绑头固晶装置及固晶机制造方法及图纸

技术编号:31130807 阅读:14 留言:0更新日期:2021-12-01 20:24
本申请提供了一种绑头固晶装置及固晶机;绑头固晶装置包括两套固晶绑头、驱动两套固晶绑头分别升降的固晶升降模块、驱动两套固晶绑头纵向移动的固晶纵移模块、驱动固晶纵移模块横向移动的固晶横移模块和支撑固晶横移模块的固晶支座。本申请通过设置两套固晶绑头,通过固晶升降模块驱动固晶绑头升降,而固晶纵移模块驱动两套固晶绑头纵向移动,两套固晶绑头分别通过升降模块驱动,从而也可以分别取放固晶,以提升固晶效率,并外,两套固晶绑头可以实现晶片的取放接力,以缩短每个固晶绑头的移动距离,提升效率,保证固晶精度;另外,使用固晶横移模块驱动固晶纵移模块横向移动,进而可以带动两套固晶绑头横向移动,以进一步提升效率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
绑头固晶装置及固晶机


[0001]本申请属于半导体固晶
,更具体地说,是涉及一种绑头固晶装置及固晶机。

技术介绍

[0002]固晶一般是使用点胶机对支架上安装晶片的位置进行点胶。然后移送到固晶位,固晶绑头从扩膜供晶机构上吸取晶片,再放置到支架上,以实现固晶。当前固晶装置一般是使用多个线性模块组成三轴移动平台,以驱动一个固晶绑头升降、横移、纵移,再升降,以取放晶片,然后复位。在每次效率较低,特别是晶片移动距离较长时,还需要控制好固晶绑头的移动速度,会导致固晶效率再次下降。

技术实现思路

[0003]本申请实施例的目的在于提供一种绑头固晶装置及固晶机,以解决现有技术中存在的固晶绑头使用三轴移动平台驱动,特别是移动距离较长时,效率低的问题。
[0004]为实现上述目的,本申请实施例采用的技术方案是:提供一种绑头固晶装置,包括两套固晶绑头、驱动两套所述固晶绑头分别升降的固晶升降模块、驱动两套所述固晶绑头纵向移动的固晶纵移模块、驱动所述固晶纵移模块横向移动的固晶横移模块和支撑所述固晶横移模块的固晶支座,所述固晶纵移模块滑动安装于所述固晶支座上,所述固晶升降模块安装于所述固晶纵移模块上,各所述固晶绑头支撑于所述固晶纵移模块上。
[0005]在一个可选实施例中,所述固晶升降模块包括分别与各套所述固晶绑头相连的固晶动子、分别支撑各所述固晶绑头的滑板和驱动各所述固晶动子升降的固晶直线定子,各所述固晶动子安装于所述固晶直线定子中,两套所述固晶绑头分别沿竖直方向滑动安装于两个所述滑板上,所述固晶纵移模块用于分别驱动两个所述固晶动子于所述固晶直线定子中纵向移动,各所述滑板分别与所述固晶纵移模块相连。
[0006]在一个可选实施例中,所述固晶纵移模块包括分别驱动两个所述滑板纵向移动的两个直线驱动模块,两个所述滑板分别与两个所述直线驱动模块相连。
[0007]在一个可选实施例中,两个所述直线驱动模块分别为用于驱动一个所述滑板纵向移动的纵移直线电机和用于驱动另一个所述滑板纵向移动的丝杆传送模组,所述纵移直线电机和所述丝杆传送模组滑动支撑于所述固晶支座上,所述纵移直线电机和所述丝杆传送模组分别与所述固晶横移模块相连。
[0008]在一个可选实施例中,所述固晶纵移模块包括分别与两个所述滑板相连的两个直线动子和驱动两个所述直线动子纵向移动的纵向直线定子,所述纵向直线定子与所述固晶横移模块相连。
[0009]在一个可选实施例中,所述绑头固晶装置还包括用于对所述固晶纵移模块的运动方向起缓冲作用的对冲组件,所述对冲组件与所述固晶纵移模块分别设于所述固晶支座的相对两侧。
[0010]在一个可选实施例中,所述固晶绑头包括吸嘴组件、支撑所述吸嘴组件的支撑座、驱动所述支撑座升降的升降驱动器、与所述固晶升降模块相连的绑头座和连接所述支撑座与所述绑头座的弹片,所述升降驱动器安装于所述绑头座上。
[0011]在一个可选实施例中,所述升降驱动器为音圈电机。
[0012]在一个可选实施例中,所述支撑座的上下两端分别通过所述弹片与所述绑头座相连。
[0013]本申请实施例的另一目的在于提供一种固晶机,包括如上任一实施例所述的绑头固晶装置。
[0014]本申请实施例提供的绑头固晶装置及固晶机的有益效果在于:与现有技术相比,本申请,通过设置两套固晶绑头,通过固晶升降模块驱动固晶绑头升降,而固晶纵移模块驱动两套固晶绑头纵向移动,两套固晶绑头分别通过升降模块驱动,从而也可以分别取放固晶,以提升固晶效率,并外,两套固晶绑头可以实现晶片的取放接力,以缩短每个固晶绑头的移动距离,提升效率,保证固晶精度;另外,使用固晶横移模块驱动固晶纵移模块横向移动,进而可以带动两套固晶绑头横向移动,以进一步提升效率。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案,下面将对实施例或示范性技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]图1为本申请实施例提供的绑头固晶装置的结构示意图一;
[0017]图2为本申请实施例提供的绑头固晶装置的结构示意图二;
[0018]图3为本申请实施例提供的绑头固晶装置的结构示意图三;
[0019]图4为本申请实施例提供的固晶绑头的结构示意图。
[0020]其中,图中各附图主要标记:
[0021]100

