本实用新型专利技术公开了一种机械手用末端执行机构、机械手与晶圆搬运设备，其中，末端执行机构包括支座、手指组件、第一丝杆以及驱动组件，手指组件包括并列设置的第一手指和第二手指，第一手指与第二手指均滑动连接于支座，第一手指与第二手指均用于晶圆的承载；第一丝杆转动连接支座，第一丝杆包括第一段和第二段，第一段与第二段均设置有螺纹，两个螺纹的螺旋方向相反，其中，第一手指螺纹连接于第一段，第二手指螺纹连接于第二段；驱动组件与第一丝杆相连接，用于驱动第一丝杆转动。通过采用上述方案，即保证了晶圆的输送效率，又保证了末端执行机构适用不同层间距的放置盒。构适用不同层间距的放置盒。构适用不同层间距的放置盒。
【技术实现步骤摘要】
机械手用末端执行机构、机械手与晶圆搬运装置
[0001]本技术涉及晶圆的
，尤其涉及一种机械手用末端执行机构、机械手与晶圆搬运装置。
技术介绍
[0002]半导体机械手是专用于半导体制造
晶圆加工及检测设备各工位之间传送搬运晶圆产品的特定装置，随着半导体制造技术的升级及产能增长，对半导体机械手传送搬运晶圆产品有了更高精度和更高效率以及更柔性化的高要求。
[0003]相关技术中，机械手末端执行器多为单指或多指固定式，其中，单指晶圆搬运机械手末端的执行器在晶圆传送过程中一次只能取放一张晶圆，大大降低了晶圆的输送效率；而多指固定式晶圆搬运机械手末端的执行器的结构中，多个手指间距相同，导致执行器无法适应不同层间距的放置盒。
技术实现思路
[0004]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种机械手用末端执行机构，能够高效地输送晶圆，并适应不同层间距的放置盒。
[0005]本技术还提出一种具有上述机械手用末端执行机构的机械手。
[0006]本技术还提出一种具有上述机械手的晶圆搬运设备。
[0007]根据本技术实施例的机械手用末端执行机构，包括：
[0008]支座；
[0009]手指组件，包括并列设置的第一手指和第二手指，所述第一手指与所述第二手指均滑动连接于所述支座，所述第一手指与所述第二手指用于晶圆的承载；
[0010]第一丝杆，转动连接所述支座，所述第一丝杆包括第一段和第二段，所述第一段与所述第二段均设置有螺纹，两个所述螺纹的螺旋方向相反，其中，所述第一手指螺纹连接于所述第一段，所述第二手指螺纹连接于所述第二段；
[0011]驱动组件，与所述第一丝杆相连接，用于驱动所述第一丝杆转动。
[0012]根据本技术实施例的机械手用末端执行机构，至少具有如下有益效果：末端执行机构使用时，第一手指与第二手指均能够承载一个晶圆，因此，末端执行机构能够同时承载两个晶圆，机械手能够同时进行两个晶圆的输送，晶圆的输送效率得到提高；同时，第一段的螺纹与第二段的螺纹螺旋方向相反，第一丝杆驱动第一手指与第二手指相向运动或彼此远离运动，从而调整第一手指与第二手指之间的间距，进而使该间距刚好适配相应放置盒的两个承载盘之间的间距，末端执行机构能够适应不同层间距的放置盒。
[0013]根据本技术的一些实施例，所述手指组件还包括用于承载晶圆的中部手指，所述中部手指固定连接于所述支座、并位于所述第一手指与所述第二手指之间，其中，两个所述螺纹的导程相同，以使所述中部手指分别与所述第一手指、所述第二手指的间距相同。
[0014]根据本技术的一些实施例，所述手指组件还包括第三手指和第四手指，所述
第三手指并列位于所述第一手指远离所述中部手指的一侧、并滑动连接于所述支座，所述第四手指并列位于所述第二手指远离所述中部手指的一侧、并滑动连接于所述支座；
[0015]所述末端执行机构还包括转动连接于所述支座、并与所述第一丝杆平行设置的第二丝杆，所述第三手指螺纹连接于所述第二丝杆的第一段，所述第四手指螺纹连接于所述第二丝杆的第二段，其中，所述驱动组件与所述第二丝杆相连接，用于驱动所述第二丝杆转动；其中，所述第三手指与所述第四手指分别是所述第一手指与所述第二手指的移动速度的两倍。
[0016]根据本技术的一些实施例，所述驱动组件包括两个第一驱动件，一个所述第一驱动件与所述第一丝杠相连接，用于驱动所述第一丝杆转动；另一个所述第一驱动件与所述第二丝杆相连接，用于驱动所述第二丝杆转动。
[0017]根据本技术的一些实施例，所述驱动组件包括第二驱动件和传动组件，所述传动组件连接于所述第二驱动件、所述第一丝杆机与所述第二丝杆之间，以使驱动件能够驱动所述第一丝杆与所述第二丝杆转动；其中，当所述第一丝杆与所述第二丝杆的导程一致时，所述传动组件使所述第二丝杆的转速是所述第一丝杆的转速的二倍；或，当所述第二丝杆的导程是所述第一丝杆导程的两倍时，所述传动组件使所述第二丝杆的转速是所述第一丝杆的转速一致。
