新型低耗显影机制造技术

本实用新型专利技术提供了一种新型低耗显影机。该技术方案对显影机的容纳机构进行了集中改进。具体来看，本实用新型专利技术在不改变显影原理的前提下，将仓体设计为圆柱形结构，在仓体侧壁设置若干门体，可分别进料；仓体内部设置转盘机构，利用转盘上的多个托盘可同时承载多个晶圆，位于上方的电机可驱动支架在转盘上方旋转，从而将罩体定位至多个托盘上方，进而笼罩在晶圆外部。此外，本实用新型专利技术在仓体上增设了真空泵，可在显影过程中构建负压环境，以减少外部环境因素对显影工艺的影响。应用本实用新型专利技术，可显著提高显影工艺效率，并降低能耗水平，从而提高整体工艺水平。整体工艺水平。整体工艺水平。

【技术实现步骤摘要】
新型低耗显影机


[0001]本技术涉及晶圆制造
，具体涉及一种新型低耗显影机。

技术介绍

[0002]显影与蚀刻是晶圆制造的关键环节。该过程使用了对紫外光敏感的化学物质，即遇紫外光则变软。通过控制遮光物的位置可以得到芯片的外形。在硅晶片涂上光致抗蚀剂，使得其遇紫外光就会溶解。这时可以用上一份遮光物，使得紫外光直射的部分被溶解，这溶解部分接着可用溶剂将其冲走。这样剩下的部分就与遮光物的形状一样了，从而得到我们所需要的二氧化硅层。现有技术中，显影工艺是利用显影机完成的，常规显影机单次只能处理一块晶圆，整体效率较低，能耗较高，不利于提升工艺效率。

技术实现思路

[0003]本技术旨在针对现有技术的技术缺陷，提供一种新型低耗显影机，以解决常规显影机无法同时处理多个晶圆的技术问题。
[0004]为实现以上技术目的，本技术采用以下技术方案：
[0005]新型低耗显影机，包括仓体，支撑体，仓门，把手，顶盖，真空泵，电机，支架，罩体，转轴，转盘，托盘，其中，在仓体的底端固定连接有若干支撑体，在仓体的侧端设有若干仓门，在仓门本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.新型低耗显影机，其特征在于包括仓体(1)，支撑体(2)，仓门(3)，把手(4)，顶盖(5)，真空泵(6)，电机(7)，支架(8)，罩体(9)，转轴(10)，转盘(11)，托盘(12)，其中，在仓体(1)的底端固定连接有若干支撑体(2)，在仓体(1)的侧端设有若干仓门(3)，在仓门(3)上固定连接有把手(4)，在仓体(1)的顶端具有顶盖(5)，在顶盖(5)上设有真空泵(6)，在顶盖(5)上固定连接有电机(7)，电机(7)的主轴伸入至仓体(1)中并与支架(8)相连接，在支架(8)上固定连接有若干罩体(9)，在仓体(1)的内部设置有转轴(10)，在转轴(...

【专利技术属性】
技术研发人员：方廷宇，游礼仲，许忠信，王永震，唐守庄，
申请(专利权)人：山东强茂电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：