应用于制造晶圆载体摩擦柱的铸造模具制造技术

本实用新型专利技术提供了一种应用于制造晶圆载体摩擦柱的铸造模具，所述铸造模具包括支架模具和工作台模具；所述工作台模具设有工作台腔体，所述工作台腔体用于铸造所述摩擦柱的工作台，放置晶圆的工作台在工作台腔体中一体化成型，保证了制成的所述工作台的工作端面完全光滑，没有毛边，保证了晶圆生产的质量；所述支架模具设有凹槽部，所述支架模具设有至少2个，且所述支架模具之间两两相接使所述凹槽部相通构成支架腔体，所述支架腔体用于铸造所述摩擦柱的支架；所述工作台模具和所述支架模具相接使所述支架腔体与所述工作台腔体相通以铸造所述摩擦柱，使得在所述支架腔体和所述工作台腔体中填充铸模材料和脱膜都方便简单，铸造所述摩擦柱简单方便。述摩擦柱简单方便。述摩擦柱简单方便。

【技术实现步骤摘要】
应用于制造晶圆载体摩擦柱的铸造模具


[0001]本技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种应用于制造晶圆载体摩擦柱的铸造模具。

技术介绍

[0002]许多半导体器件都是通过在衬底上外延生长半导体材料而形成的。所述衬底，通常就是圆盘形式的晶体材料，通常称为“晶圆”。在通常的化学气相沉积过程中，许多晶圆被保持在通常称作晶圆载体的器件上，进行各种反应或移动。具体地，晶圆载体通常具有一个较大的盘面，盘面上放置若干个摩擦柱，晶圆就放置于所述摩擦柱顶部的工作端面上。在进行化学气相沉积时，晶圆载体摩擦柱连同上面的晶圆被放置在反应室中，并在气体混合物流过晶圆表面的同时，保持晶圆表面处于期望的反应温度以进行反应。而在反应过程中保持晶圆载体摩擦柱上各个晶圆的顶面上的所有点都处于一致情况是非常重要的，反应气体组分及晶圆表面温度的微小变化都将导致产生的半导体器件性能达不到期望值。故而，与晶圆直接接触的摩擦柱的顶部的工作端面的光滑度就非常重要。
[0003]图1为晶圆载体摩擦柱的结构示意图；如图1所示，摩擦柱大多类似柱形结构，一般包括工作台100和支架200，所述工作台100的工作端面101放置晶圆300，一些摩擦柱通常上下膨大、中间收缩，轴剖面呈工字形，即所述支架200包括连接杆201和底座202，所述连接杆201连接所述底座202和工作台100，轴剖面呈工字形结构。
[0004]图2为现有技术中制造晶圆载体摩擦柱的模具的结构示意图；目前技术中，摩擦柱都是由模具浇铸产生的。但是，在现有技术中，用于产生摩擦柱的模具，因为要适应摩擦柱的工字形轴剖面结构，在脱模时，为方便取出固化成型的摩擦柱，故如图2所示，所述模具通常采用至少左右两个子模具，所述子模具相互贴合的端面向内凹陷形成工字形剖面的半柱体形空腔，左右两个所述子模具相互贴合后，两个半柱体形空腔正好相互配合并形成铸造摩擦柱的腔室。在生产时，左右两个所述子模具的半柱体形空腔中填入铸模材料，所述子模具相互贴合固定，待铸模材料固化后，即可形成摩擦柱。并且在现有技术中，考虑到脱模方便，模具还大多分为四个部分，即左右两个子模具各自还分成上下两个子模具，形成为两个顶部模具和两个支架模具，再相互贴合拼接而成。脱模后产生的摩擦柱，在两片模具的结合处，会形成毛边，而位于顶部工作台的工作端面上的毛边，会严重影响工作面的光滑度，进而对晶圆生产造成不利影响。相应地，就需要增加至少一道打磨工序，而且是精细打磨，以保证工作端面的光滑度。考虑到摩擦柱的生产数量，生产投入成本将大大增加，而且生产效率低。
[0005]因此，有必要设计一种应用于制造晶圆载体摩擦柱的铸造模具以避免现有技术中存在的上述问题。