[0018]根据本技术的一些实施例，所述传动组件包括第一传动轮、第二传动轮、第三传动轮与传动带，第一传动轮固定连接于所述第二驱动件的驱动轴，所述第二传动轮固定连接第一丝杆，所述第三传动轮固定连接于所述第二丝杆，所述第二传动轮的直径是所述第三传动轮的直径的二倍；所述传动带绕设于所述第一传动轮、所述第二传动轮以及所述第三传动轮；或，所述传动组件为齿轮组件，所述齿轮组件由若干个相互啮合的齿轮组成，其中，所述齿轮组件至少包括第一齿轮、第二齿轮以及第三齿轮，所述第一齿轮固定连接于所述第二驱动件的驱动轴，所述第二齿轮固定连接所述第一丝杆，所述第三齿轮固定连接于所述第二丝杆，所述第二齿轮的直径是所述第三齿轮的直径的二倍。
[0019]根据本技术的一些实施例，所述手指组件还包括第一滑动座、第二滑动座、第三滑动座、第四滑动座与固定座，所述第一滑动座与所述第二滑动座滑动连接于所述支座、并与所述第一丝杆螺纹连接，所述第一手指可拆卸连接于所述第一滑动座，所述第二手指可拆卸连接于所述第二滑动座；所述第三滑动座与所述第四滑动座滑动连接于所述支座、并与所述第二丝杆螺纹连接，所述第三手指可拆卸连接于所述第三滑动座，所述第四手指可拆卸连接于所述第四滑动座，所述固定座固定连接于所述支座，所述中部手指可拆卸连接所述固定座。
[0020]根据本技术的一些实施例，所述支座包括：下底板；上顶板：导向柱，固定连接于所述下底板与所述上顶板之间，所述第一手指与所述第二手指滑动连接于所述导向柱。
[0021]根据本技术实施例的机械手，包括上述的末端执行机构。
[0022]根据本技术实施例的机械手，至少具有如下有益效果：包括上述的末端执行机构，机械手采用上述末端执行机构，末端执行机构具有多个手指，由此，机械手能够同时输送多个晶圆，从而提高晶圆的输送效率；同时，多个手指的间距可调节，并保证任意相邻两个手指之间的间距相同，末端执行机构能够适应不同层间距的放置盒。
[0023]根据本技术实施例的晶圆搬运设备，包括上述的机械手。
[0024]根据本技术实施例的晶圆搬运设备，至少具有如下有益效果：晶圆搬运设备采用上述的机械手，机械手采用上述末端执行机构，末端执行机构具有多个手指，由此，机械手能够同时输送多个晶圆，从而提高晶圆的输送效率；同时，多个手指的间距可调节，并保证任意相邻两个手指之间的间距相同，末端执行机构能够适应不同层间距的放置盒。
[0025]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0026]下面结合附图和实施例对本技术做进一步的说明，其中：
[0027]图1为本技术实施例的手指组件、驱动组件的爆炸结构示意图；
[0028]图2为本技术实施例的传本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.机械手用末端执行机构，其特征在于，包括：支座；手指组件，包括并列设置的第一手指和第二手指，所述第一手指与所述第二手指均滑动连接于所述支座，所述第一手指与所述第二手指用于晶圆的承载；第一丝杆，转动连接所述支座，所述第一丝杆包括第一段和第二段，所述第一段与所述第二段均设置有螺纹，两个所述螺纹的螺旋方向相反，其中，所述第一手指螺纹连接于所述第一段，所述第二手指螺纹连接于所述第二段；驱动组件，与所述第一丝杆相连接，用于驱动所述第一丝杆转动。2.根据权利要求1所述的机械手用末端执行机构，其特征在于，所述手指组件还包括用于承载晶圆的中部手指，所述中部手指固定连接于所述支座、并位于所述第一手指与所述第二手指之间，其中，两个所述螺纹的导程相同，以使所述中部手指分别与所述第一手指、所述第二手指的间距相同。3.根据权利要求2所述的机械手用末端执行机构，其特征在于，所述手指组件还包括第三手指和第四手指，所述第三手指并列位于所述第一手指远离所述中部手指的一侧、并滑动连接于所述支座，所述第四手指并列位于所述第二手指远离所述中部手指的一侧、并滑动连接于所述支座；所述末端执行机构还包括转动连接于所述支座、并与所述第一丝杆平行设置的第二丝杆，所述第三手指螺纹连接于所述第二丝杆的第一段，所述第四手指螺纹连接于所述第二丝杆的第二段；所述驱动组件与所述第二丝杆相连接，用于驱动所述第二丝杆转动；其中，所述第三手指与所述第四手指分别是所述第一手指与所述第二手指的移动速度的两倍。4.根据权利要求3所述的机械手用末端执行机构，其特征在于，所述驱动组件包括两个第一驱动件，一个所述第一驱动件与所述第一丝杆相连接，用于驱动所述第一丝杆转动；另一个所述第一驱动件与所述第二丝杆相连接，用于驱动所述第二丝杆转动。5.根据权利要求3所述的机械手用末端执行机构，其特征在于，所述驱动组件包括第二驱动件和传动组件，所述传动组件连接于所述第二驱动件、所述第一丝杆与所述第二丝杆之间，以使驱动件能够驱动所述第一丝杆与所述第二丝杆转动；其中，...
【专利技术属性】
技术研发人员：叶晓通，黄晶，黄国辉，
申请(专利权)人：深圳众为兴技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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