一种使用方便的显影单元检修机构制造技术

本实用新型专利技术涉及显影单元领域，具体为一种使用方便的显影单元检修机构，包括基座、第一安装板、第二安装板以及顶架，所述基座为矩形基座，所述第一安装板安装在基座的顶部，所述第二安装板安装在基座的底部，通过第一安装板以及第二安装板两侧的滑块与基座上的滑槽连接，方便在对安装在二安装板上显影单元检修时将第二安装板向外拉出，使检修更加方便，通过安装在第一安装板上的风机方便对显影单元进行通风散热，提高显影单元的使用效率，并通过挡板对风机进行防尘处理，以及支架对显影单元进行防尘处理，挡板上的散热口通过防尘网达到在通风散热的同时进行防尘。在通风散热的同时进行防尘。在通风散热的同时进行防尘。

【技术实现步骤摘要】
一种使用方便的显影单元检修机构


[0001]本技术涉及显影单元领域，具体为一种使用方便的显影单元检修机构。

技术介绍

[0002]目前，市场上相关半导体设备的涂胶、显影单元都是固定在机架上的，当单元发生故障需要维修或更换时，需要人工将整体单元从狭小的空间搬出进行维修，单元整体重量要超过30公斤，即笨重又不方便，容易造成部件的局部划伤，从而产生机械尘粒，不利于涂胶、显影工艺过程。
[0003]随着市场的需求相关设备需要更新换代，合理简单的结构不仅能够降低成本，节省时间，而且能够降低劳动强度，如今半导体设备已经发展到一定程度，半导体厂商对设备产能的要求仍是居高不下，那么，追求单元结构的精简化，节约设备维修时间也是很重要的。

技术实现思路

[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种方便检修，方便更换的一种使用方便的显影单元检修机构。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：本技术的一种使用方便的显影单元检修机构，包括基座、第一安本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种使用方便的显影单元检修机构，其特征在于，包括基座(1)、第一安装板(2)、第二安装板(3)以及顶架(8)，所述基座(1)为矩形基座，所述第一安装板(2)安装在基座(1)的顶部，所述第二安装板(3)安装在基座(1)的底部，所述第一安装板(2)以及第二安装板(3)的两端设有滑块(14)，且所述滑块(14)与基座(1)之间设有滑槽(4)连接，所述第一安装板(2)与第二安装板(3)之间设有安装槽，所述安装槽内设有风机(9)，且所述风机(9)安装在第一安装板(2)板上，所述第二安装板(3)上设有安装口(13)，所述安装口(13)位于第二安装板(3)的前侧以及后侧，且贯穿第二安装板(3)，所述顶架(8)安装在基座(1)的顶部，且位于第二安装板(3)的上方，所述顶架(8)与基座(1)之间设有支撑杆(5)连接，所述顶架(8)与第二安装板(3)之间设有单元槽，所述基座(1)的四边设有挡板(10)，且所述挡板(10)设有安装孔(11)，所述安装孔(11)内设有安装螺栓并与基座(1)连接，所述挡板(10)上设有散热口(12)，所述散热口(12)设有多个。2.根据权利要求1所述的一种使...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟兴进，
申请(专利权)人：广州市鸿浩光电半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：