技术实现思路

[0006]本技术的目的在于提供一种应用于制造晶圆载体摩擦柱的铸造模具，以克服
现有模具所铸造的摩擦柱的工作台面上具有毛边、需要打磨的缺陷。
[0007]为实现上述目的，本技术公开了一种应用于制造晶圆载体摩擦柱的铸造模具，所述铸造模具包括支架模具和工作台模具；所述工作台模具设有工作台腔体，所述工作台腔体用于铸造所述摩擦柱的工作台；所述支架模具设有凹槽部，所述支架模具设有至少2个，且所述支架模具之间两两相接使所述凹槽部相通构成支架腔体，所述支架腔体用于铸造所述摩擦柱的支架；所述工作台模具和所述支架模具相接使所述支架腔体与所述工作台腔体相通以铸造所述摩擦柱。
[0008]本技术的应用于制造晶圆载体摩擦柱的铸造模具的有益效果在于：所述工作台模具设有工作台腔体，所述工作台腔体用于铸造所述摩擦柱的工作台，即通过所述工作台模具将摩擦柱上用于放置晶圆的工作台在所述工作台腔体中一体化成型，保证了固化后生成的所述工作台的工作端面完全光滑，没有毛边，使得晶圆放置于所述工作端面上反应时受力或受热均匀，保证了晶圆生产的质量，避免了现有技术中因为用于制作所述工作台的模具是分开为两片子模具组合的，导致生成的工作台的工作端面上具有毛边，严重影响工作端面的光滑度，从而导致晶圆可能因为放置在毛边上，而造成受力不稳或受热不均匀，影响晶圆生产质量的问题，而且所述支架模具设有凹槽部，所述支架模具设有至少2个，且所述支架模具之间两两相接使所述凹槽部相通构成支架腔体，所述支架腔体用于铸造所述摩擦柱的支架，所述工作台模具和所述支架模具相接使所述支架腔体与所述工作台腔体相通以铸造所述摩擦柱，使得在所述支架腔体和所述工作台腔体中填充铸模材料和脱膜都方便简单，铸造所述摩擦柱简单方便。
[0009]优选地，所述工作台模具朝向所述支架模具的支架模具贴合端面向内凹陷形成所述工作台腔体。其有益效果在于：方便在所述工作台腔体中填充铸模材料以铸造形成所述工作台，且保证了工作台一体化成型，保证了固化后生成的所述工作台的工作端面完全光滑，没有毛边，当晶圆放置于所述工作端面上时，受力或受热均匀，保证了晶圆生产的质量。
[0010]优选地，所述支架模具包括朝向所述工作台模具的工作台模具贴合端面和至少一个朝向相接的所述支架模具的支架贴合端面，所述工作台模具贴合端面向内凹陷形成所述凹槽部，且所述凹槽部在所述支架贴合端面开设有开口部。其有益效果在于：所述凹槽部在所述支架贴合端面开设有开口部，使得所有的所述支架模具相接时相应的所述凹槽部能相通构成的所述支架腔体，所述工作台模具贴合端面向内凹陷形成所述凹槽部，使得所述支架腔体与所述工作台腔体相通以铸造所述摩擦柱。
[0011]优选地，一个所述支架模具的所述支架贴合端面与另一个所述支架模具的所述支架贴合端面相贴合以使所述凹槽部相通形成所述支架腔体。其有益效果在于：使得在所述支架腔体中填充铸模材料和脱膜简单方便。
[0012]优选地，所述工作台模具贴合端面与所述支架模具贴合端面相贴合以实现所述工作台模具和所述支架模具相接。其有益效果在于：使得所述工作台模具和所述支架模具相接简单方便，容易操作。
[0013]优选地，所述工作台模具贴合端面设置有第一台部和第二台部，所述第一台部高于所述第二台部，所述第一台部收容于所述工作台腔体，且所述第二台部的表面与所述支架模具贴合端面相贴合以实现所述工作台模具和所述支架模具相接。其有益效果在于：使得铸造的所述摩擦柱的支架和工作台连接更牢固，保证了所制造的摩擦柱的质量。
[0014]优选地，所述工作台腔体的内侧壁垂直于所述支架模具贴合端面。其有益效果在于：方便脱模生成具有光滑外表面的的工作台。
[0015]优选地，所述凹槽部包括相连通的底座凹槽部和连接杆凹槽部。其有益效果在于：使得铸造成的所述摩擦柱支撑稳定性更高。
[0016]优选地，所述支架模具和所述工作台模具的外表面均设有定位结构。其有益效果在于：在各模具间连接固定时方便定位，避免组装错误，保证各模具充满铸模材料后，各模具间连接固定可以一次到位，并且在固化成型时，摩擦柱不会变形。
[0017]优选地，所述支架模具和所述工作台模具均设有锁定结构。其有益效果在于：各模具间连接固定后实现锁定，使得在等待所述摩擦柱固化时，可以避免因为外力或者铸模材料固化本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种应用于制造晶圆载体摩擦柱的铸造模具，其特征在于，所述铸造模具包括支架模具和工作台模具；所述工作台模具设有工作台腔体，所述工作台腔体用于铸造所述摩擦柱的工作台；所述支架模具设有凹槽部，所述支架模具设有至少2个，且所述支架模具之间两两相接使所述凹槽部相通构成支架腔体，所述支架腔体用于铸造所述摩擦柱的支架；所述工作台模具和所述支架模具相接使所述支架腔体与所述工作台腔体相通以铸造所述摩擦柱。2.根据权利要求1所述的应用于制造晶圆载体摩擦柱的铸造模具，其特征在于，所述工作台模具朝向所述支架模具的支架模具贴合端面向内凹陷形成所述工作台腔体。3.根据权利要求2所述的应用于制造晶圆载体摩擦柱的铸造模具，其特征在于，所述支架模具包括朝向所述工作台模具的工作台模具贴合端面和至少一个朝向相接的所述支架模具的支架贴合端面，所述工作台模具贴合端面向内凹陷形成所述凹槽部，且所述凹槽部在所述支架贴合端面开设有开口部。4.根据权利要求3所述的应用于制造晶圆载体摩擦柱的铸造模具，其特征在于，一个所述支架模具的所述支架贴合端面与另一个所述支架模具的所述支架贴合端面相贴合以使所...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙虎，
申请(专利权)人：上海诺硕电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：