【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及涂覆设备，具体是一种晶圆生产用带有光刻胶回收功能的涂覆设备。
技术介绍
1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片。光刻技术用于在半导体晶圆上形成光敏层或光刻胶层并将其图案化。光刻工艺需要在半导体晶圆上涂敷一层光刻胶，曝光光刻胶层，然后显影曝光的光刻胶。光刻胶又称光致抗蚀剂，是一种液体，它通过超声波喷嘴飘落的方式结合到晶圆表面。在对晶圆进行生产时，需要使用涂覆机实现光刻胶的涂敷操作，涂覆机的移动滑台能够带动喷头进行位移，从而对晶圆进行涂覆操作。但是，在对喷头进行使用的过程中以及喷头使用完成后，部分液体粘附在喷头底端，液体积累较多时，容易发生滴落，造成工作台的污染；在完成一种光刻胶的涂敷后，还需将残留在喷头内的光刻胶完全排出，才能进行清洁或更换其他光刻胶的作业。为了防止喷头滴落液体以及方便将喷头及与其相连的管路中的光刻胶体排放干净，因此提供了一种晶圆生产用带有光刻胶回收功能的涂覆设备。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于：为了解决
技术介绍
中的问题，提供一种晶圆生产用带有光刻胶回收功能的涂覆设备。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种晶圆生产用带有光刻胶回收功能的涂覆设备，包括操作台，所述操作台的顶端安装有移动滑台，所述移动滑台上安装有活动座，所述活动座的底端设置有喷头，所述活动座通过所述移动滑台进行移动，所述喷头随着所述活动座进行移动，所述喷头底端的液体通过回收机构进行回收操作；
3、所述回收机构包括安装板，所述安装板固定连接于
4、作为本专利技术再进一步的方案：所述回收机构还包括有挡板，所述挡板滑动连接于所述收集框的内部并贯穿于所述出液口，所述挡板用于对所述出液口进行遮挡，所述挡板的顶端与所述收集框之间连接有第一弹簧，所述收集框的内部位于所述挡板的外壁转动连接有直齿轮，所述收集框的内部位于所述直齿轮的外壁滑动连接有下压杆，所述下压杆位移通过所述直齿轮带动所述挡板进行移动，所述连接座的内部滑动连接有延伸出所述连接座的位移杆，所述连接座远离所述位移杆的一端固定连接有插块，所述连接座外壁开设有延伸至所述插块外壁的导向槽，所述收集盒的外壁开设有插槽，所述插槽供所述插块插入，所述出液口排出的液体通过所述导向槽进入所述收集盒的内腔。
5、作为本专利技术再进一步的方案：所述连接机构包括连接槽，所述连接槽开设于所述连接座的外壁并位于所述插块的上方，所述连接槽的内壁开设有固定槽，所述收集盒的外壁位于所述插槽的上方固定连接有连接块，所述连接槽供所述连接块插入，所述连接块的内部滑动连接有延伸出所述连接块的固定块，所述固定块的顶端与所述连接块之间连接有第二弹簧，所述固定块受所述第二弹簧弹力作用位移进入所述固定槽，用于将所述连接块固定连接于所述连接槽内，所述连接块和所述收集盒的内部位于所述固定块的一侧滑动连接有推板，所述推板移动用于推动所述固定块进行移动。
6、作为本专利技术再进一步的方案：所述连接机构还包括有转动块，所述转动块转动连接于所述收集盒的顶端，所述转动块的底端固定连接有第一锥齿轮，所述收集盒的内部位于所述第一锥齿轮的外壁转动连接有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮的一端固定连接有丝杆，所述丝杆延伸进入所述推板的内部，所述转动块转动通过所述第一锥齿轮和所述第二锥齿轮带动所述丝杆进行转动，所述丝杆转动用于驱动所述推板进行移动，所述位移杆与所述连接座之间连接有第三弹簧，所述连接座的内部位于所述位移杆的底端滑动连接有挤压块，所述挤压块延伸进入所述连接槽的内腔。
7、作为本专利技术再进一步的方案：所述收集框的一端设置有第一弧形面，所述连接座的一端外壁设置有第二弧形面，所述第一弧形面与所述第二弧形面相匹配，所述插块的外壁与所述插槽的内壁相贴合。
8、作为本专利技术再进一步的方案：所述挡板和所述下压杆的外壁均设置有齿槽，所述直齿轮与所述齿槽相啮合，所述下压杆延伸出所述收集框的一端设置有半圆面。
