一种测试氧化锌微腔热光系数的方法技术

本发明专利技术公开了一种测试氧化锌微腔热光系数的方法，利用激光泵浦温度可控的氧化锌光学微谐振腔，通过光谱仪采集微区激光模式的移动，给出折射率随温度的变化关系。相比于传统的测试方法，该方法可以测试有源腔带隙能量附近的热光系数；另外腔模半高宽极窄，因此该方法还具有较高的测试灵敏度和准确度。该方法弥补了传统方法在测试半导体带隙能量附近热光系数的不足，适用于微纳级小尺寸样品测试。适用于微纳级小尺寸样品测试。适用于微纳级小尺寸样品测试。

【技术实现步骤摘要】
一种测试氧化锌微腔热光系数的方法


[0001]本专利技术属于光电
，涉及一种测试氧化锌微腔热光系数的方法。

技术介绍

[0002]材料光学参数的测量在其实际应用中起着非常重要的作用。不同的参数性能直接决定了该材料的应用领域，及后续器件性能的优劣。热光系数，又叫折射率的温度系数，是一种非常重要的光学参数，反映了光学材料的折射率随温度的变化率。目前，光学材料热光系数的测量主要依赖温度相关的光学折射率的测量，这种传统的测试方式主要是控制温度条件，通过测试材料的透过率、吸收率和散射率变化而反映出来。然而，对于具有一定光学带隙的半导体材料，在其带隙能量附近，这种传统的测试方式则存在较大的局限性，同时传统的测试一般也是适用于薄膜、大尺寸块体样品的测试，对于微纳级别的样品则无法测量。

技术实现思路

[0003]专利技术目的：本专利技术的目的是提供一种测试氧化锌微腔热光系数的方法，该方法利用温度依赖的腔模移动，能够实现小尺寸样品和带隙能量附近的热光系数的测量。
[0004]技术方案：本专利技术提供的一种测试氧化锌微腔热光系数的方法本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种测试氧化锌微腔热光系数的方法，其特征在于包括如下步骤：(1)将待测光学微腔置于温控平台上；(2)将置有光学微腔的温控平台一起放置在三维可调的微区平台上；将激发光聚焦于光学微腔之上进行光泵浦；(3)利用光谱仪采集光学微腔在光泵浦下的激射谱；(4)利用温控平台给光学微腔加热，并收集同一位置和激发条件下不同温度时的激射谱；(5)分析激射谱随温度的变化关系，得出热光系数。2.根据权利要求1所述的测试氧化锌微腔热光系数的方法，其特征在于：步骤(1)中，所述光学微腔为镓掺杂氧化锌微米棒，其直径为1～20μm，长度不限；或者直径为50～1000nm，长度为1～20μm。3.根据权利要求1所述的测试氧化锌微腔热光系数的方法，其特征在于：步骤(1)中，所述温控平台的控温范围为
‑
190～350℃，精度为0.001～0.1℃。4.根据权利要求1所述的测试氧化锌微腔热光系数的方法，其特征在于：所述步骤(2)中，将放置有光学微腔的温控平台固定在三维微区平台上，调节微...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢俊峰，
申请(专利权)人：南京航空航天大学，
类型：发明
国别省市：