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本发明公开一种用于对薄板(W)进行电子束照射的设备以及使该设备通风的方法,该方法包括如下步骤:提供包括薄板入口开口(115)和薄板出口开口(121)的第一腔(107),提供延伸到第一腔(107)内部的第二腔(111),第二腔(111)包括薄...该专利属于利乐拉瓦尔集团及财务有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过利乐拉瓦尔集团及财务有限公司授权不得商用。
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本发明公开一种用于对薄板(W)进行电子束照射的设备以及使该设备通风的方法,该方法包括如下步骤:提供包括薄板入口开口(115)和薄板出口开口(121)的第一腔(107),提供延伸到第一腔(107)内部的第二腔(111),第二腔(111)包括薄...