绑头固晶装置及固晶机制造方法及图纸

本申请提供了一种绑头固晶装置及固晶机；绑头固晶装置包括两套固晶绑头、驱动两套固晶绑头分别升降的固晶升降模块、驱动两套固晶绑头纵向移动的固晶纵移模块、驱动固晶纵移模块横向移动的固晶横移模块和支撑固晶横移模块的固晶支座。本申请通过设置两套固晶绑头，通过固晶升降模块驱动固晶绑头升降，而固晶纵移模块驱动两套固晶绑头纵向移动，两套固晶绑头分别通过升降模块驱动，从而也可以分别取放固晶，以提升固晶效率，并外，两套固晶绑头可以实现晶片的取放接力，以缩短每个固晶绑头的移动距离，提升效率，保证固晶精度；另外，使用固晶横移模块驱动固晶纵移模块横向移动，进而可以带动两套固晶绑头横向移动，以进一步提升效率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
绑头固晶装置及固晶机


[0001]本申请属于半导体固晶
，更具体地说，是涉及一种绑头固晶装置及固晶机。

技术介绍

[0002]固晶一般是使用点胶机对支架上安装晶片的位置进行点胶。然后移送到固晶位，固晶绑头从扩膜供晶机构上吸取晶片，再放置到支架上，以实现固晶。当前固晶装置一般是使用多个线性模块组成三轴移动平台，以驱动一个固晶绑头升降、横移、纵移，再升降，以取放晶片，然后复位。在每次效率较低，特别是晶片移动距离较长时，还需要控制好固晶绑头的移动速度，会导致固晶效率再次下降。

技术实现思路

[0003]本申请实施例的目的在于提供一种绑头固晶装置及固晶机，以解决现有技术中存在的固晶绑头使用三轴移动平台驱动，特别是移动距离较长时，效率低的问题。
[0004]为实现上述目的，本申请实施例采用的技术方案是：提供一种绑头固晶装置，包括两套固晶绑头、驱动两套所述固晶绑头分别升降的固晶升降模块、驱动两套所述固晶绑头纵向移动的固晶纵移模块、驱动所述固晶纵移模块横向移动的固晶横移模块和支撑所述固晶横移模块的固晶支座，所述固晶纵移模块滑动安装于本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种绑头固晶装置，其特征在于，包括两套固晶绑头(12)、驱动两套所述固晶绑头(12)分别升降的固晶升降模块(13)、驱动两套所述固晶绑头(12)纵向移动的固晶纵移模块(14)、驱动所述固晶纵移模块(14)横向移动的固晶横移模块(15)和支撑所述固晶横移模块(15)的固晶支座(11)，所述固晶纵移模块(14)滑动安装于所述固晶支座(11)上，所述固晶升降模块(13)安装于所述固晶纵移模块(14)上，各所述固晶绑头(12)支撑于所述固晶纵移模块(14)上。2.如权利要求1所述的绑头固晶装置，其特征在于：所述固晶升降模块(13)包括分别与各套所述固晶绑头(12)相连的固晶动子(131)、分别支撑各所述固晶绑头(12)的滑板(133)和驱动各所述固晶动子(131)升降的固晶直线定子(132)，各所述固晶动子(131)安装于所述固晶直线定子(132)中，两套所述固晶绑头(12)分别沿竖直方向滑动安装于两个所述滑板(133)上，所述固晶纵移模块(14)用于分别驱动两个所述固晶动子(131)于所述固晶直线定子(132)中纵向移动，各所述滑板(133)分别与所述固晶纵移模块(14)相连。3.如权利要求2所述的绑头固晶装置，其特征在于：所述固晶纵移模块(14)包括分别驱动两个所述滑板(133)纵向移动的两个直线驱动模块，两个所述滑板(133)分别与两个所述直线驱动模块相连。4.如权利要求3所述的绑头固晶装置，其特征在于：两个所述直线驱动模块分别为用于驱动一个所述滑板(133)纵向移动的纵移直线电机(141)和用于驱动另一个所述滑板(133)纵向移动的丝杆传送模组(142)，所述纵移...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡新平，梁志宏，
申请(专利权)人：深圳新益昌科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：