绑头固晶装置;
[0022]11

固晶支座;12

固晶绑头;121

吸嘴组件;122

支撑座;123

升降驱动器;124

绑头座;125

弹片;13

固晶升降模块;131

固晶动子;132

固晶直线定子;133

滑板;14

固晶纵移模块;141

纵移直线电机;142

丝杆传送模组;15

固晶横移模块;16

对冲组件。
具体实施方式
[0023]为了使本申请所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本申请进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请,并不用于限定本申请。
[0024]需要说明的是,当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件,它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件,它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。
[0025]此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者
隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。“若干”的含义是一个或一个以上,除非另有明确具体的限定。
[0026]在本申请的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本申请和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本申请的限制。
[0027]在本申请的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种绑头固晶装置,其特征在于,包括两套固晶绑头(12)、驱动两套所述固晶绑头(12)分别升降的固晶升降模块(13)、驱动两套所述固晶绑头(12)纵向移动的固晶纵移模块(14)、驱动所述固晶纵移模块(14)横向移动的固晶横移模块(15)和支撑所述固晶横移模块(15)的固晶支座(11),所述固晶纵移模块(14)滑动安装于所述固晶支座(11)上,所述固晶升降模块(13)安装于所述固晶纵移模块(14)上,各所述固晶绑头(12)支撑于所述固晶纵移模块(14)上。2.如权利要求1所述的绑头固晶装置,其特征在于:所述固晶升降模块(13)包括分别与各套所述固晶绑头(12)相连的固晶动子(131)、分别支撑各所述固晶绑头(12)的滑板(133)和驱动各所述固晶动子(131)升降的固晶直线定子(132),各所述固晶动子(131)安装于所述固晶直线定子(132)中,两套所述固晶绑头(12)分别沿竖直方向滑动安装于两个所述滑板(133)上,所述固晶纵移模块(14)用于分别驱动两个所述固晶动子(131)于所述固晶直线定子(132)中纵向移动,各所述滑板(133)分别与所述固晶纵移模块(14)相连。3.如权利要求2所述的绑头固晶装置,其特征在于:所述固晶纵移模块(14)包括分别驱动两个所述滑板(133)纵向移动的两个直线驱动模块,两个所述滑板(133)分别与两个所述直线驱动模块相连。4.如权利要求3所述的绑头固晶装置,其特征在于:两个所述直线驱动模块分别为用于驱动一个所述滑板(133)纵向移动的纵移直线电机(141)和用于驱动另一个所述滑板(133)纵向移动的丝杆传送模组(142),所述纵移...

【专利技术属性】
技术研发人员:胡新平梁志宏
申请(专利权)人:深圳新益昌科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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