【技术实现步骤摘要】
旋转靶材脱脂装炉装置
[0001]本技术涉及一种靶材生产设备,具体涉及一种旋转靶材脱脂装炉装置。
技术介绍
[0002]旋转靶材素坯在压制完成后,需要经过脱脂炉,将旋转靶材素坯内的添加剂和油脂通过高温脱脂蒸发。现有技术中,一般是将旋转靶材素坯立式摆放在脱脂炉内进行脱脂,由于旋转靶材素坯呈圆筒状且材质易碎,脱脂开始到结束这段时间旋转靶材素坯的强度会急剧下降,而立式放置会使得旋转靶材素坯的重力全部作用于下端圆口,因此旋转靶材素坯在脱脂过程中容易开裂。另外,立式放置脱脂时,气氛在旋转靶材素坯内的流通受限,会存在内外部温度差较大或存在脱出的添加剂在其中形成饱和蒸气压,妨碍其余的添加剂的排除,造成后续烧结靶材出现开裂,同样的,旋转靶材素坯的长度越长,开裂可能性越大。
技术实现思路
[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本技术提出一种旋转靶材脱脂装炉装置,能降低旋转靶材在脱脂过程中开裂的风险。
[0004]根据本技术实施例的一种旋转靶材脱脂装炉装置,设置有弧形的支撑板,所述支撑板的内表面设 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种旋转靶材脱脂装炉装置,其特征在于:设置有弧形的支撑板,所述支撑板的内表面设有波浪形纹路,所述波浪形纹路的波峰与待脱脂的旋转靶材的外表面抵接。2.根据权利要求1所述的旋转靶材脱脂装炉装置,其特征在于:所述支撑板的两端设置有限位结构,所述限位结构能够防止所述旋转靶材脱离所述支撑板。3.根据权利要求2所述的旋转靶材脱脂装炉装置,其特征在于:所述限位结构设置有竖杆,所述竖杆靠近所述支撑板的一侧设有可沿所述旋转靶材的轴向伸缩的横杆,所述横杆伸出后能够伸入所述旋转靶材的内孔中。4.根据权利要求3所述的旋转靶材脱脂装炉装置,其特征在于:所述支撑板为优弧形板。5.根据权利要求4...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘永成,郭梓旋,莫国仁,谭宏,陈明飞,龙泷,陈明高,王志杰,江长久,
申请(专利权)人:长沙壹纳光电材料有限公司,
类型:新型
国别省市:
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