链条、14
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抵条、15
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活动套、16
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活动槽、17
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磁套、18
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正反马达、19
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直线滑台、20
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光刻头。
具体实施方式
[0018]以下结合附图对本技术的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本技术，并不用于限定本技术。
[0019]请参阅图1
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3，本技术提供一种技术方案：一种立式光刻设备，包括主架1；
[0020]所述主架1内壁底部固定有空心台面2，且所述空心台面2内壁卡接固定有长条3，所述长条3外部均匀套接有若干个滑动套4，每两个所述滑动套4之间均固定连接有位于长条3前方的连接杆5，所述滑动套4顶部均固定有滑杆6，且所述滑杆6末端均固定有活动夹板7，所述空心台面2顶部贯通有滑槽9，其所述滑槽9上方设置有若干块均匀分布且与空心台面2固定的固定夹板8，所述滑杆6均贯穿过滑槽9，所述活动夹板7对应设置于所述固定夹板8左侧，所述长条3左端固定有空心条10，且所述空心条10内部左右两侧均设置有齿轮11，所述齿轮11中心均贯穿有与空心条10内壁固定的齿轮轴12，且两个齿轮11之间传动连接有链条13，所述链条13上方固定有抵条14，所述空心条10顶部贯通有活动槽16，且所述空心条10后方左侧安装有正反马达18，左侧所述齿轮11中心的齿轮轴12后端贯穿出空心条10后与所述正反马达18的动力端固定连接，所述空心条10外部套接有活动套15，且所述活动套15右端以及最左侧的所述滑动套4左端均固定有磁套17，所述抵条14贯穿出活动槽16，且所述抵条14靠近活动套15左侧，所述空心条10以及活动套15左部均贯穿出主架1左侧。
[0021]在夹持工件时，可先将工件依次横向摆放至空心台面2上方，且使得工件对应且紧靠至固定夹板8左侧，然后将正反马达18外接至电源并启动，正反马达18启动后且带动左侧所述齿轮11中心的齿轮轴12正转时，从而可带动左侧齿轮11一并转动，由此链条13可一并传动，链条13传动时可带动抵条14向右移动，抵条14即可逐渐靠近至活动套15左侧，当抵条14与活动套15左侧接触后将带动活动套15向右移动，活动套15持续向右移动，且活动套15右端的磁套17与最左侧的滑动套4左端的磁套17接触并吸合后，通过活动套15可带动最左侧的滑动套4向右移动，由此余下的滑动套4即可一并向右移动，滑动套4在移动时可通过滑杆6带动活动夹板7向右移动，当所有活动夹板7一并向右移动并且与工件左侧接触后，工件即可被活动夹板7和固定夹板8所夹紧，方便使用者同时对多个工件进行夹固，光刻效率较高；
[0022]所述主架1内壁上部卡接固定有直线滑台19，且所述直线滑台19底部设置有与其滑动端固定连接的光刻头20；
[0023]进一步的，将直线滑台19外接至电源并启动后，通过直线滑台19可调节光刻头20的位置，使得光刻头20移动至需要进行光刻的工件上方，然后通过光刻头20对工件进行光刻；
[0024]当需要对工件进行取用时，通过启动正反马达18带动左侧齿轮11中心的齿轮轴12反转时，从而可带动左侧齿轮11一并转动，由此链条13可一并传动，链条13传动时可带动抵
条14向左移动，抵条14即可逐渐远离活动套15左侧，将活动套15向左移动且带动最左侧的滑动套4一并向左移动后，其余的滑动套4也将一并向左移动，且活动夹板7便远离固定夹板8，使用者即可取用工件。
[0025]最后应说明的是：以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种立式光刻设备，包括主架(1)，其特征在于：所述主架(1)内壁底部固定有空心台面(2)，且所述空心台面(2)内壁卡接固定有长条(3)，所述长条(3)外部均匀套接有若干个滑动套(4)，每两个所述滑动套(4)之间均固定连接有位于长条(3)前方的连接杆(5)，所述滑动套(4)顶部均固定有滑杆(6)，且所述滑杆(6)末端均固定有活动夹板(7)，所述空心台面(2)顶部贯通有滑槽(9)，其所述滑槽(9)上方设置有若干块均匀分布且与空心台面(2)固定的固定夹板(8)，所述长条(3)左端固定有空心条(10)，且所述空心条(10)内部左右两侧均设置有齿轮(11)，所述齿轮(11)中心均贯穿有与空心条(10)内壁固定的齿轮轴(12)，且两个齿轮(11)之间传动连接有链条(13)，所述链条(13)上方固定有抵条(14)，所述空心条(10)顶部贯通有活动槽(16)，且所述空心条(10)后方左侧安装有正反马达(18)，所述空心条(10)外...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘健，
申请(专利权)人：上海欧勋机电工程有限公司，
类型：新型
国别省市：