9、作为本专利技术再进一步的方案：所述连接槽的内壁与所述连接块的外壁相贴合，所述固定块的外壁与所述固定槽的内壁相贴合。
10、作为本专利技术再进一步的方案：所述第一锥齿轮与所述第二锥齿轮相啮合，所述推板的外壁开设有螺纹孔，所述螺纹孔与所述丝杆相匹配，所述固定块的外壁设置有第一斜面，所述推板的一端与所述第一斜面相接触。
11、作为本专利技术再进一步的方案：所述位移杆的底端设置有第二斜面，所述挤压块的顶端与所述第二斜面相接触，所述挤压块延伸进入所述连接槽的一端设置有第三斜面。
12、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
13、通过设置回收机构和连接机构，喷头滴落或流出的液体能够进入收集框内进行收集；当对喷头进行使用时，电机运转带动收集框转动，位移杆与下压杆接触，带动挡板进行移动，对出液口进行打开操作，此时收集框内的液体通过出液口进入导向槽内，再通过导向槽排入收集盒内，便于对喷头滴落的液体进行收集，防止液体滴落至操作台上，同时在对收集盒进行拆除清理时，液体不会流入导向槽并通过导向槽流出，造成液体的滴落污染操作台。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种晶圆生产用带有光刻胶回收功能的涂覆设备，包括操作台（1），所述操作台（1）的顶端安装有移动滑台（2），所述移动滑台（2）上安装有活动座（3），所述活动座（3）的底端设置有喷头（4），所述活动座（3）通过所述移动滑台（2）进行移动，所述喷头（4）随着所述活动座（3）进行移动，其特征在于，所述喷头（4）底端的液体通过回收机构（5）进行回收操作；
2.根据权利要求1所述的一种晶圆生产用带有光刻胶回收功能的涂覆设备，其特征在于，所述回收机构（5）还包括有挡板（509），所述挡板（509）滑动连接于所述收集框（504）的内部并贯穿于所述出液口（508），所述挡板（509）用于对所述出液口（508）进行遮挡，所述挡板（509）的顶端与所述收集框（504）之间连接有第一弹簧（510），所述收集框（504）的内部位于所述挡板（509）的外壁转动连接有直齿轮（511），所述收集框（504）的内部位于所述直齿轮（511）的外壁滑动连接有下压杆（512），所述下压杆（512）位移通过所述直齿轮（511）带动所述挡板（509）进行移动，所述连接座（506）的内部滑动连接有延伸出所述连
3.根据权利要求2所述的一种晶圆生产用带有光刻胶回收功能的涂覆设备，其特征在于，所述连接机构（6）包括连接槽（601），所述连接槽（601）开设于所述连接座（506）的外壁并位于所述插块（514）的上方，所述连接槽（601）的内壁开设有固定槽（602），所述收集盒（507）的外壁位于所述插槽（516）的上方固定连接有连接块（603），所述连接槽（601）供所述连接块（603）插入，所述连接块（603）的内部滑动连接有延伸出所述连接块（603）的固定块（604），所述固定块（604）的顶端与所述连接块（603）之间连接有第二弹簧（605），所述固定块（604）受所述第二弹簧（605）弹力作用位移进入所述固定槽（602），用于将所述连接块（603）固定连接于所述连接槽（601）内，所述连接块（603）和所述收集盒（507）的内部位于所述固定块（604）的一侧滑动连接有推板（606），所述推板（606）移动用于推动所述固定块（604）进行移动。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆生产用带有光刻胶回收功能的涂覆设备，其特征在于，所述连接机构（6）还包括有转动块（607），所述转动块（607）转动连接于所述收集盒（507）的顶端，所述转动块（607）的底端固定连接有第一锥齿轮（608），所述收集盒（507）的内部位于所述第一锥齿轮（608）的外壁转动连接有第二锥齿轮（609），所述第二锥齿轮（609）的一端固定连接有丝杆（610），所述丝杆（610）延伸进入所述推板（606）的内部，所述转动块（607）转动通过所述第一锥齿轮（608）和所述第二锥齿轮（609）带动所述丝杆（610）进行转动，所述丝杆（610）转动用于驱动所述推板（606）进行移动，所述位移杆（513）与所述连接座（506）之间连接有第三弹簧（611），所述连接座（506）的内部位于所述位移杆（513）的底端滑动连接有挤压块（612），所述挤压块（612）延伸进入所述连接槽（601）的内腔。
