一种半导体芯片生产设备的机械手传送设备制造技术

技术编号:31028982 阅读:42 留言:0更新日期:2021-11-30 05:21
本实用新型专利技术公开了一种半导体芯片生产设备的机械手传送设备,包括机械手臂,所述机械手臂内部设有腔体,所述腔体内部设有滑杆,所述腔体内固定有两块限位板,所述滑杆通过贯穿两块所述限位板在腔体内部上下滑动,所述机械手臂外壁固定有与滑杆外壁连接的伸缩机构,所述机械手臂顶部设有用于夹持芯片的夹持机构,所述夹持机构通过活动机构与滑杆活动连接,所述机械手臂下方设有凸形固定底座,所述机械手臂下端设有与凸形固定底座配合的凹口,所述机械手臂通过第二转轴与凸形固定底座活动连接。本实用新型专利技术结构合理,便于对不同长度的半导体芯片进行固定,芯片在固定的时候不易受损,且较传统机械手机动性更强。较传统机械手机动性更强。较传统机械手机动性更强。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体芯片生产设备的机械手传送设备


[0001]本技术涉及机械手
,尤其涉及一种半导体芯片生产设备的机械手传送设备。

技术介绍

[0002]半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用。如二极管就是采用半导体制作的器件。半导体是指一种导电性可受控制,范围可从绝缘体至导体之间的材料。无论从科技或是经济发展的角度来看,半导体的重要性都是非常巨大的。今日大部分的电子产品,如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关连。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等,而硅更是各种半导体材料中,在商业应用上最具有影响力的一种。
[0003]现有的半导体芯片生产设备的机械手传送装置在加工半导体芯片时不便于对不同长度的半导体芯片进行固定,且传送装置多为固定的无法进行左右移动。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种半导体芯片生产设备的机械手传送设备。
[0005]为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体芯片生产设备的机械手传送设备,包括机械手臂(1),其特征在于,所述机械手臂(1)内部设有腔体,所述腔体内部设有滑杆(10),所述腔体内固定有两块限位板(9),所述滑杆(10)通过贯穿两块所述限位板(9)在腔体内部上下滑动,所述机械手臂(1)外壁固定有与滑杆(10)外壁连接的伸缩机构,所述机械手臂(1)顶部设有用于夹持芯片的夹持机构,所述夹持机构通过活动机构与滑杆(10)活动连接,所述机械手臂(1)下方设有凸形固定底座(15),所述机械手臂(1)下端设有与凸形固定底座(15)配合的凹口,所述机械手臂(1)通过第二转轴(14)与凸形固定底座(15)活动连接,所述机械手臂(1)下方设有放置板(17),所述凸形固定底座(15)与放置板(17)固定连接,所述放置板(17)下方设有底盘(19),所述机械手臂(1)通过传动机构与放置板(17)连接。2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片生产设备的机械手传送设备,其特征在于,所述伸缩机构包括固定在机械手臂(1)外壁的第一气缸(7),所述第一气缸(7)伸缩端固定有与第一气缸(7)垂直的L型支臂(8),所述机械手臂(1)设有与墙体对应的条形口,所述L型支臂(8)末端穿过条形口并与滑杆(10)外壁固定连接。3.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员:占方耀
申请(专利权)人:深圳市永而佳电子有限公司
类型:新型
国别省市:

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