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本实用新型公开了一种旋转靶材脱脂装炉装置，设置有弧形的支撑板，支撑板的内表面设有波浪形纹路，波浪形纹路的波峰与待脱脂的旋转靶材的外表面抵接。旋转靶材卧式放置在支撑板上在放入脱脂炉中脱脂，受力面积增大，形成多条线受力，减小因靶材下端集中受力造...
该专利属于长沙壹纳光电材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长沙壹纳光电材料有限公司授权不得商用。

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