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一种半导体芯片生产设备的机械手传送设备制造技术
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下载一种半导体芯片生产设备的机械手传送设备的技术资料
文档序号:31028982
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本实用新型公开了一种半导体芯片生产设备的机械手传送设备,包括机械手臂,所述机械手臂内部设有腔体,所述腔体内部设有滑杆,所述腔体内固定有两块限位板,所述滑杆通过贯穿两块所述限位板在腔体内部上下滑动,所述机械手臂外壁固定有与滑杆外壁连接的伸缩机...
该专利属于深圳市永而佳电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市永而佳电子有限公司授权不得商用。
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