5.根据权利要求2所述的一种晶圆生产用带有光刻胶回收功能的涂覆设备，其特征在于，所述收集框（504）的一端设置有第一弧形面，所述连接座（506）的一端外壁设置有第二弧形面，所述第一弧形面与所述第二弧形面相匹配，所述插块（514）的外壁与所述插槽（516）的内壁相贴合。
6.根据权利要求2所述的一种晶圆生产用带有光刻胶回收功能的涂覆设备，其特征在于，所述挡板（509）和所述下压杆（512）的外壁均设置有齿槽，所述直齿轮（511）与所述齿槽相啮合，所述下压杆（512）延伸出所述收集框（504）的一端设置有半圆面。
7.根据权利要求4所述的一种晶圆生产用带有光刻胶回收功能的涂覆设备，其特征在于，所述连接槽（601）的内壁与所述连接块（603）的外壁相贴合，所述固定块（604）的外壁与所述固定槽（602）的内壁相贴合。
8.根据权利要求4所述的一种晶圆生产用带有光刻胶回收功能的涂覆设备，其特征在于，所述第一锥齿轮（608）与所述第二锥齿轮（609）相啮合，所述推板（606）的外壁开...
【技术特征摘要】
1.一种晶圆生产用带有光刻胶回收功能的涂覆设备，包括操作台（1），所述操作台（1）的顶端安装有移动滑台（2），所述移动滑台（2）上安装有活动座（3），所述活动座（3）的底端设置有喷头（4），所述活动座（3）通过所述移动滑台（2）进行移动，所述喷头（4）随着所述活动座（3）进行移动，其特征在于，所述喷头（4）底端的液体通过回收机构（5）进行回收操作；
2.根据权利要求1所述的一种晶圆生产用带有光刻胶回收功能的涂覆设备，其特征在于，所述回收机构（5）还包括有挡板（509），所述挡板（509）滑动连接于所述收集框（504）的内部并贯穿于所述出液口（508），所述挡板（509）用于对所述出液口（508）进行遮挡，所述挡板（509）的顶端与所述收集框（504）之间连接有第一弹簧（510），所述收集框（504）的内部位于所述挡板（509）的外壁转动连接有直齿轮（511），所述收集框（504）的内部位于所述直齿轮（511）的外壁滑动连接有下压杆（512），所述下压杆（512）位移通过所述直齿轮（511）带动所述挡板（509）进行移动，所述连接座（506）的内部滑动连接有延伸出所述连接座（506）的位移杆（513），所述连接座（506）远离所述位移杆（513）的一端固定连接有插块（514），所述连接座（506）外壁开设有延伸至所述插块（514）外壁的导向槽（515），所述收集盒（507）的外壁开设有插槽（516），所述插槽（516）供所述插块（514）插入，所述出液口（508）排出的液体通过所述导向槽（515）进入所述收集盒（507）的内腔。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆生产用带有光刻胶回收功能的涂覆设备，其特征在于，所述连接机构（6）包括连接槽（601），所述连接槽（601）开设于所述连接座（506）的外壁并位于所述插块（514）的上方，所述连接槽（601）的内壁开设有固定槽（602），所述收集盒（507）的外壁位于所述插槽（516）的上方固定连接有连接块（603），所述连接槽（601）供所述连接块（603）插入，所述连接块（603）的内部滑动连接有延伸出所述连接块（603）的固定块（604），所述固定块（604）的顶端与所述连接块（603）之间连接有第二弹簧（605），所述固定块（604）受所述第二弹簧（605）弹力作用位移进入所述固定槽（602），用于将所述连接块（603）固定连接于所述连接槽（601）内，所述连接块（603）和所述收集盒（507）的内部位于所述固定块（604）的一侧滑动连接有推板（606），所述推板（606）移动用于推动...
【专利技术属性】
技术研发人员：方廷宇，许忠信，
申请(专利权)人：山东强茂电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。