一种防损坏硅片治具制造技术

本实用新型专利技术提供一种防损坏硅片治具，涉及硅片领域。该防损坏硅片治具，包括底座，所述底座的上表面固定连接有固定柱，所述固定柱的顶端固定连接有托盘，所述托盘的下表面开设有与托盘内部相连通的通孔，所述托盘的下表面并对应通孔的位置固定连接有固定盒，所述固定盒的底部开设有与固定盒内部相连通的连通孔，所述固定盒的底部固定连接有连接环。该防损坏硅片治具，通过硅胶管、连接环、通孔、固定盒、连通孔、出气孔、合页、活动板和密封塞的相互配合，达到利用负压吸附方式对于硅片进行定位，避免传统硬性定位对硅片所带来的损伤出现，解决了现有的硅片治具采用硬性定位，使得硅片边缘容易产生损坏的问题。易产生损坏的问题。易产生损坏的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种防损坏硅片治具


[0001]本技术涉及硅片
，具体为一种防损坏硅片治具。

技术介绍

[0002]硅片是在硅棒的基础上进行切片产生的，在米粒大的硅片上，已能集成16万个晶体管，这是科学技术进步的又一个里程碑，地壳中含量达25.8％的硅元素，为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉。由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一，对太阳能电池这样注定要进入大规模市场的产品而言，储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一，硅片在加工过程中需要治具进行定位，避免出现位移，而现有的硅片治具采用硬性定位，使得硅片边缘容易产生损坏。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种防损坏硅片治具，解决了现有的硅片治具采用硬性定位，使得硅片边缘容易产生损坏的问题。
[0004]技术方案
[0005]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种防损坏硅片治具，包括底座，所述底座的上表面固定连接有固定柱，所述固定柱的顶端固定连接有托盘，所述托盘的下表面开设有与托盘内部相连通的通孔，所述托盘的下表面并对应通孔的位置固定连接有固定盒，所述固定盒的底部开设有与固定盒内部相连通的连通孔，所述固定盒的底部固定连接有连接环，所述连接环的下表面固定连接有硅胶管，所述固定盒的右侧开设有与固定盒内部相连通的出气孔，所述固定盒的右侧固定连接有合页，所述合页的底部固定连接有活动板。
[0006]进一步的，所述托盘的内壁固定连接有橡胶圈，所述橡胶圈一共有七个，七个橡胶圈直径不等。
[0007]进一步的，所述活动板的左侧固定连接有密封塞，所述密封塞的表面与出气孔的内部卡接。
[0008]进一步的，所述底座的上表面开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有滑块。
[0009]进一步的，所述滑块的上表面固定连接有挤压板，所述挤压板的右侧与硅胶管的左侧搭接。
[0010]进一步的，所述挤压板的左侧固定连接有把手。
[0011]本技术提供了一种防损坏硅片治具。具备以下有益效果：
[0012]1、该防损坏硅片治具，通过硅胶管、连接环、通孔、固定盒、连通孔、出气孔、合页、活动板和密封塞的相互配合，达到利用负压吸附方式对于硅片进行定位，避免传统硬性定位对硅片所带来的损伤出现，解决了现有的硅片治具采用硬性定位，使得硅片边缘容易产生损坏的问题。
[0013]2、该防损坏硅片治具，通过滑槽、滑块和挤压板的配合，达到便于将硅胶管内部的
空气快速挤出，增加负压吸附效果，通过橡胶圈的设置，可以根据橡胶圈与硅片外圈的距离进行硅片位置确定，方便知晓硅片放置是否处于托盘正中，另外橡胶圈还可以保护硅片下表面，避免出现磨损。
附图说明
[0014]图1为本技术结构示意图；
[0015]图2为本技术图1中A处局部结构放大图；
[0016]图3为本技术图1中托盘和橡胶圈结构示意图。
[0017]其中，1底座、2固定柱、3托盘、4通孔、5固定盒、6连通孔、7连接环、8挤压板、9把手、10滑槽、11滑块、12硅胶管、13橡胶圈、14出气孔、15密封塞、16活动板、17合页。
具体实施方式
[0018]如图1
‑
3所示，本技术实施例提供一种防损坏硅片治具，包括底座1，底座1的上表面开设有滑槽10，滑槽10的内部滑动连接有滑块11，底座1的上表面固定连接有固定柱2，固定柱2的顶端固定连接有托盘3，托盘3的内壁固定连接有橡胶圈13，橡胶圈13一共有七个，七个橡胶圈13直径不等，托盘3的下表面开设有与托盘3内部相连通的通孔4，托盘3的下表面并对应通孔4的位置固定连接有固定盒5，固定盒5的底部开设有与固定盒5内部相连通的连通孔6，固定盒5的底部固定连接有连接环7，连接环7的下表面固定连接有硅胶管12，滑块11的上表面固定连接有挤压板8，挤压板8的右侧与硅胶管12的左侧搭接，挤压板8的左侧固定连接有把手9，固定盒5的右侧开设有与固定盒5内部相连通的出气孔14，活动板16的左侧固定连接有密封塞15，密封塞15的表面与出气孔14的内部卡接，固定盒5的右侧固定连接有合页17，合页17的底部固定连接有活动板16。
[0019]工作原理：将圆形硅片放置在托盘3的内部，然后根据不同大小的橡胶圈13进行硅片位置确定，当硅片的外圈边缘正好处于其中一个橡胶圈13内部，且硅片外圈边缘与当前橡胶圈13的边缘距离基本相等即可，此时硅片处于托盘3的正中间，然后将硅片向下轻压，并抓住两个把手9相对快速推动，使得两个挤压板8对于硅胶管12进行挤压，硅胶管12内部的空气会经过连通孔6进入固定盒5的内部，固定盒5的空间有限，固定盒5内部的气压会加大，随后空气会将活动板16推开，并使得密封塞15从出气孔14内部脱离，最终空气会经过出气孔14排出，当空气基本排空后，密封塞15和活动板16会向回复位，然后用手按压一下，使得密封塞15牢牢卡入出气孔14内部，此时固定盒5内部处于负压状态，对于托盘3内部的硅片下表面会进行吸附固定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防损坏硅片治具，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的上表面固定连接有固定柱(2)，所述固定柱(2)的顶端固定连接有托盘(3)，所述托盘(3)的下表面开设有与托盘(3)内部相连通的通孔(4)，所述托盘(3)的下表面并对应通孔(4)的位置固定连接有固定盒(5)，所述固定盒(5)的底部开设有与固定盒(5)内部相连通的连通孔(6)，所述固定盒(5)的底部固定连接有连接环(7)，所述连接环(7)的下表面固定连接有硅胶管(12)，所述固定盒(5)的右侧开设有与固定盒(5)内部相连通的出气孔(14)，所述固定盒(5)的右侧固定连接有合页(17)，所述合页(17)的底部固定连接有活动板(16)。2.根据权利要求1所述的一种防损坏硅片治具，其特征在于：所述托盘...

【专利技术属性】
技术研发人员：祝凯，
申请(专利权)人：开化晶芯电子有限公司，
类型：新型
国别省市：