用于电子束照射的方法和装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种用于对薄板（Ｗ）进行电子束照射的设备以及使该设备通风的方法，该方法包括如下步骤：提供包括薄板入口开口（１１５）和薄板出口开口（１２１）的第一腔（１０７），提供延伸到第一腔（１０７）内部的第二腔（１１１），第二腔（１１１）包括薄板入口开口（１１４）、薄板出口开口（１１２）以及电子出口表面（２１），电子适于通过该出口表面而发射到第二腔（１１１）中，使薄板（Ｗ）经过第二腔（１１１），通过向第一腔（１０７）的薄板出口开口（１２１）供应所述流体，并提供至少一个出口（１１３），这样来形成在与薄板（Ｗ）行进方向相反的方向上通过第一腔和第二腔（１０７，１１１）的气态流体流。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种用于对薄板（Ｗ）的至少一侧进行电子束照射的设备的通风方法，所述方法包括如下步骤：　　　　　提供包括薄板入口开口（１１５）和薄板出口开口（１２１）的第一腔（１０７），　　　　提供延伸到所述第一腔（１０７）内的第二腔（１１１），所述第二腔（１１１）包括薄板入口开口（１１４）、薄板出口开口（１１２）以及电子出口表面（２１），电子适于通过所述出口表面（２１）而发射到所述第二腔（１１１）中，　　　　使所述薄板（Ｗ）经过所述第二腔（１１１），和　　　　通过向所述第一腔（１０７）的所述薄板出口开口（１２１）供应所述流体，并提供至少一个出口（１１３），来形成在与所述薄板（Ｗ）行进方向相反的方向上通过所述第...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：L奈斯伦德，T尼尔松，L波皮，A埃里克松，P贝内德蒂，F费拉里尼，
申请(专利权)人：利乐拉瓦尔集团及财务有限公司，
类型：发明
国别省市：CH[瑞士]